密封對(duì)接裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明提供了一種密封對(duì)接裝置，用于連接第一設(shè)備以及第二設(shè)備，所述第一設(shè)備與所述第二設(shè)備之間具有工藝連續(xù)性，其包括：連接于第一設(shè)備的支架、設(shè)置在支架上的驅(qū)動(dòng)單元、連接于第一設(shè)備的擋板和柔性單元；柔性單元設(shè)置在固定板上，并且通過(guò)固定板與驅(qū)動(dòng)單元連接；擋板上具有通孔，固定板設(shè)置在通孔內(nèi)，與擋板形成封閉結(jié)構(gòu)；支架位于擋板與第一設(shè)備之間；驅(qū)動(dòng)單元穿過(guò)通孔驅(qū)動(dòng)柔性單元向第二設(shè)備運(yùn)動(dòng)，在柔性單元發(fā)生形變時(shí)柔性單元與第二設(shè)備緊密接觸。本發(fā)明提供的密封對(duì)接裝置，通過(guò)在兩個(gè)設(shè)備之間設(shè)置的柔性單元，實(shí)現(xiàn)兩個(gè)設(shè)備交換空間與外界環(huán)境完全隔離，防止外界環(huán)境對(duì)交換空間和兩個(gè)設(shè)備空間的環(huán)境污染。
【專(zhuān)利說(shuō)明】密封對(duì)接裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種密封對(duì)接裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，芯片的形成往往需要幾十道工序才能最終完成。一般情況下，不同的工序需要不同的設(shè)備來(lái)進(jìn)行加工，因此，一塊芯片的形成需要很多不同的設(shè)備來(lái)完成。在硅片上進(jìn)行多道工藝最終形成需要的芯片，而硅片對(duì)外部環(huán)境要求非常高，特別是硅片在不同的設(shè)備之間進(jìn)行交換的時(shí)候，硅片往往暴露在設(shè)備環(huán)境之外，因此，要求不同設(shè)備之間的交換空間的環(huán)境必須保持良好，其中環(huán)境參數(shù)包括有溫度、壓力，空氣潔凈度等。
[0003]在芯片的加工過(guò)程中，芯片表面圖案的形成是加工的核心，也是對(duì)環(huán)境要求最高的。芯片表面圖案的形成通過(guò)光刻機(jī)進(jìn)行刻蝕。硅片在刻蝕之前需要用涂膠顯影機(jī)進(jìn)行涂膠，當(dāng)硅片涂膠完成之后，需要把涂好膠的硅片傳輸?shù)焦饪虣C(jī)內(nèi)進(jìn)行圖案的刻蝕，當(dāng)圖案刻蝕完成之后還需要把硅片從光刻機(jī)傳送到涂膠顯影機(jī)內(nèi)進(jìn)行顯影處理。硅片在涂膠顯影機(jī)和光刻機(jī)之間進(jìn)行傳送的過(guò)程中需要防止環(huán)境對(duì)硅片的污染。
[0004]由于光刻機(jī)和涂膠顯影設(shè)備的體積都很龐大，并且針對(duì)不同的工藝要求，兩個(gè)設(shè)備的要求也是不一樣的，因此，這兩個(gè)設(shè)備是分離開(kāi)的。在相互分離的設(shè)備之間進(jìn)行硅片傳送，同時(shí)需要防止環(huán)境對(duì)硅片的污染，因此，如何完成兩個(gè)大型設(shè)備的對(duì)接以保證硅片與外界環(huán)境隔離成為關(guān)鍵的問(wèn)題。此外，由于兩大型設(shè)備在安裝的過(guò)程中可能出現(xiàn)安裝誤差，因此，在兩大型設(shè)備實(shí)現(xiàn)對(duì)接的過(guò)程中如何補(bǔ)償安裝誤差成為亟待解決的問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供了一種密封對(duì)接裝置，以解決兩個(gè)大型設(shè)備對(duì)接的密封性問(wèn)題以及在實(shí)現(xiàn)兩個(gè)設(shè)備對(duì)接的過(guò)程中如何補(bǔ)償安裝誤差的問(wèn)題。
[0006]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的技術(shù)方案是:提供了一種密封對(duì)接裝置，用于連接第一設(shè)備以及第二設(shè)備，所述第一設(shè)備與所述第二設(shè)備之間具有工藝連續(xù)性，所述密封對(duì)接裝置包括:支架，連接于所述第一設(shè)備；驅(qū)動(dòng)單元，設(shè)置在所述支架上；柔性單元，設(shè)置在一固定板上，通過(guò)所述固定板與所述驅(qū)動(dòng)單元連接；以及擋板，連接于所述第一設(shè)備，擋板上設(shè)有通孔；所述支架位于所述擋板與所述第一設(shè)備之間；所述固定板設(shè)置在所述通孔內(nèi)；所述驅(qū)動(dòng)單元穿過(guò)所述通孔驅(qū)動(dòng)所述柔性單元向所述第二設(shè)備運(yùn)動(dòng)，在所述柔性單元發(fā)生形變時(shí)所述柔性單元與所述第二設(shè)備緊密接觸。
