專利名稱：分離掩模和用于組裝包括其的掩模框架組件的組裝設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
實施例涉及ー種分離掩模(split mask)和用于組裝包括該分離掩模的掩?？蚣芙M件的組裝設(shè)備。
背景技術(shù)：
通常，在顯示裝置中，有機發(fā)光顯示裝置具有寬的視角、優(yōu)異的對比度和高的響應(yīng)速度。有機發(fā)光顯示裝置具有堆疊結(jié)構(gòu)(在該堆疊結(jié)構(gòu)中，發(fā)射層插入在陽極和陰極之間)并基于以下原理獲得顏色當(dāng)從陽極和陰極注入到發(fā)射層中的空穴和電子重新結(jié)合時 發(fā)射光。然而，使用上述結(jié)構(gòu)難以獲得高的發(fā)光效率。因此，將其他中間層，諸如電子注入層、電子傳輸層、空穴傳輸層和空穴注入層選擇性地置于電極與發(fā)射層之間?？梢允褂酶鞣N方法形成包括中間層的發(fā)射層和電極，這些方法中的ー種是沉積。為了使用沉積法制造有機發(fā)光顯示裝置，在基底上排列具有與將要形成的薄膜的圖案相同的圖案的精細金屬掩模(FMM)，并且薄膜的原材料沉積，以形成具有期望的圖案的薄膜。通過將多個分離掩模附著到框架來形成分離掩模組件。當(dāng)將分離掩模附著到框架時，分離掩模沿長度方向被拉緊。如果分離掩模不是在拉緊的狀態(tài)下被結(jié)合到框架，則在分離掩模的主體中形成波紋，這會降低分離掩模和基底之間的附著力，并使沉積精度下降。因此，當(dāng)將分離掩模附著到框架時，分離掩模沿長度方向被拉緊，而后被附著到框架。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)ー個或多個實施例，一種分離掩?？砂U狀主體，沉積圖案形成在該桿狀主體中；夾持部分，從桿狀主體的相對兩端遠離桿狀主體延伸，其中，夾持部分包括從桿狀主體水平地延伸的第一夾持部分和從桿狀主體對角地延伸的第二夾持部分。第一夾持部分可包括從桿狀主體的相對兩端中的每端的內(nèi)部延伸的第一延伸部分和第二延伸部分，第二夾持部分可包括從桿狀主體的相對兩端中的每端的最外部延伸的第一延伸部分和第二延伸部分。第一夾持部分的第一延伸部分和第二延伸部分可相對于桿狀主體的水平中心線對稱地設(shè)置，第二夾持部分的第一延伸部分和第二延伸部分可相對于桿狀主體的水平中心線對稱地設(shè)置。根據(jù)ー個或多個實施例，ー種用于組裝掩?？蚣芙M件的組裝設(shè)備可包括第一拉伸器件，可拆卸地連接到第一夾持部分，第一夾持部分從分離掩模的桿狀主體的端部的內(nèi)部延伸，第一拉伸器件被構(gòu)造成沿桿狀主體的長度方向施加拉カ；第二拉伸器件，可拆卸地連接到第二夾持部分，第二夾持部分從桿狀主體的端部的最外部延伸，第二拉伸器件被構(gòu)造成沿桿狀主體的寬度方向施加拉力。第一夾持部分可從桿狀主體的端部水平地延伸，第二夾持部分可從桿狀主體的端部對角地延伸。第一拉伸器件可包括第一拉伸臺，與桿狀主體的端部水平地對齊；第一拉伸單元，位于第一拉伸臺上，第一拉伸單元可拆卸地連接到第一夾持部分，用于將拉力施加到第ー夾持部分。第一拉伸單元可包括第一夾具，可拆卸地連接到第一夾持部分；第一拉伸件，連接到第一夾具，第一拉伸件被構(gòu)造成拉動第一夾具。第二拉伸器件可包括第二拉伸臺，與桿狀主體的端部對角地對齊；第二拉伸單元，位于第二拉伸臺上，第二拉伸單元可拆卸地連接到第二夾持部分，用于將拉力施加到第ニ夾持部分。
第二拉伸單元可包括第二夾具，可拆卸地連接到第二夾持部分；第二拉伸件，連接到第二夾具，第一拉伸件被構(gòu)造成拉動第二夾具。第二拉伸臺可在第一位置和第二位置之間旋轉(zhuǎn)。第二拉伸臺可被構(gòu)造成朝著第一拉伸器件以及遠離第一拉伸器件水平地運動。第一拉伸器件可與桿狀主體的端部的內(nèi)部在位置上對應(yīng)，第二拉伸器件可與桿狀主體的端部的外部在位置上對應(yīng)。第一拉伸器件的第一拉伸部分和第二拉伸部分可相對于桿狀主體的水平中心線對稱地形成，第二拉伸器件的第一拉伸部分和第二拉伸部分可相對于桿狀主體的水平中心線對稱地形成。


