專利名稱：一種擴(kuò)散爐爐門的密封裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及太陽能電池制造領(lǐng)域，尤其涉及一種擴(kuò)散爐的爐門密封裝置。
背景技術(shù)：
太陽能電池作為可再生的環(huán)保能源已經(jīng)成為世界各國普遍關(guān)注和重點(diǎn)發(fā)展得新興產(chǎn)業(yè)，為其能在各個(gè)領(lǐng)域內(nèi)更廣泛的使用，降低其生產(chǎn)成本勢在必行。擴(kuò)散爐作為生產(chǎn)太陽能電池的關(guān)鍵設(shè)備，提高設(shè)備使用率，減少維護(hù)成本，節(jié)約耗材，是降低成本不可或缺的必要環(huán)節(jié)。擴(kuò)散爐的爐門裝置的密封性能直接影響著擴(kuò)散源的利用率和太陽能電池的轉(zhuǎn)化效率，同時(shí)其高穩(wěn)定性和可靠性可以減少設(shè)備的維護(hù)成本，提高設(shè)備利用率，增加設(shè)備使用壽命，進(jìn)而降低生產(chǎn)成本。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于，針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種擴(kuò)散爐爐門的密封裝置，能自動(dòng)調(diào)節(jié)爐門的開閉方向，運(yùn)動(dòng)過程精度高、安全性和可靠性好。本實(shí)用新型的技術(shù)方案為，一種擴(kuò)散爐爐門的密封裝置，包括內(nèi)端與爐門外部中心通過緊固機(jī)構(gòu)相連的懸臂、氣缸和電機(jī)，懸臂的外端設(shè)有光孔和絲孔，還包括底板，底板下側(cè)設(shè)有平行的兩條沿著爐門左右方向放置的A滑軌，底板底面設(shè)有兩塊沿著A滑軌滑動(dòng)的A滑塊，所述氣缸的缸體固定在底板底面且氣缸的活塞端固定在底板下側(cè)的固定座上，氣缸活塞的中心軸線與A滑軌平行且氣缸帶動(dòng)底板沿著A滑軌滑動(dòng)；所述底板頂面設(shè)有平行的兩條與A滑軌垂直放置的B滑軌，并在B滑軌上設(shè)有可沿著B滑軌滑動(dòng)的B滑塊，所述電機(jī)固定在兩條B滑軌之間的底板外端頂面，與電機(jī)相對的底板內(nèi)端頂面裝有軸承座，電機(jī)通過聯(lián)軸器與絲桿螺母的一端相連且絲桿螺母的另一端通過軸承與軸承座連接；所述懸臂的外端與帶絲孔的安裝板通過連接件相連，且安裝板的兩端分別固定到兩塊B滑塊的頂面，所述絲桿螺母通過連接法蘭固定到安裝板的側(cè)面；所述安裝板沿著爐門左右方向的一側(cè)設(shè)有限位塊，并在爐門完全關(guān)閉和爐門完全打開時(shí)與限位塊位置相對應(yīng)的底板一側(cè)分別設(shè)有后限位光電開關(guān)和前限位光電開關(guān)。所述緊固機(jī)構(gòu)包括設(shè)在爐門中心的拉桿和壓緊法蘭，所述拉桿穿過懸臂中心并通過螺母緊固，所述壓緊法蘭設(shè)在懸臂與爐門之間。所述緊固件為螺釘，所述螺釘穿過懸臂上的光孔和安裝板上的絲孔。本實(shí)用新型實(shí)際應(yīng)用中包括關(guān)爐門和開爐門兩個(gè)過程。具體的控制方式分為 關(guān)爐門動(dòng)作分解為電機(jī)驅(qū)動(dòng)絲桿的前后運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)爐門和懸臂向后運(yùn)動(dòng)，直至所需位置由光電開關(guān)發(fā)出信號(hào)停止，然后由氣缸驅(qū)動(dòng)的左右運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)爐門、懸臂和前后運(yùn)動(dòng)裝置向左運(yùn)動(dòng)，直至爐門端面與反應(yīng)管端面向接觸壓緊停止磁性開關(guān)輸出位置信號(hào)；開爐門動(dòng)作與上述關(guān)爐門相反。