[0007]進(jìn)一步地，所述支架與所述第二設(shè)備密封連接；所述驅(qū)動(dòng)單元穿過(guò)所述通孔驅(qū)動(dòng)所述柔性單元向所述第一設(shè)備運(yùn)動(dòng)，在所述柔性單元發(fā)生形變時(shí)所述柔性單元與所述第一設(shè)備緊密接觸。
[0008]進(jìn)一步地，所述柔性單元為氣囊。
[0009]進(jìn)一步地，所述擋板為鈑金件。
[0010]進(jìn)一步地,所述驅(qū)動(dòng)單元包括氣缸。[0011]進(jìn)一步地，所述驅(qū)動(dòng)單元還包括連接至所述氣缸作用端的關(guān)節(jié)軸承，所述關(guān)節(jié)軸承通過(guò)連接板固定在所述固定板上。
[0012]進(jìn)一步地，密封對(duì)接裝置還包括還包括兩個(gè)導(dǎo)向裝置，兩個(gè)所述導(dǎo)向裝置固定于所述支架上，對(duì)稱(chēng)的設(shè)置于所述驅(qū)動(dòng)單元兩側(cè)，所述導(dǎo)向裝置通過(guò)轉(zhuǎn)向板連接至所述固定板。
[0013]進(jìn)一步地，所述導(dǎo)向裝置包括滑動(dòng)導(dǎo)軌、滑塊和滑塊連接板；所述滑塊在所述滑塊導(dǎo)軌上滑動(dòng)；所述滑塊連接板固定連接在滑塊上；所述滑塊連接板與所述轉(zhuǎn)向板連接。
[0014]進(jìn)一步地，所述滑塊連接板與所述轉(zhuǎn)向板之間還設(shè)有擋塊。
[0015]進(jìn)一步地，所述密封對(duì)接裝置還包括傳感器，所述傳感器位于所述固定板上，檢測(cè)是否密封完好。
[0016]進(jìn)一步地,所述第一設(shè)備是光刻機(jī)。
[0017]進(jìn)一步地，所述第二設(shè)備是涂膠顯影機(jī)。
[0018]本發(fā)明提供的密封對(duì)接裝置，通過(guò)在兩個(gè)設(shè)備之間設(shè)置的柔性單元，實(shí)現(xiàn)兩個(gè)設(shè)備交換空間與外界環(huán)境完全隔離，防止外界環(huán)境對(duì)交換空間和兩個(gè)設(shè)備空間的環(huán)境污染。此外，柔性單元具有的對(duì)接靈活性，彌補(bǔ)了兩個(gè)設(shè)備在安裝過(guò)程中可能出現(xiàn)的安裝誤差。本發(fā)明提供的密封對(duì)接裝置是在兩個(gè)設(shè)備安裝固定后再進(jìn)行配置的，便于安裝以及拆卸。密封對(duì)接裝置包括的支架能夠?qū)崿F(xiàn)物料在兩個(gè)設(shè)備之間進(jìn)行交換。
[0019]進(jìn)一步地，驅(qū)動(dòng)單元作用于固定板，通過(guò)驅(qū)動(dòng)單元的驅(qū)動(dòng)推進(jìn)作用，柔性單元能夠完全密封交接空間。
[0020]進(jìn)一步地，密封對(duì)接裝置中包括的傳感器能夠檢測(cè)驅(qū)動(dòng)單元的位置，間接反映密封情況。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0021]圖1a是本發(fā)明實(shí)施例提供的密封對(duì)接裝置與涂膠顯影機(jī)接觸側(cè)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖1b是本發(fā)明實(shí)施例提供的密封對(duì)接裝置與光刻機(jī)固定側(cè)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的驅(qū)動(dòng)單元的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖3為本實(shí)施例提供的導(dǎo)向裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的支架的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0026]以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明提出的一種密封對(duì)接裝置作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。根據(jù)下面說(shuō)明和權(quán)利要求書(shū)，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用于方便、明晰地輔助說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例的目的。