通過參照附圖對本發(fā)明的示例性實施例進行的詳細描述，本發(fā)明的上述和其他特點及優(yōu)點將會變得更加明顯，在附圖中圖I示出了根據(jù)實施例的分離掩模和用于組裝掩?？蚣芙M件的組裝設(shè)備的透視圖；圖2示出了圖I中示出的分離掩模的俯視圖；圖3示出了圖I中示出的用于組裝掩?？蚣芙M件的組裝設(shè)備的放大透視圖；圖4示出了圖3中示出的組裝設(shè)備的另一示例的透視圖。
具體實施例方式現(xiàn)在將參照示出了示例性實施例的附圖來更充分地描述實施例。圖I示出了分離掩模100和用于組裝掩?？蚣芙M件的組裝設(shè)備，該掩?？蚣芙M件通過結(jié)合分離掩模100和框架200而形成。如圖I所示，當(dāng)將組裝設(shè)備的第一拉伸器件310和第二拉伸器件320夾到形成在分離掩模100的桿狀主體110的兩端部處的夾持部分120上且將拉力施加到分離掩模100時，分離掩模100被拉緊。當(dāng)拉カ被施加到分離掩模100時，分離掩模100的橫跨框架200的部分(以下稱為結(jié)合部分112)可以利用焊接設(shè)備(未示出)被焊接到框架200，從而將結(jié)合部分112結(jié)合到框架200。當(dāng)完成焊接時，夾持部分120可被去除，即，被切除。圖2示出了圖I中示出的分離掩模100的俯視圖。
以下，將參照圖2描述分離掩模100的結(jié)構(gòu)。分離掩模100可包括形成有沉積圖案111的桿狀主體110和形成在桿狀主體110的相對兩端部處的夾持部分120。桿狀主體110可被焊接到框架200(見圖I)，以形成掩?？蚣芙M件。如上所述，夾持部分120可被形成為當(dāng)將桿狀主體110焊接到框架200時將拉力施加到桿狀主體110，并且夾持部分120可以在焊接之后被去除。應(yīng)該理解，可以設(shè)置兩個夾持部分120，桿狀主體110的相對兩端部中的每個端部均設(shè)置ー個夾持部分120。為了簡明起見，在此將描述ー個夾持部分。夾持部分120可包括第一夾持部分121和第二夾持部分122。第一夾持部分121可沿長度方向(X方向)遠離桿狀主體110延伸。例如，第一夾持部分121可從桿狀主體110的端部水平地延伸。第一夾持部分121可被水平地拉伸或延伸，以沿桿狀主體110的長度(長度方向)提供拉カ。第二夾持部分122可沿長度方向(X方向)和寬度方向(Y方向)之間的對角方向(diagonal direction)遠離桿狀主體110延伸。例如,第二夾持部分122 可從桿狀主體的端部對角地延伸。第二夾持部分122可被對角地拉伸或延伸，以沿桿狀主體110的寬度(寬度方向)提供拉力。因此，不僅可以沿分離掩模100的長度方向(X)有效地施加拉力，而且可以沿分離掩模100的寬度方向(Y)有效地施加拉力。換句話說，雖然第一拉伸器件310和第二拉伸器件320 (第一拉伸器件310和第二拉伸器件320將拉カ施加到分離掩模100)可以沿著如圖I所示的長度方向僅被可拆卸地連接到分離掩模100的相對兩端部，但是第二夾持部分122 (如上所述，第二夾持部分122允許沿對角方向拉伸分離掩模100)有助于沿分離掩模100的寬度或沿寬度(Y)方向?qū)⒗┘拥椒蛛x掩模100。因此，可簡單地通過在分離掩模100的相對兩端部中的每個端部使用拉伸器件來實現(xiàn)沿長度方向(X)(沿著桿狀主體110的長度)和寬度方向(Y)(沿著桿狀主體110的寬度)施加拉力。圖3示出了圖I中示出的組裝設(shè)備的放大透視圖。如圖3所示，組裝設(shè)備可包括沿著長度方向拉伸第一夾持部分121的第一拉伸器件310和沿著對角方向拉伸第二夾持部分122的第二拉伸器件320。