專利名稱：一種全自動化se電池量產腐蝕裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種全自動化SE電池量產腐蝕裝置，屬于光伏技術領域。
背景技術：
目前，制絨是對硅片表面進行各向同性腐蝕，形成微溝，降低硅片表面的反射率，促使太陽在硅片表面進行多級反射，提升光的利用率。在太陽能晶硅電池的制備工藝中，制絨工藝是關系到太陽能電池表面的光吸收的重要部分，也是提高太陽能電池轉換效率的重要途徑之一。在制絨工藝中，酸制絨處理設備是很重要的一部份，現有制絨處理設備是由處理 槽(含內、外槽)和循環(huán)儲存罐(處理液用)所構成。但存在以下幾個問題I :酸制絨處理設備的基板表面的要求是刻蝕中要確保被處理物的表面溫度和濃度要均勻。在處理大量的被處理物時，要確保所有表面整體的溫度、濃度達到均勻性是很難做到的。2 :將大量的被處理物一次性放入處理槽中處理時，按現有的方法(槽的構造也僅是從槽底部的注入到槽上部的溢流)即使沒有強烈的反應熱的發(fā)生，基板的上下溫度差和濃度差也是必然要發(fā)生的，為此很難保證被處理物處理完畢后表面的均一性，并且如何提高刻蝕后的表面精度也是很困難的問題。3 :為改善濃度及溫度不均勻的問題，如果僅僅將循環(huán)流量大幅度的增加，會帶來上部液面極端上升的問題。如此不僅給設備小型化帶來了障礙，也存在下面噴淋過程中達不到完全噴淋等問題(比如傳送機械手以及帶把手的花籃會使下面噴淋不到位等)。
發(fā)明內容為了克服現有的不足，本實用新型提供一種全自動化SE電池量產腐蝕裝置。本實用新型要解決的技術問題是針對現有技術中存在的上述不足，提供了一種全自動化SE電池量產腐蝕裝置，可以確保被處理物的表面溫度和濃度均勻，以及提高刻蝕后的表面精度，大大提高了電池片的轉換率；解決背景技術存在的問題。為實現以上目的，本實用新型提供了一種全自動化SE電池量產腐蝕加工方法，含有以下步驟步驟I、自動上料被處理物硅片；步驟2、被處理物硅片進入2#酸腐蝕槽；步驟3、被處理物硅片進入3#酸腐蝕槽；步驟4、被處理物硅片進入4#QDR槽；步驟5、被處理物硅片進入5#堿洗槽；步驟6、被處理物硅片進入6#噴淋槽；步驟7、被處理物硅片進入7#堿洗槽；步驟8、被處理物硅片進入8#噴淋槽；[0018]步驟9、被處理物硅片進入9#超聲波清洗槽；步驟10、被處理物硅片進入10#超聲波清洗槽；步驟11、被處理物硅片進入11#噴淋槽；步驟12、被處理物硅片進入12#慢提拉槽；步驟13、被處理物硅片進入13#自動下料；上述步驟中腐蝕槽的堿洗藥液自動循環(huán)并鼓泡，確保藥液的均勻；對腐蝕槽、堿洗、IPA工藝槽上、側部設計排風管路，保持設備內部工作環(huán)境清潔，防止交叉污染。還含有以下步驟液位、溫度等參數檢測步驟；液位對槽體的液位補液箱的液位和加熱箱的液位進行時時控制起到保護作用。溫度對槽體的溫度補液箱的溫度和加熱箱的溫度進行時時控制起到保護作用；自動、手動操作轉換步驟；手動步驟可以對每各閥門，泵，電機，加熱器單獨啟動，對機械手可以手動縱向和橫向到達任意位置。自動步驟對每個槽體自動補液，溫度自動調節(jié)，液位自動調節(jié)，機械手自動在槽體之間運送花籃，機械手到達每個槽工位時槽蓋將會自動開啟，離開時槽蓋將會自動關閉。時間、溫度、搬送速度數字化設定步驟；可以對時間、溫度和機械手的運行速度進行合理性設定，以達到生產工藝的要求。對設備進行全方位的安全保護步驟，機械手急停、系統(tǒng)急停、機械手上下極限、左右極限開關啟動步驟。對設備手動運行步驟，通過按鈕按照管路圖設定畫面對設備準備完成監(jiān)視，每個槽體各種功能監(jiān)視，包括液位，操蓋狀態(tài)，機械手到位狀態(tài)，泵和閥門的啟停，加熱器的啟停，報警顯示，報警記錄。全自動化SE電池量產腐蝕裝置,包括自動上料裝置或自動下料裝置、慢提拉槽
