真空吸附定位改善激光劃線后cigs電池效率的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明主要目的是真空吸附定位改善激光劃線后CIGS電池效率，當(dāng)CIGS吸收層是采用Laser激光劃線時(shí)，最常使用夾子去固定住玻璃，而夾子固定玻璃時(shí)會(huì)有傷害膜層可能，且玻璃在劃線時(shí)，夾子會(huì)有無(wú)法抓取住玻璃的情況，因此本發(fā)明在CIGS玻璃使用Laser激光劃線是使用正切進(jìn)行，設(shè)計(jì)真空吸附的定位方式，先將玻璃推至定位，并且由定位pin靠住，隨后就是本發(fā)明開(kāi)啟真空，并且利用真空孔洞吸住玻璃，當(dāng)玻璃完全被吸附住后，此時(shí)即可用Laser激光開(kāi)始進(jìn)行劃線，藉由真空吸附定位方式固定玻璃，并且避免使用夾子會(huì)造成膜面損傷的問(wèn)題，且也多增加發(fā)電面積來(lái)增加CIGS太陽(yáng)能效率。
【專利說(shuō)明】真空吸附定位改善激光劃線后CIGS電池效率
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本方法是將薄膜太陽(yáng)能中的技術(shù)核心CIGS劃線技術(shù)，CIGS與非晶硅、微晶硅相同都需要切成小片的電池來(lái)進(jìn)行串聯(lián)發(fā)電，可以使得太陽(yáng)能電池電壓與電流的提升，來(lái)提升發(fā)電效率，而在非晶硅與微晶硅中都是使用laser激光進(jìn)行劃線，而CIGS主要是因?yàn)椴馁|(zhì)問(wèn)題，若是使用Laser激光劃線，會(huì)因?yàn)闊嵝?yīng)導(dǎo)致CIGS材質(zhì)轉(zhuǎn)相，因此使用的是脈沖式 Laser激光進(jìn)行劃線，藉由其出光的頻率延遲來(lái)讓CIGS不會(huì)高溫而轉(zhuǎn)相，且加上本發(fā)明使用的真空吸附定位，可以省去使用夾子去固定住玻璃導(dǎo)致玻璃的發(fā)電面積縮小，故可提升太陽(yáng)能效率。
【背景技術(shù)】
[0002]業(yè)界對(duì)于薄膜太陽(yáng)能電池中已有許多的研究，而在近幾年來(lái)有一新興的產(chǎn)業(yè)為 CIGS產(chǎn)業(yè)，其藉由Cu、In、Ga、Se的材料來(lái)進(jìn)行鍍膜，此產(chǎn)業(yè)的優(yōu)點(diǎn)在于其只要使用目前市面上最常用的機(jī)臺(tái)PVD即可完成，且在鍍膜過(guò)程中所使用的氣體并不會(huì)有危害人員的氣體，且其CIGS在光吸收上，可以大量的吸收到長(zhǎng)波段(如500nnTl300nm波段)的光源，故其發(fā)電轉(zhuǎn)換效率可以達(dá)到最高，故是目前許多研究單位及企業(yè)追族的材料，而在CIGS中由于鍍膜都是使用金屬進(jìn)行鍍膜呈半導(dǎo)體狀，其使用的背電極則是以鑰為主，而吸收層則是 CIGS本體，最后則是前電極ITO為主，而CIGS薄膜太陽(yáng)能與非晶硅太陽(yáng)能一樣，都是需要進(jìn)行劃線來(lái)形成小片的電池進(jìn)行串聯(lián)發(fā)電，其中使用CIGS可以使用脈沖式laser激光進(jìn)行劃線，主要靠其頻率延遲的作用來(lái)讓CIGS半導(dǎo)體不容易轉(zhuǎn)成金屬相，再使用本發(fā)明的真空吸附方式來(lái)固定住玻璃，在劃線時(shí)就不需要夾子固定住玻璃，也不用擔(dān)心夾子在傳動(dòng)過(guò)程中讓玻璃產(chǎn)生偏移，故可以提升整體轉(zhuǎn)換效率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明主要目的是真空吸附定位改善激光劃線后CIGS電池效率，當(dāng)CIGS吸收層是采用Laser激光劃線時(shí)，最常使用夾子去固定住玻璃，而夾子固定玻璃時(shí)會(huì)有傷害膜層可能，且玻璃在劃線時(shí)，夾子會(huì)有無(wú)法抓取住玻璃的情況，因此本發(fā)明在CIGS玻璃使用 