此爐門裝置爐門與懸臂之間組裝極其簡單，把連桿穿過壓緊法蘭用螺釘固定在爐門上，然后把連桿的螺紋端穿過懸臂上相應(yīng)的光孔用固定螺母鎖死即可。[0009]該實(shí)用新型的調(diào)節(jié)便利也是其特征。爐門裝置的主要調(diào)節(jié)是保證反應(yīng)管和爐門中心對正，具體調(diào)節(jié)可以分解為前后和上下兩個(gè)方向。前后方向的調(diào)節(jié)只需要調(diào)整后限位光電開關(guān)的位置即可完成。上下方向的調(diào)節(jié)通過調(diào)節(jié)具有獨(dú)特結(jié)構(gòu)的懸臂和安裝板之間的間隙角度來調(diào)節(jié)懸臂與安裝板的連接通過螺釘穿過懸臂上光孔與安裝板上絲孔連接，另有懸臂內(nèi)側(cè)絲孔安裝螺釘頂在安裝板表面來調(diào)節(jié)相應(yīng)位置的間隙角度。爐門表面和反應(yīng)管端面的平行接觸可依靠控制爐門、拉桿和壓緊法蘭球面間隙組成的自適應(yīng)結(jié) 構(gòu)自動(dòng)調(diào)節(jié)。本實(shí)用新型采用穩(wěn)定可靠的運(yùn)動(dòng)方式，不同方向采取不同的驅(qū)動(dòng)方式滿足設(shè)備需求，結(jié)構(gòu)簡單易行，調(diào)節(jié)方便快速，降低維護(hù)成本，提高設(shè)備利用率，進(jìn)而提高太陽能電池生產(chǎn)線自動(dòng)化程度和生產(chǎn)效率。

圖I為用于擴(kuò)散爐的爐門密封裝置立體圖；圖2為用于擴(kuò)散爐的爐門密封裝置正面圖；圖3為用于擴(kuò)散爐的爐門密封裝置側(cè)面圖；圖4為爐門、壓緊法蘭、拉桿和懸臂組裝結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為懸臂結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為安裝板結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為底板結(jié)構(gòu)示意圖；圖8為光電開關(guān)座結(jié)構(gòu)不意圖；在上述附圖中各序號(hào)分別表示I-反應(yīng)管，2-爐門，3-壓緊法蘭，4-拉桿，5-懸臂，6-滑軌座，7-安裝板，8-B滑軌，9-絲桿螺母，10-電機(jī)座，11-聯(lián)軸器，12-電機(jī)，13-前限位光電開關(guān)，14-光電開關(guān)座，15-A滑軌，16-底板，17-固定座，18-氣缸，19-限位塊，20-后限位光電開關(guān)，21-B滑塊，22-連接法蘭，23-軸承，24-軸承座，25-固定螺母。
具體實(shí)施方式
如圖I-圖8所示，一種擴(kuò)散爐爐門的密封裝置，包括內(nèi)端與爐門2外部中心通過緊固機(jī)構(gòu)相連的懸臂5、氣缸18和電機(jī)12，懸臂5的外端設(shè)有光孔和絲孔，還包括底板16，底板16下側(cè)設(shè)有平行的兩條沿著爐門2左右方向放置的A滑軌15，底板16底面設(shè)有兩塊沿著A滑軌15滑動(dòng)的A滑塊，所述氣缸18的缸體固定在底板16底面且氣缸18的活塞端固定在底板16下側(cè)的固定座17上，氣氣缸活塞的中心軸線與A滑軌15平行且氣缸18帶動(dòng)底板16沿著A滑軌15滑動(dòng)；所述底板16頂面設(shè)有平行的兩條與A滑軌15垂直放置的B滑軌8，并在B滑軌8上設(shè)有可沿著B滑軌8滑動(dòng)的B滑塊21，所述電機(jī)12固定在兩條B滑軌8之間的底板16外端頂面，與電機(jī)12相對的底板16內(nèi)端頂面裝有軸承座24，電機(jī)12通過聯(lián)軸器11與絲桿螺母9的一端相連且絲桿螺母9的另一端通過軸承23與軸承座24連接；所述懸臂5的外端與帶絲孔的安裝板7通過連接件相連，且安裝板7的兩端分別固定到兩塊B滑塊21的頂面，所述絲桿螺母9通過連接法蘭22固定到安裝板7的側(cè)面；所述安裝板7沿著爐門2左右方向的一側(cè)設(shè)有限位塊19，并在爐門2完全關(guān)閉和爐門2完全打開時(shí)與限位塊19位置相對應(yīng)的底板16 —側(cè)分別設(shè)有后限位光電開關(guān)20和前限位光電開關(guān)13。所述緊固機(jī)構(gòu)包括設(shè)在爐門2中心的拉桿4和壓緊法蘭3，所述拉桿4穿過懸臂5中心并通過螺母25緊固，所述壓緊法蘭3設(shè)在懸臂5與 爐門2之間。所述緊固件為螺釘，所述螺釘穿過懸臂5上的光孔和安裝板7上的絲孔。