I、第一噴淋槽2、第一超聲波清洗槽3、第二超聲波清洗槽4、第二噴淋槽5、第一堿洗槽6、第三噴淋槽7、第二堿洗槽8、QDR槽9、第一酸腐蝕槽10、第二酸腐蝕槽11、自動上料裝置或自動下料裝置依次順序排列和連接。本實用新型的優(yōu)點是采用上述的技術方案之后，在處理大量的被處理物時，可以確保所有表面整體的溫度、濃度達到均勻性；保證被處理物處理完畢后表面的均一性，并且提高刻蝕后的表面精度；改善濃度及溫度不均勻的問題，且噴淋過程中達到完全噴淋；可以避免造成滯流部分的溫度、濃度不均勻，從而降低滯流部分顆粒對被處理物的污染；保證槽內被處理物的清潔度。

當結合附圖考慮時，通過參照下面的詳細描述，能夠更完整更好地理解本實用新型以及容易得知其中許多伴隨的優(yōu)點，但此處所說明的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，構成本實用新型的一部分，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定，如圖其中[0039]圖I為本實用新型的結構主視示意以下結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。
具體實施方式
顯然，本領域技術人員基于本實用新型的宗旨所做的許多修改和變化屬于本實用新型的保護范圍。實施例I:如圖I所示，一種全自動化SE電池量產腐蝕裝置，自動上料裝置或自動下料裝置連接慢提拉槽，慢提拉槽連接第一噴淋槽，第一噴淋槽連接第一超聲波清洗槽連接，第一超聲波清洗槽連接第二超聲波清洗槽連接、第二超聲波清洗槽連接第二噴淋槽連接，第二噴淋槽連接第一堿洗槽連接，第一堿洗槽連接第三噴淋槽連接，第三噴淋槽連接第二堿洗槽連接，第二堿洗槽連接QDR槽連接，QDR槽連接第一酸腐蝕槽連接，第一酸腐蝕槽連接第二酸腐蝕槽，第二酸腐蝕槽連接自動上料裝置或自動下料裝置，上述裝置依次順序排列和連接。 可以確保被處理物的表面溫度和濃度均勻，以及提高刻蝕后的表面精度，大大提高了電池片的轉換率；解決背景技術存在的問題。I)腐蝕槽、堿洗工藝槽自動循環(huán)及鼓泡功能，確保藥液的均勻；2)腐蝕槽、堿洗、IPA工藝槽上、側部設計排風管路，保持設備內部工作環(huán)境清潔，防止交叉污染；3)QDR工藝的應用，保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度；4)機械臂的橫向移動和縱向提升均采用進口伺服馬達，閉環(huán)控制，定位準確，可靠性高；采用圓導軌結構及線性模塊傳動，機械臂升降部及懸臂部均用PP包覆，確保機械臂壽命；幾何曲線加減速運動，沖擊小，運動平穩(wěn)；5)多工藝數據庫，可供用戶使用和存儲；6)機械手單獨急停開關、系統(tǒng)急停開關和機械手電機自動過載保護等多重保護，確保操作者的安全。全自動化SE電池量產腐蝕裝置,包括自動上料裝置或自動下料裝置、慢提拉槽I、第一噴淋槽2、第一超聲波清洗槽3、第二超聲波清洗槽4、第二噴淋槽5、第一堿洗槽6、第三噴淋槽7、第二堿洗槽8、QDR槽9、第一酸腐蝕槽10、第二酸腐蝕槽11、自動上料裝置或自動下料裝置依次順序排列和連接。