Laser激光劃線是使用正切進(jìn)行，設(shè)計(jì)真空吸附的的定位方式，先將玻璃推至定位，并且由定位pin靠住，隨后就是本發(fā)明開(kāi)啟真空，并且利用真空孔洞吸住玻璃，當(dāng)玻璃完全被吸附住后，此時(shí)即可用Laser激光開(kāi)始進(jìn)行劃線，藉由真空吸附定位方式固定玻璃，并且避免使用夾子會(huì)造成膜面損傷的問(wèn)題，且也多增加發(fā)電面積來(lái)增加CIGS太陽(yáng)能效率。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0004]下面是結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說(shuō)明
圖1是本發(fā)明之Laser激光劃線機(jī)與真空吸附設(shè)備示意圖圖2是本發(fā)明之真空吸附方式示意圖
主要元件符號(hào)說(shuō)明:1…履帶軸承2…CIGS玻璃3…真空吸附平臺(tái)4…定位Pin5…真空孔洞6…集塵器7…移動(dòng)固定座8…固定座9“*Laser激光輸出器10…真空Pump。 【具體實(shí)施方式】
[0005]茲將本發(fā)明配合附圖，詳細(xì)說(shuō)明如下所示:圖1為本發(fā)明真空吸附定位改善激光劃線后CIGS電池效率之Laser激光機(jī)示意圖，由圖中可知，其CIGS玻璃2以膜面朝上為正切的方式放置于真空吸附平臺(tái)3上，隨后將玻璃推至定位Pin 4上，隨后真空吸附平臺(tái)下方的真空Pump 10就會(huì)開(kāi)始透過(guò)真空孔洞5開(kāi)始對(duì)玻璃進(jìn)行吸附的動(dòng)作，此吸附壓力為數(shù)kpa 左右，當(dāng)完成吸附之后，其玻璃是完全不會(huì)移動(dòng)，即精度上就可以達(dá)到不會(huì)有劃線重疊或交叉的情況，吸附完成即可以開(kāi)始進(jìn)行Laser激光劃線，其玻璃是貼在平臺(tái)上進(jìn)行劃線，其劃線是由履帶軸承I進(jìn)行傳動(dòng)，而Laser激光輸出器9是放置在固定座8上，此固定座可以支撐住Laser激光輸出器重量，而在固定座上頭則有一組移動(dòng)固定座7，此移動(dòng)固定座可以坐左右的移動(dòng)，當(dāng)玻璃由履帶軸承作前后移動(dòng)時(shí)，其移動(dòng)固定座是作左右移動(dòng)來(lái)劃線玻璃，此 Laser激光輸出器是米用脈沖式的Laser激光,主要是因?yàn)镃IGS若在一般Laser激光下且固定頻率會(huì)讓CIGS因?yàn)闊嵝?yīng)而會(huì)從半導(dǎo)體相轉(zhuǎn)相成金屬相，當(dāng)轉(zhuǎn)相時(shí)會(huì)影響造成效率下降，因此使用脈沖式Laser激光則可以作頻率延遲，讓CIGS不會(huì)因?yàn)闊嵝?yīng)集中而造成轉(zhuǎn)相，當(dāng)Laser激光劃線完后，其真空吸附平臺(tái)會(huì)開(kāi)始泄壓，直到大氣狀態(tài)為止，藉由本發(fā)明來(lái)避免使用夾子會(huì)造成玻璃膜面受損問(wèn)題，且可以改善對(duì)位精度的準(zhǔn)度，并且可以提升發(fā)電面積提升太陽(yáng)能效率。