[0027]本發(fā)明的核心思想在于，本發(fā)明提供的密封對(duì)接裝置，通過(guò)在兩個(gè)設(shè)備之間設(shè)置的柔性單元，實(shí)現(xiàn)兩個(gè)設(shè)備交換空間與外界環(huán)境完全隔離，防止外界環(huán)境對(duì)交換空間和兩個(gè)設(shè)備空間的環(huán)境污染。此外，柔性單元具有的對(duì)接靈活性，彌補(bǔ)了兩個(gè)設(shè)備在安裝過(guò)程中可能出現(xiàn)的安裝誤差。本發(fā)明提供的密封對(duì)接裝置是在兩個(gè)設(shè)備安裝固定后再進(jìn)行配置的，便于安裝以及拆卸。密封對(duì)接裝置包括的支架能夠?qū)崿F(xiàn)物料在兩個(gè)設(shè)備之間進(jìn)行交換。[0028]圖1a是本發(fā)明實(shí)施例提供的密封對(duì)接裝置與涂膠顯影機(jī)接觸側(cè)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖1b是本發(fā)明實(shí)施例提供的密封對(duì)接裝置與光刻機(jī)固定側(cè)的結(jié)構(gòu)示意圖。參照?qǐng)D1a以及圖lb，本發(fā)明提供的密封對(duì)接裝置，用于連接第一設(shè)備以及第二設(shè)備，所述第一設(shè)備與所述第二設(shè)備之間具有工藝連續(xù)性，所述密封對(duì)接裝置包括:連接于第一設(shè)備的支架12、設(shè)置在支架12上的驅(qū)動(dòng)單元15、連接于第一設(shè)備的擋板13和柔性單元11 ;柔性單元11設(shè)置在固定板14上，并且通過(guò)固定板14與驅(qū)動(dòng)單元15連接；擋板13上具有通孔，固定板14設(shè)置在通孔內(nèi)，與擋板13形成封閉結(jié)構(gòu)；支架12位于擋板13與所述第一設(shè)備之間；驅(qū)動(dòng)單元15穿過(guò)通孔驅(qū)動(dòng)柔性單元11向所述第二設(shè)備運(yùn)動(dòng)，在柔性單元11發(fā)生形變時(shí)柔性單元11與第二設(shè)備緊密接觸。
[0029]在本實(shí)施例中，第一設(shè)備為光刻機(jī)，第二設(shè)備為涂膠顯影機(jī)。即擋板13與光刻機(jī)密封連接，在柔性單元11發(fā)生形變時(shí)與涂膠顯影機(jī)緊密接觸，也可以是擋板13與涂膠顯影機(jī)密封連接，在柔性單元11發(fā)生形變時(shí)與光刻機(jī)緊密接觸，在本實(shí)施例中僅以前者為例，后者與前者類(lèi)似不再贅述。
[0030]在本實(shí)施例中，所述柔性單元11為氣囊，擋板13通過(guò)螺釘131固定在光刻機(jī)上，當(dāng)氣囊通過(guò)支架12與光刻機(jī)密封連接后，在氣囊內(nèi)充壓縮空氣，氣囊逐漸隆起，填充光刻機(jī)與涂膠顯影機(jī)之間的空間，最終與涂膠顯影機(jī)緊密接觸，由于氣囊具有很強(qiáng)的柔性變形，能夠很好的補(bǔ)償安裝誤差造成的距離不一致的情況。
[0031]進(jìn)一步地，密封對(duì)接裝置中的支架12通過(guò)固定板14與所述柔性單元11連接，支架12包括支撐架121。密封對(duì)接裝置還包括驅(qū)動(dòng)單元15，所述驅(qū)動(dòng)單元15作用于所述固定板14。圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的驅(qū)動(dòng)單元的結(jié)構(gòu)示意圖。參照?qǐng)D2,所述驅(qū)動(dòng)單元15包括氣缸151以及連接至所述氣缸151作用端的關(guān)節(jié)軸承152，所述氣缸151通過(guò)氣缸固定座153固定于所述支架12上，所述關(guān)節(jié)軸承152通過(guò)連接板16固定在所述固定板14。當(dāng)氣囊充好壓縮空氣后，氣缸151推動(dòng)氣囊給予一定的預(yù)壓力使氣囊與涂膠顯影機(jī)能夠緊密的貼合以達(dá)到很好的密封效果，同時(shí)氣缸151的作用力持續(xù)作用于氣囊，即使氣囊有少量的泄氣也能通過(guò)氣缸151推動(dòng)氣囊使氣囊與涂膠顯影機(jī)接觸側(cè)111始終貼合。