將在下面描述組裝設(shè)備的結(jié)構(gòu)。第一夾持部分121可包括從桿狀主體110的端部的內(nèi)部水平地延伸的第一延伸部分和第二延伸部分。第二夾持部分122可包括從桿狀主體110的端部的最外部對角地延伸的第一延伸部分和第二延伸部分。第一夾持部分121的第一延伸部分和第二延伸部分可以相對于桿狀主體110的中線CL或水平中心線對稱地設(shè)置，第二夾持部分122的第一延伸部分和第二延伸部分可以相對于桿狀主體110的中線CL或水平中心線對稱地設(shè)置。如果它們不是對稱地設(shè)置，則當(dāng)將拉カ施加到分離掩模100時，沿寬度方向(Y)的拉カ會不平衡，并且會由于扭曲而產(chǎn)生波紋?？赏ㄟ^在桿狀主體110的端部的外部沿寬度方向(Y)圍繞第一夾持部分121形成將沿對角方向被拉伸的第二夾持部分122而使分離掩模100的結(jié)構(gòu)簡化。例如，第一夾持部分121的第一延伸部分和第二延伸部分可被設(shè)置在第二夾持部分122的第一延伸部分和第二延伸部分之間。如果第二夾持部分122的第一延伸部分和第二延伸部分形成在第一夾持部分121的第一延伸部分和第二延伸部分之間，則會使分離掩模100的結(jié)構(gòu)變復(fù)雜，且還會使分別與第一夾持部分121和第二夾持部分122對應(yīng)的第一拉伸器件310和第二拉伸器件320的布置變復(fù)雜。下面，將參照圖3描述分別與第一夾持部分121和第二夾持部分122對應(yīng)的第一拉伸器件310和第二拉伸器件320的結(jié)構(gòu)。如上所述，第一拉伸器件310可沿長度方向(X)拉伸第一夾持部分121，第二拉伸器件320可沿對角方向拉伸第二夾持部分122。如圖3所示，可為第一夾持部分121的第一延伸部分和第二延伸部分中的每個設(shè)置単獨的第一拉伸器件310。類似地，可為第二夾持部分122的第一延伸部分和第二延伸部分中的每個設(shè)置単獨的第二拉伸器件320。為了簡明起見，將僅描述ー個第一拉伸器件310和ー個第二拉伸器件320的構(gòu)造和機制。
第一拉伸器件310可包括安裝在支撐板10上的第一拉伸臺311和安裝在第一拉伸臺311上的第一拉伸單元312。第一拉伸單元312可包括夾到第一夾持部分121上的第ー夾具312a和通過使第一夾具312a沿長度方向(X)運動而將拉カ施加到第一夾具312a的第一拉伸件312b。因此，當(dāng)將第一夾具312a夾到第一夾持部分121上時，在第一拉伸件312b操作時，第一夾具312a可沿長度方向(X)在第一拉伸臺311上運動，以拉伸第一夾持部分121。第一拉伸件312b可以是能夠?qū)崿F(xiàn)直線往復(fù)運動的任何器件，例如，普通的滾珠絲杠、線性電機或氣缸。此外，第一夾具312a可以是能夠夾到第一夾持部分121上的任何器件。第一拉伸單元312可與在傳統(tǒng)的組裝設(shè)備中使用的拉伸單元具有相同的結(jié)構(gòu)。因此，這里的描述將集中在第一拉伸單元312的功能上，將省略對第一拉伸單元312的結(jié)構(gòu)的詳細描述。第二拉伸器件320可包括安裝在支撐板10上的第二拉伸臺321和安裝在第二拉伸臺321上的第二拉伸單元322。第二拉伸單元322可包括夾到第二夾持部分122上的第ニ夾具322a和通過使第二夾具322a沿對角方向運動而將拉カ施加到第二夾具322a的第ニ拉伸件322b。因此，當(dāng)將第二夾具322a夾到第二夾持部分122上時，在第二拉伸件322b操作時，第二夾具322a可沿對角方向在第二拉伸臺321上運動，以拉伸第二夾持部分122。第二拉伸件322b可以是能夠?qū)崿F(xiàn)直線往復(fù)運動的任何器件，例如，普通的滾珠絲杠、線性電機或氣缸。此外，第二夾具322a可以是能夠夾到第二夾持部分122上的任何器件。