權(quán)利要求1.一種擴(kuò)散爐爐門的密封裝置，包括內(nèi)端與爐門(2)外部中心通過緊固機(jī)構(gòu)相連的懸臂(5)、氣缸(18)和電機(jī)(12)，懸臂(5)的外端設(shè)有光孔和絲孔，其特征是，還包括底板(16)，底板(16)下側(cè)設(shè)有平行的兩條沿著爐門⑵左右方向放置的A滑軌(15)，底板(16)底面設(shè)有兩塊沿著A滑軌(15)滑動(dòng)的A滑塊，所述氣缸(18)的缸體固定在底板(16)底面且氣缸(18)的活塞端固定在底板(16)下側(cè)的固定座(17)上，氣缸活塞的中心軸線與A滑軌(15)平行且氣缸(18)帶動(dòng)底板(16)沿著A滑軌(15)滑動(dòng)；所述底板(16)頂面設(shè)有平行的兩條與A滑軌(15)垂直放置的B滑軌⑶，并在B滑軌⑶上設(shè)有可沿著B滑軌(8)滑動(dòng)的B滑塊(21)，所述電機(jī)(12)固定在兩條B滑軌(8)之間的底板(16)外端頂面，與電機(jī)(12)相對的底板(16)內(nèi)端頂面裝有軸承座(24)，電機(jī)(12)通過聯(lián)軸器(11)與絲桿螺母(9)的一端相連且絲桿螺母(9)的另一端通過軸承(23)與軸承座(24)連接；所述懸臂(5)的外端與帶絲孔的安裝板(7)通過連接件相連，且安裝板(7)的兩端分別固定到兩塊B滑塊(21)的頂面，所述絲桿螺母(9)通過連接法蘭(22)固定到安裝板(7)的側(cè)面；所述安裝板(7)沿著爐門(2)左右方向的一側(cè)設(shè)有限位塊(19)，并在爐門(2)完全關(guān)閉和爐門(2)完全打開時(shí)與限位塊(19)位置相對應(yīng)的底板(16) —側(cè)分別設(shè)有后限位光電開關(guān)(20)和前限位光電開關(guān)(13)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述擴(kuò)散爐爐門的密封裝置，其特征是，所述緊固機(jī)構(gòu)包括設(shè)在爐門(2)中心的拉桿(4)和壓緊法蘭(3)，所述拉桿(4)穿過懸臂(5)中心并通過螺母(25)緊固，所述壓緊法蘭(3)設(shè)在懸臂(5)與爐門(2)之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述擴(kuò)散爐爐門的密封裝置，其特征是，所述緊固件為螺釘，所述螺釘穿過懸臂(5)上的光孔和安裝板(7)上的絲孔。
專利摘要本實(shí)用新型涉及太陽能電池制造領(lǐng)域，尤其涉及一種擴(kuò)散爐的爐門密封裝置。主要特征是爐門的開關(guān)動(dòng)作是通過滑軌和滑塊完成，運(yùn)動(dòng)過程精度高、安全性和可靠性好、平順且噪音小，同時(shí)關(guān)爐門時(shí)采用氣缸驅(qū)動(dòng)提供一定的預(yù)緊力，使?fàn)t門和反應(yīng)管密封更好，從而提高擴(kuò)散源的使用效率，減少廢氣泄露造成的污染腐蝕，延長設(shè)備的維護(hù)周期，提高設(shè)備的使用壽命。
文檔編號(hào)H01L31/18GK202582204SQ201220170919
公開日2012年12月5日 申請日期2012年4月20日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月20日
發(fā)明者張寶鋒, 劉良玉 申請人:中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所