專利名稱：硅片承載花籃的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種便于在離心甩干過程中消除積水的硅片承載花籃。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體硅片的加工過程中，硅片表面濕式法清洗后都需要進(jìn)行脫水干燥，目前， 常用的干燥方法主要有I P A (即異丙醇)汽霧冷凝干燥法；真空干燥法；箱體式隧道熱風(fēng)烘干法和離心式甩干法等。而離心式甩干機(jī)由于使用時操作簡單、方便，可適合不同規(guī)格尺寸工件的甩干，效率高，成本低等優(yōu)點(diǎn)，被半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)加工行業(yè)廣泛采用。參見圖1，目前濕式法清洗后的硅片使用上述的多工位離心式甩干機(jī)干燥后，部分硅片上表面兩邊緣處仍有積水存在，這些積水如果沒有被發(fā)現(xiàn)未能及時處理，就會在硅片表面留下水跡，影響到電池片的表面制絨質(zhì)量和色澤一致性，嚴(yán)重的甚至導(dǎo)致被清洗硅片表面質(zhì)量不合格而報(bào)廢。生產(chǎn)中針對離心甩干后，硅片上表面兩邊緣處有積水存在的問題，工藝上通常采取的措施是加長甩干時間，或是提高油浴爐加熱溫度并增大熱氣通入量，或是提高甩干機(jī)旋轉(zhuǎn)速度。但是，均不能徹底解決硅片的上表面兩邊緣處積水的問題。經(jīng)過研究，硅片6經(jīng)離心甩干的硅片6仍有積水的問題，主要是由于承載花籃1頂部兩邊的臺面7上總有水滴存在，分析其產(chǎn)生的原因，主要是硅片6承載花籃兩邊頂部L形狀的階梯臺面7，在離心旋轉(zhuǎn)甩干時阻擋了該處積水的甩出，由于水表面張力，部分積水只是被甩散形成水珠，重新彈回到階梯臺面7或?yàn)R落到靠承載花籃1臺面處的硅片6表面。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型涉為解決現(xiàn)有技術(shù)的上述問題，提供一種離心甩干過程中便于甩出積水、消除硅片積水的硅片承載花籃。本實(shí)用新型解決現(xiàn)有問題的技術(shù)方案是一種硅片承載花籃，包括設(shè)置于承載花籃上定位放置硅片的插槽，所述的插槽上端面外側(cè)背向承載花籃延伸有防護(hù)邊，承載花籃外側(cè)、防護(hù)邊構(gòu)成一定位的階梯面，作為本實(shí)用新型的改進(jìn)，所述的承載花籃內(nèi)側(cè)、防護(hù)邊與插槽上端面設(shè)有光滑過渡面。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述的光滑過渡面為設(shè)置于插槽上端面與防護(hù)邊之間的斜面。本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比較，將承載花籃內(nèi)側(cè)、插槽上端面與防護(hù)邊之間加設(shè)光滑過渡面，其有益效果是裝載硅片的承載花籃在離心式甩干過程中，承載花籃防護(hù)邊兩側(cè)的水在離心力的作用下由光滑過渡面回流，并被甩出，防止承載花籃上端面積水的產(chǎn)生， 防止積水堆積在硅片上，本實(shí)用新型產(chǎn)品，不用提供離心速度，增加離心力，不用延長甩干時間，節(jié)約能源，可以徹底的消除硅片上的積水。

[0009]圖1是現(xiàn)有技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
參見圖2，本實(shí)施案例包括設(shè)置于承載花籃1上定位放置硅片6的若干插槽2，插槽2上端面21外側(cè)背向承載花籃1延伸有防護(hù)邊4，承載花籃1外側(cè)、防護(hù)邊4構(gòu)成一定位的階梯面5，承載花籃1內(nèi)側(cè)、防護(hù)邊4與插槽2上端面21設(shè)有光滑過渡面5。本實(shí)施案例中，光滑過渡面5為設(shè)置于插槽2上端面21與防護(hù)邊4之間的斜面。 積存于承載花籃1內(nèi)側(cè)、插槽2上端面21與防護(hù)邊4之間的積水，在高速離心作用下，積水沿光滑過渡面5回流被甩出。
權(quán)利要求1.一種硅片承載花籃，包括設(shè)置于承載花籃上定位放置硅片的插槽，所述的插槽上端面外側(cè)背向承載花籃延伸有防護(hù)邊，承載花籃外側(cè)、防護(hù)邊構(gòu)成一定位的階梯面，其特征在于所述的承載花籃內(nèi)側(cè)、防護(hù)邊與插槽上端面設(shè)有光滑過渡面。
2.如權(quán)利要求1所述的硅片承載花籃，其特征在于所述的光滑過渡面為設(shè)置于插槽上端面與防護(hù)邊之間的斜面。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種硅片承載花籃，包括設(shè)置于承載花籃上定位放置硅片的插槽，所述的插槽上端面外側(cè)背向承載花籃延伸有防護(hù)邊，承載花籃外側(cè)、防護(hù)邊構(gòu)成一定位的階梯面，所述的承載花籃內(nèi)側(cè)、防護(hù)邊與插槽上端面設(shè)有光滑過渡面。本實(shí)用新型將承載花籃內(nèi)側(cè)、插槽上端面與防護(hù)邊之間加設(shè)光滑過渡面，其有益效果是裝載硅片的承載花籃在離心式甩干過程中，承載花籃防護(hù)邊兩側(cè)的水在離心力的作用下由光滑過渡面回流，并被甩出，防止承載花籃上端面積水的產(chǎn)生，防止積水堆積在硅片上，本實(shí)用新型產(chǎn)品，不用提供離心速度，增加離心力，不用延長甩干時間，節(jié)約能源，可以徹底的消除硅片上的積水。
文檔編號H01L21/673GK202217647SQ20112032367
公開日2012年5月9日 申請日期2011年8月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月31日
發(fā)明者汪貴發(fā), 蔣建松 申請人:浙江光益硅業(yè)科技有限公司