與第一拉伸單元312相同，第二拉伸單元322可與在傳統(tǒng)的組裝設(shè)備中使用的拉伸單元具有相同的結(jié)構(gòu)。因此，這里的描述將集中在第二拉伸單元322的功能上，將省略對第二拉伸單元322的結(jié)構(gòu)的詳細描述。第二拉伸臺321可被可旋轉(zhuǎn)地安裝在被固定到支撐板10的旋轉(zhuǎn)軸321a上。因此，例如，第二拉伸臺可在第一位置和第二位置之間旋轉(zhuǎn)。當(dāng)?shù)诙炫_在第一位置時，第二拉伸臺可與第一拉伸臺平行。當(dāng)?shù)诙炫_在第二位置時，第二拉伸臺可不與第一拉伸臺平行。此外，在第二位置，第二拉伸臺可與第二夾持部分122成一直線。在操作過程中，第二拉伸臺321可相對于第一拉伸臺311對角地設(shè)置。例如，如圖3所示，第二拉伸臺321可遠離第一拉伸臺311從第一位置旋轉(zhuǎn)到第二位置。在第二位置，第二拉伸臺321可結(jié)合到第二夾持部分122，以相對于桿狀主體110的端部沿對角方向?qū)⒗┘拥降诙A持部分122。當(dāng)不操作時，第二拉伸臺321可旋轉(zhuǎn)返回到第一位置，S卩，沿長度方向與第一拉伸臺311平行的位置。
應(yīng)該理解的是，當(dāng)將把拉力施加到僅包括第一夾持部分121的傳統(tǒng)的分離掩模(即，不是施加到當(dāng)前的實施例的分離掩模100)時，第一拉伸臺311和第二拉伸臺321 二者可以沿長度方向彼此平行地設(shè)置，以執(zhí)行操作。此外，因為第一拉伸器件310和第二拉伸器件320分別與第一夾持部分121和第ニ夾持部分122對應(yīng)，所以與第一夾持部分121和第二夾持部分122相同，兩個第一拉伸器件310可沿長度方向相對于中線CL對稱地布置，兩個第二拉伸器件320可沿長度方向相對于中線CL對稱地布置。例如，兩個第一拉伸器件310可緊鄰桿狀主體110的端部設(shè)置在兩個第二拉伸器件320之間。兩個第二拉伸器件320的位置可與桿狀主體110的端部的最外部對應(yīng)。可如下所述地利用組裝設(shè)備和分離掩模100對掩?？蚣芙M件進行組裝。首先，如圖I所示，可準(zhǔn)備分離掩模100和框架200?？蚣?00可形成掩?？蚣芙M件的支撐件或輪廓?？蚣?00可呈具有四個邊和中央敞開部分的矩形形狀。分離掩模100 的結(jié)合部分112可附著到框架200的ー對對邊。為此，形成在分離掩模100的可被焊接的兩端處的夾持部分120可以被第一拉伸器件310和第二拉伸器件320夾持并拉伸。第二拉伸器件320的第二拉伸臺321可相對于第一拉伸器件310的第一拉伸臺311對角地設(shè)置。第一拉伸器件310可夾到第一夾持部分121上，以拉伸第一夾持部分121。第二拉伸器件320可夾到第二夾持部分122上，以拉動第二夾持部分122。因此，可沿分離掩模100的寬度和長度將拉カ施加到分離掩模100。如上所述，還可通過由沿對角方向布置的第二拉伸器件320施加的拉カ的分量而沿寬度方向施加拉力。因此，不僅可減少分離掩模100的桿狀主體110中的沿長度方向⑴的波紋而且可減少分離掩模100的桿狀主體110中的沿寬度方向(Y)的波紋，從而顯著提高分離掩模100的平面度。即，雖然第一拉伸器件310和第二拉伸器件320可沿長度方向(X)被安裝在桿狀主體110的相對兩端部，但是可以沿長度方向(X)和寬度方向(Y) 二者施加拉力，從而減少波紋。結(jié)合部分112可被焊接到框架200，以固定分離掩模100。而后，當(dāng)完成焊接時，可將夾持部分120從結(jié)合部分112切除，以去除夾持部分120。當(dāng)?shù)谝环蛛x掩模100的焊接完成時，可以以相同的方式焊接第二分離掩模100。即，第一拉伸器件310和第二拉伸器件320可用于夾到第二分離掩模100的第一夾持部分121和第二夾持部分122上，以將拉力施加到第二分離掩模100，而后當(dāng)將拉カ施加到第二分離掩模100時，可將結(jié)合部分112焊接到框架200。