選用氣缸151進(jìn)行夾持作用，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉，夾持穩(wěn)定，能夠保持一定的夾持力。氣缸151為雙作用氣缸，能夠方便實(shí)現(xiàn)對(duì)氣囊與涂膠顯影機(jī)側(cè)的夾緊和脫離，氣缸151的方向控制采用三位五通雙電控電磁閥進(jìn)行控制，三位五通雙電控電磁閥能夠保持夾持的穩(wěn)定性，即使在斷電斷氣的情況下氣缸151依然能夠保持夾持狀態(tài)，不會(huì)對(duì)裝置的夾持狀態(tài)造成影響。由于存在安裝誤差，光刻機(jī)和涂膠顯影機(jī)的兩連接面不能完全平行，在氣缸151作用氣囊與涂膠顯影機(jī)緊貼時(shí)，固定板14與連接板16的姿態(tài)可能隨著氣囊的柔性變形而發(fā)生姿態(tài)變化，而安裝在氣缸151作用端的關(guān)節(jié)軸承152通過(guò)連接板16固定在所述固定板14，其具有的球形結(jié)構(gòu)能夠很好地適應(yīng)連接板16姿態(tài)的變化，進(jìn)一步適應(yīng)與涂膠顯影機(jī)對(duì)接側(cè)的變化。當(dāng)然還可以選擇電機(jī)等具有驅(qū)動(dòng)作用的方式，其實(shí)現(xiàn)作用與氣缸在方案中的作用相同，都能實(shí)現(xiàn)氣囊運(yùn)動(dòng)，從而能夠方便實(shí)現(xiàn)對(duì)氣囊與涂膠顯影機(jī)側(cè)的夾緊和脫離。
[0032]此外，密封對(duì)接裝置還包括兩個(gè)導(dǎo)向裝置17，兩個(gè)所述導(dǎo)向裝置17固定于所述支架12上，并對(duì)稱(chēng)的設(shè)置于所述氣缸151的兩側(cè)。圖3為本實(shí)施例提供的導(dǎo)向裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。參照?qǐng)D3，在支架12上設(shè)置有滾動(dòng)導(dǎo)軌171，滾動(dòng)導(dǎo)軌171上設(shè)置有滑塊172，滑塊172上固定有滑塊連接板173，滑塊連接板173的一端連接有轉(zhuǎn)接板174，轉(zhuǎn)接板174固定在固定板14上，在滑塊連接板173上安裝一擋塊175，加強(qiáng)轉(zhuǎn)接板174的剛度，以及在滾動(dòng)導(dǎo)軌171末端設(shè)置機(jī)械限位塊176，防止滑塊172脫落。導(dǎo)向裝置17能夠控制氣缸151沿定向運(yùn)動(dòng)，當(dāng)滑塊172在支架12上滑動(dòng)時(shí)，固定在滑塊172上的滑塊連接板173跟著運(yùn)動(dòng)，連接板173的定向運(yùn)動(dòng)最終通過(guò)轉(zhuǎn)接板174使固定板14沿著滾動(dòng)導(dǎo)軌171前后運(yùn)動(dòng)。
[0033]進(jìn)一步地，密封對(duì)接裝置還包括傳感器18，所述傳感器18位于所述固定板14上，傳感器18能夠檢測(cè)驅(qū)動(dòng)單元15的位置，間接反映密封情況。傳感器18的設(shè)置能夠保證在每次重復(fù)裝配時(shí)完全密封。
[0034]圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的支架的結(jié)構(gòu)示意圖。參照?qǐng)D4，支架12上固定有上片臺(tái)191以及下片臺(tái)192，硅片在涂膠顯影機(jī)內(nèi)進(jìn)行涂膠處理之后通過(guò)涂膠顯影機(jī)內(nèi)的機(jī)械手經(jīng)娃片傳輸窗口 194把娃片放到上片臺(tái)191上。光刻機(jī)娃片傳輸機(jī)械手從上片臺(tái)191取硅片準(zhǔn)備進(jìn)行光刻。當(dāng)硅片在光刻機(jī)刻蝕好之后機(jī)械手把硅片放到下片臺(tái)192上，之后涂膠顯影機(jī)的機(jī)械手再把硅片取回。在整個(gè)過(guò)程中，由于該接口裝置是與外界環(huán)境完全隔離，避免了外界環(huán)境對(duì)硅片的污染。硅片放在上片臺(tái)191、下片臺(tái)192上時(shí)，機(jī)構(gòu)是通過(guò)真空吸附對(duì)硅片進(jìn)行固定。為了使機(jī)械手能夠順利地拿取硅片，上片臺(tái)191、下片臺(tái)192均設(shè)計(jì)了三點(diǎn)調(diào)平結(jié)構(gòu)193對(duì)其進(jìn)行平行度調(diào)整。