腐蝕槽、堿洗工藝槽的藥液自動循環(huán)及鼓泡功能，確保藥液的均勻；腐蝕槽、堿洗、IPA工藝槽上、側部設計排風管路，保持設備內部工作環(huán)境清潔，防止交叉污染；QDR工藝的應用，保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度；機械臂的橫向移動和縱向提升均采用進口伺服馬達，閉環(huán)控制，定位準確，可靠性高；采用圓導軌結構及線性模塊傳動，機械臂升降部及懸臂部均用PP包覆，確保機械臂壽命；幾何曲線加減速運動，沖擊小，運動平穩(wěn)；多工藝數據庫，可供用戶使用和存儲；機械手單獨急停開關、系統(tǒng)急停開關和機械手電機自動過載保護等多重保護，確保操作者的安全。[0058]該清洗機是由工控機控制的全自動清洗系統(tǒng)。操作者只須將裝有工件的清洗籃放置于自動上料臺，再由工控機控制機械手依次將工件輸送到各個工位，按照事先輸入的程序對Si電池片進行清洗、酸、堿腐蝕處理等工藝處理后，從下料臺輸出。I)技術參數a)設備外形尺寸LxWxH = 1 2106x4096x2416mm ；b)處理硅片125*125*0. 16mm/156*156*0. 16mm ;c)生產能力3000 片 / 小時(156*156*0. 16mm)；每批200片/批；d)節(jié)拍4min ；·[0065]e)片盒50片片盒4籃/批；(根據客戶需求定制)100片片盒2籃/批；(根據客戶需求定制)f)處理最大重量40Kg ；設備組成清洗設備主體、移載機械臂、排風系統(tǒng)、電控及操作面板等組成，設備工藝流向采用“左進右出”(也可采用右進左出)一種全自動化SE電池量產腐蝕加工方法，工藝流程方法步驟依次執(zhí)行1#自動上料步驟、2#第二酸腐蝕槽步驟、3#第一酸腐蝕槽步驟、4#QDR槽步驟、5#第二堿洗槽步驟、6#第三噴淋槽步驟、7#第一堿洗槽步驟、8#第二噴淋槽步驟、9#第二超聲波清洗槽步驟、10#第一超聲波清洗槽步驟、11#第一噴淋槽步驟、12#慢提拉槽步驟、13#自動下料步驟。
權利要求1.ー種全自動化SE電池量產腐蝕裝置，其特征在于自動上料裝置或自動下料裝置、慢提拉槽、第一噴淋槽、第一超聲波清洗槽、第二超聲波清洗槽、第二噴淋槽、第一堿洗槽、第三噴淋槽、第二堿洗槽、QDR槽、第一酸腐蝕槽、第二酸腐蝕槽、自動上料裝置或自動下料裝置依次順序排列和連接。
專利摘要一種全自動化SE電池量產腐蝕裝置，自動上料裝置或自動下料裝置、慢提拉槽、第一噴淋槽、第一超聲波清洗槽、第二超聲波清洗槽、第二噴淋槽、第一堿洗槽、第三噴淋槽、第二堿洗槽、QDR槽、第一酸腐蝕槽、第二酸腐蝕槽、自動上料裝置或自動下料裝置依次順序排列和連接。本實用新型的優(yōu)點是采用上述的技術方案之后，在處理大量的被處理物時，可以確保所有表面整體的溫度、濃度達到均勻性；保證被處理物處理完畢后表面的均一性，并且提高刻蝕后的表面精度；改善濃度及溫度不均勻的問題，且噴淋過程中達到完全噴淋；可以避免造成滯流部分的溫度、濃度不均勻，從而降低滯流部分顆粒對被處理物的污染；保證槽內被處理物的清潔度。
文檔編號H01L31/18GK202616273SQ20122014152
公開日2012年12月19日 申請日期2012年4月1日 優(yōu)先權日2012年4月1日
發(fā)明者孫良欣, 夏文斌, 劉小龍 申請人:吉陽設備(海安)有限公司