由于通過第二拉伸器件320沿對角方向施加的拉力，因此也可沿寬度方向(Y)施加拉力，從而可以在顯著減少波紋的條件下執(zhí)行焊接。而后，同樣地，在完成焊接之后，可將夾持部分120從結(jié)合部分112切除，以去除夾持部分120。通過將分離掩模100 —個接ー個地焊接到框架200，可完成掩?？蚣芙M件的組裝。從而，當(dāng)組裝掩?？蚣芙M件時，通過利用如上所述的組裝設(shè)備和分離掩模100，可在拉カ沿長度方向(X)和寬度方向(Y)被施加到分離掩模100的同時將分離掩模100結(jié)合到框架200。因此，減少了波紋，從而制造更加精確的掩模框架組件。以這種方式組裝的掩?？蚣芙M件可被用于包括有機發(fā)射層的圖案化操作的各種薄膜沉積操作中。圖4示出了圖3中示出的組裝設(shè)備的另一示例的透視圖。如上所述，根據(jù)實施例，第二拉伸器件320可在對角方向和長度方向之間旋轉(zhuǎn)。如圖4中所示，第二拉伸器件320還可被構(gòu)造為沿寬度方向(Y)運動。即，引導(dǎo)槽11可形成在支撐板10中，滑動板321b可被設(shè)置為支撐第二拉伸器件320并使第二拉伸器件320沿引導(dǎo)槽11運動。第二拉伸臺321可被可旋轉(zhuǎn)地安裝在滑動板321b上。以這種方式，第二拉伸器件320不僅可以在與長度方向(X)對應(yīng)的位置和與對角方向?qū)?yīng)的位置之間旋轉(zhuǎn)，還可以朝著第一拉伸器件310以及遠離第一拉伸器件310水平地運動。從而，第一拉伸器件310和第二拉伸器件320之間的距離可通過使滑動板321b運動而增加或減小。由于第二拉伸器件320的位置可被改變，因此第二拉伸器件320可以適 于各種標(biāo)準(zhǔn)的分離掩模100,在所述各種標(biāo)準(zhǔn)的分離掩模100中,第一夾持部分121和第二夾持部分122的位置可以改變。因此，實施例可適于各種標(biāo)準(zhǔn)的分離掩模100，并可減少沿長度方向(X)和寬度方向的波紋。因為傳統(tǒng)的FMM被形成為具有大的表面積，所以關(guān)于形成圖案的蝕刻誤差増加，并且FMM的中央部分會出現(xiàn)明顯下垂。為此，可優(yōu)選通過將多個分離掩模附著到框架而形成的分離掩模式掩?？蚣芙M件。此外，如果掩?？蚣芙M件中的ー些分離掩模出現(xiàn)問題，則將僅更換相應(yīng)的分離掩模。然而，傳統(tǒng)的分離掩模的一個問題在于僅沿長度方向施加拉力。因此，無法消除在寬度方向的波紋。因為較大的顯示裝置已經(jīng)變得更加普及，所以對具有較大寬度的分離掩模的需求增加。因此，對沿寬度方向消除波紋的需求也日益増加。然而，已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，包括沿分離掩模的長度和寬度布置的器件的組裝設(shè)備會具有制造成本高的復(fù)雜結(jié)構(gòu)。相比之下，根據(jù)實施例的分離掩模和用于組裝掩模框架組件的組裝設(shè)備提供ー種簡化的結(jié)構(gòu)，該簡化的結(jié)構(gòu)能夠簡單地通過利用位于分離掩模的相對兩端的拉伸器件而減少或消除沿分離掩模的長度方向和寬度方向的波紋。如所述的，在沉積操作中裝配的根據(jù)實施例的掩模框架組件可有助于穩(wěn)定和精確的圖案化。雖然已經(jīng)參照本發(fā)明的示例性實施例具體示出并描述了實施例，但是本領(lǐng)域普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，在不脫離由權(quán)利要求限定的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可對其進行形式和細節(jié)上的各種改變。
權(quán)利要求