[0035]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種密封對(duì)接裝置，用于連接第一設(shè)備以及第二設(shè)備，所述第一設(shè)備與所述第二設(shè)備之間具有工藝連續(xù)性，其特征在于，所述密封對(duì)接裝置包括:支架，連接于所述第一設(shè)備; 驅(qū)動(dòng)單元，設(shè)置在所述支架上； 柔性單元，設(shè)置在一固定板上，通過(guò)所述固定板與所述驅(qū)動(dòng)單元連接；以及 擋板，連接于所述第一設(shè)備，擋板上設(shè)有通孔； 所述支架位于所述擋板與所述第一設(shè)備之間； 所述固定板設(shè)置在所述通孔內(nèi)； 所述驅(qū)動(dòng)單元穿過(guò)所述通孔驅(qū)動(dòng)所述柔性單元向所述第二設(shè)備運(yùn)動(dòng)，在所述柔性單元發(fā)生形變時(shí)所述柔性單元與所述第二設(shè)備緊密接觸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的密封對(duì)接裝置，其特征在于，所述支架與所述第二設(shè)備密封連接；所述驅(qū)動(dòng)單元穿過(guò)所述通孔驅(qū)動(dòng)所述柔性單元向所述第一設(shè)備運(yùn)動(dòng)，在所述柔性單元發(fā)生形變時(shí)所述柔性單元與所述第一設(shè)備緊密接觸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的密封對(duì)接裝置，其特征在于，所述柔性單元為氣囊。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的密封對(duì)接裝置，其特征在于，所述擋板為鈑金件。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的密封對(duì)接裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)單元包括氣缸。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的密封對(duì)接裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)單元還包括連接至所述氣缸作用端的關(guān)節(jié)軸承，所述關(guān)節(jié)軸承通過(guò)連接板固定在所述固定板上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的密封對(duì)接裝置，其特征在于，還包括兩個(gè)導(dǎo)向裝置，兩個(gè)所述導(dǎo)向裝置固定于所述支架上，對(duì)稱(chēng)的設(shè)置于所述驅(qū)動(dòng)單元兩側(cè)，所述導(dǎo)向裝置通過(guò)轉(zhuǎn)向板連接至所述固定板。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的密封對(duì)接裝置，其特征在于，所述導(dǎo)向裝置包括滑動(dòng)導(dǎo)軌、滑塊和滑塊連接板；所述滑塊在所述滑塊導(dǎo)軌上滑動(dòng)；所述滑塊連接板固定連接在滑塊上；所述滑塊連接板與所述轉(zhuǎn)向板連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的密封對(duì)接裝置，其特征在于，所述滑塊連接板與所述轉(zhuǎn)向板之間還設(shè)有擋塊。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的密封對(duì)接裝置，其特征在于，還包括傳感器，所述傳感器位于所述固定板上，檢測(cè)是否密封完好。
11.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的密封對(duì)接裝置，其特征在于，所述第一設(shè)備是光刻機(jī)。
12.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的密封對(duì)接裝置，其特征在于，所述第二設(shè)備是涂膠顯影機(jī)。
【文檔編號(hào)】H01L21/67GK103943533SQ201210435175
【公開(kāi)日】2014年7月23日 申請(qǐng)日期:2013年1月23日 優(yōu)先權(quán)日:2013年1月23日
【發(fā)明者】謝世敏, 王邵玉, 姜杰 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司