[0006]請(qǐng)參閱圖2，此為本發(fā)明真空吸附定位改善激光劃線后CIGS電池效率之真空吸附方式示意圖，由圖中可以得知，此真空吸附平臺(tái)由一平臺(tái)3加上真空孔洞5以及真空Pump 11還有定位pin 4組成，當(dāng)玻璃放置到平臺(tái)上時(shí),會(huì)先推至定位Pin上頭,此時(shí)真空Pump開(kāi)始吸附，而真空孔洞會(huì)將空氣往Pump帶作一個(gè)吸附的動(dòng)作，當(dāng)完成吸附時(shí)，其玻璃就無(wú)法隨意進(jìn)行移動(dòng)，因此可以進(jìn)行后續(xù)的Laser激光劃線制程，此方法可以避免夾子的損壞膜面及提高對(duì)位精度，藉此來(lái)提升效率。
[0007]以上說(shuō)明，對(duì)本發(fā)明而言只是說(shuō)明性的，非限制性的，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員理解， 在不脫離權(quán)利要求所限定的精神和范圍的情況下，可作出許多修·正、變化或等效，但都將落入本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種本發(fā)明主要目的是真空吸附定位改善激光劃線后CIGS電池效率，當(dāng)CIGS吸收層是采用Laser激光劃線時(shí)，最常使用夾子去固定住玻璃，而夾子固定玻璃時(shí)會(huì)有傷害膜層可能，且玻璃在劃線時(shí)，夾子會(huì)有無(wú)法抓取住玻璃的情況，因此本發(fā)明在CIGS玻璃使用 Laser激光劃線是使用正切進(jìn)行，設(shè)計(jì)真空吸附的的定位方式，先將玻璃推至定位，并且由定位pin靠住，隨后就是本發(fā)明開(kāi)啟真空，并且利用真空孔洞吸住玻璃，當(dāng)玻璃完全被吸附住后，此時(shí)即可用Laser激光開(kāi)始進(jìn)行劃線，藉由真空吸附定位方式固定玻璃，并且避免使用夾子會(huì)造成膜面損傷的問(wèn)題，且也多增加發(fā)電面積來(lái)增加CIGS太陽(yáng)能效率。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空吸附定位改善激光劃線后CIGS電池效率，其真空吸附是有一真空Pump及真空孔洞作吸附，當(dāng)玻璃放置于平臺(tái)上固定好后，其真空孔洞就會(huì)開(kāi)始吸附固定住玻璃直到不會(huì)移動(dòng)為止，并且完成劃線后其真空孔洞會(huì)開(kāi)始進(jìn)行泄壓，到可以移動(dòng)玻璃為止。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空吸附定位改善激光劃線后CIGS電池效率，其laser輸出器上有一固定座，此固定架可以完全固定住laser輸出器,使其不會(huì)滑動(dòng)，而在固定座上則還有一組移動(dòng)固定座，此固定座可以作左右移動(dòng)且移動(dòng)時(shí)是平穩(wěn)進(jìn)行，因此劃線時(shí)就可以有較佳的精度及平行度。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空吸附定位改善激光劃線后CIGS電池效率，其真空吸附平臺(tái)上設(shè)有一組定位pin,此定位pin是可以讓玻璃作定位用，玻璃推至定位pin上時(shí)即可用真空Pump進(jìn)行吸附，并藉此固定住玻璃。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空吸附定位改善激光劃線后CIGS電池效率，其玻璃是采用正切方式，主要是因?yàn)槟拥牡撞繛楸畴姌O，而Laser激光也是采取正切方式進(jìn)行劃線，因此劃線后會(huì)產(chǎn)生粉塵，而這些粉塵則是由集 塵器進(jìn)行吸附。
【文檔編號(hào)】H01L31/18GK103570234SQ201210260267
【公開(kāi)日】2014年2月12日 申請(qǐng)日期:2012年7月26日 優(yōu)先權(quán)日:2012年7月26日
【發(fā)明者】戴嘉男, 劉幼海, 劉吉人 申請(qǐng)人:吉富新能源科技(上海)有限公司