1.一種分離掩模,包括 桿狀主體,沉積圖案形成在該桿狀主體中； 夾持部分,從桿狀主體的相對兩端遠離桿狀主體延伸， 其中，夾持部分包括從桿狀主體水平地延伸的第一夾持部分和從桿狀主體對角地延伸的第二夾持部分。
2.如權(quán)利要求I所述的分離掩模,其中，第一夾持部分包括從桿狀主體的相對兩端中的每端的內(nèi)部延伸的第一延伸部分和第二延伸部分，第二夾持部分包括從桿狀主體的相對兩端中的每端的最外部延伸的第一延伸部分和第二延伸部分。
3.如權(quán)利要求2所述的分離掩模，其中，第一夾持部分的第一延伸部分和第二延伸部 分相對于桿狀主體的水平中心線對稱地設(shè)置，第二夾持部分的第一延伸部分和第二延伸部分相對于桿狀主體的水平中心線對稱地設(shè)置。
4.一種用于組裝掩?？蚣芙M件的組裝設(shè)備，所述組裝設(shè)備包括 第一拉伸器件，可拆卸地連接到第一夾持部分，第一夾持部分從分離掩模的桿狀主體的端部的內(nèi)部延伸，第一拉伸器件被構(gòu)造成沿桿狀主體的長度方向施加拉力； 第二拉伸器件，可拆卸地連接到第二夾持部分，第二夾持部分從桿狀主體的端部的最外部延伸，第二拉伸器件被構(gòu)造成沿桿狀主體的寬度方向施加拉力。
5.如權(quán)利要求4所述的組裝設(shè)備，其中，第一夾持部分從桿狀主體的端部水平地延伸，第二夾持部分從桿狀主體的端部對角地延伸。
6.如權(quán)利要求4所述的組裝設(shè)備，其中，第一拉伸器件包括 第一拉伸臺，與桿狀主體的端部水平地對齊； 第一拉伸單元，位于第一拉伸臺上，第一拉伸單元可拆卸地連接到第一夾持部分，用于將拉力施加到第一夾持部分。
7.如權(quán)利要求6所述的組裝設(shè)備，其中，第一拉伸單元包括 第一夾具，可拆卸地連接到第一夾持部分； 第一拉伸件，連接到第一夾具，第一拉伸件被構(gòu)造成拉動第一夾具。
8.如權(quán)利要求4所述的組裝設(shè)備，其中，第二拉伸器件包括 第二拉伸臺，與桿狀主體的端部對角地對齊； 第二拉伸單元，位于第二拉伸臺上，第二拉伸單元可拆卸地連接到第二夾持部分，用于將拉力施加到第二夾持部分。
9.如權(quán)利要求8所述的組裝設(shè)備，其中，第二拉伸單元包括 第二夾具，可拆卸地連接到第二夾持部分； 第二拉伸件，連接到第二夾具，第二拉伸件被構(gòu)造成拉動第二夾具。
10.如權(quán)利要求8所述的組裝設(shè)備，其中，第二拉伸臺能夠在第一位置和第二位置之間旋轉(zhuǎn)。
11.如權(quán)利要求10所述的組裝設(shè)備，其中，第二拉伸臺被構(gòu)造成朝著第一拉伸器件以及遠離第一拉伸器件水平地運動。
12.如權(quán)利要求4所述的組裝設(shè)備，其中，第一拉伸器件與桿狀主體的端部的內(nèi)部在位置上對應(yīng)，第二拉伸器件與桿狀主體的端部的外部在位置上對應(yīng)。
13.如權(quán)利要求12所述的組裝設(shè)備，其中，第一拉伸器件的第一拉伸部分和第二拉伸部分相對 于桿狀主體的水平中心線對稱地形成，第二拉伸器件的第一拉伸部分和第二拉伸部分相對于桿狀主體的水平中心線對稱地形成。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種分離掩模和用于組裝包括該分離掩模的掩模框架組件的組裝設(shè)備，該分離掩模包括桿狀主體，沉積圖案形成在該桿狀主體中；夾持部分，從桿狀主體的相對兩端遠離桿狀主體延伸，其中，夾持部分包括從桿狀主體水平地延伸的第一夾持部分和從桿狀主體對角地延伸的第二夾持部分。
文檔編號H01L51/56GK102766842SQ201210033210
公開日2012年11月7日 申請日期2012年2月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月6日
發(fā)明者金容煥 申請人:三星移動顯示器株式會社