專利名稱：互鎖控制系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及集成電路制造領(lǐng)域，特別涉及一種互鎖控制系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體的制造過程涉及方方面面，對機(jī)械、水、氣、電等有著苛刻的要求，而這些因素通常對環(huán)境及人的身體都有著嚴(yán)重的影響，稍有不慎就容易導(dǎo)致重大事故發(fā)生，因此，為了降低這些潛在的危險發(fā)生的概率，幾乎在所有的半導(dǎo)體設(shè)備中都設(shè)置有互鎖(interlock),以便及時的偵測是否有異常發(fā)生。然而，在現(xiàn)有的設(shè)備中，互鎖的設(shè)置往往不夠合理。例如型號為ASCVT0X-TXZ的集CVD和PVD過程于一體的這類半導(dǎo)體設(shè)備中，涉及很多的互鎖，具體的，請參考圖1，圖中示出6個互鎖組1，每個互鎖組對應(yīng)于不同的結(jié)構(gòu)，例如不同的腔室，每個互鎖組至少包括一個互鎖，這些互鎖組I皆接通一個互鎖總控模塊2，如此當(dāng)任一個互鎖組I被觸發(fā)后(通常互鎖組I中一個互鎖異常即可觸發(fā))，所述互鎖總控模塊2將發(fā)出示警并停止運作的指令，不僅該互鎖組I對應(yīng)的結(jié)構(gòu)(例如是一個CVD腔室)會示警并中止，其他互鎖組I所對應(yīng)的結(jié)構(gòu)(例如其他腔室)也會接收此命令，因此示警而中止。誠然這種設(shè)計或許能夠有利于技術(shù)人員排除故障時提供一相對安全的環(huán)境，但是實際上并未起到較好的效果，反而由于該結(jié)構(gòu)的影響會使得其他正常結(jié)構(gòu)中的產(chǎn)品制程被破壞，例如對具有4個PVD腔室、2個CVD腔室的設(shè)備而言，若其中一個CVD腔室的互鎖組被觸發(fā)，將很可能導(dǎo)致至少6片晶圓處于腔室中，而由于設(shè)備本身的問題，復(fù)機(jī)通常需要長達(dá)5個小時的操作，這對于很多產(chǎn)品而言，只能被迫報廢，造成成倍的損失
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種互鎖控制系統(tǒng)以解決現(xiàn)有技術(shù)中一個互鎖觸發(fā)會導(dǎo)致整個設(shè)備停機(jī)的狀況。為解決上述問題，本發(fā)明提供一種互鎖控制系統(tǒng)，用于包括多個腔室的半導(dǎo)體設(shè)備，所述多個腔室至少包括一個第一腔室和一個第二腔室，包括:多個互鎖組及多個互鎖控制模塊；所述多個腔室一一對應(yīng)于所述互鎖組，所述互鎖組能夠與所述互鎖控制模塊相連接，所述多個互鎖控制模塊相互獨立?？蛇x的，對于所述的互鎖控制系統(tǒng)，所述互鎖控制模塊的數(shù)量大于等于所述腔室的數(shù)量?？蛇x的，對于所述的互鎖控制系統(tǒng)，所述互鎖組皆連接于所述互鎖控制模塊?？蛇x的，對于所述的互鎖控制系統(tǒng)，所述互鎖控制系統(tǒng)還包括互鎖總控模塊，能夠同時控制所有的連接于所述互鎖總控模塊的互鎖組所對應(yīng)的腔室的運作狀態(tài)?？蛇x的，對于所述的互鎖控制系統(tǒng)，所述互鎖控制模塊的數(shù)量大于等于所述第一
腔室的數(shù)量?？蛇x的，對于所述的互鎖控制系統(tǒng)，與所述第一腔室相對應(yīng)的互鎖連接于所述互鎖控制模塊，與所述第二腔室相對應(yīng)的互鎖組連接于所述互鎖總控模塊?？蛇x的，對于所述的互鎖控制系統(tǒng)，所述第一腔室為CVD腔室?？蛇x的，對于所述的互鎖控制系統(tǒng)，所述第二腔室為PVD腔室?？蛇x的，對于所述的互鎖控制系統(tǒng)，每個所述互鎖組至少包括一個互鎖。本發(fā)明提供的互鎖控制系統(tǒng)，引入了相互獨立的互鎖控制模塊，從而可以實現(xiàn)對互鎖的單獨控制，那么能夠有效的使得在異常發(fā)生時，僅涉及到的腔室停止運作，其他腔室不受影響，從而大大的降低了故障排除的難度，縮短了復(fù)機(jī)時間，并盡可能的降低了損耗，也就大大的節(jié)省了時間和生產(chǎn)成本，有利于提高生產(chǎn)效率。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的互鎖控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明實施例一的互鎖控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本 發(fā)明實施例二的互鎖控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式以下結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明互鎖控制系統(tǒng)作進(jìn)一步詳細(xì)說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本發(fā)明的優(yōu)點和特征將更清楚。本發(fā)明附圖均采用非常簡化的形式，僅用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實施例的目的。實施例一請參考圖2，本發(fā)明實施例提供一種互鎖控制系統(tǒng)，用于包括多個腔室的半導(dǎo)體設(shè)備。具體的，所述多個腔室可以為不同的腔室，至少包括一個第一腔室和一個第二腔室；所述腔室還可以為相同的腔室，例如皆為化學(xué)氣相沉積(CVD)腔室。在本實施例中，采用不同的腔室，所述第一腔室為CVD腔室101，所述第二腔室為PVD腔室102。所述互鎖控制系統(tǒng)包括多個互鎖組103及多個互鎖控制模塊104，所述互鎖組103至少包括一個互鎖，可以用于偵測注入液體滲漏、氣體滲漏、壓強(qiáng)、箱蓋嚴(yán)合度等，圖1中所示互鎖組103和腔室101、102的位置關(guān)系只是考慮到所述互鎖組103是針對于其所對應(yīng)的腔室，并不是在此對其具體位置進(jìn)行限定。所述互鎖組103通過導(dǎo)線105與不同的互鎖控制模塊104連接，用于傳遞信號至所述互鎖控制模塊104，每個所述互鎖控制模塊104是相互獨立的，所述互鎖控制模塊104的數(shù)量可以為等于所述腔室的數(shù)量，也可以大于，以便留有備用。每個所述互鎖控制模塊104在接收到信號時，會根據(jù)設(shè)定的程序進(jìn)行判斷，若判斷不合標(biāo)準(zhǔn)，則會發(fā)出相應(yīng)的指令，例如“示警并停機(jī)”給予相應(yīng)的腔室，從而使得該腔室不再運作，便于技術(shù)人員檢查。那么，根據(jù)本發(fā)明的互鎖控制系統(tǒng)，由于所述互鎖控制模塊104之間是相互獨立的，當(dāng)一個腔室的互鎖被觸發(fā)時，該腔室將被控制而停止運作，其他腔室將不會受到影響。如此便能夠有針對性的對某一腔室進(jìn)行復(fù)原(recovery)，而不必進(jìn)行整個設(shè)備的復(fù)機(jī)，這將大大的減少復(fù)機(jī)所耗費的時間，同時也將可能避免由于耗時久而導(dǎo)致的晶圓報廢情況，而由于其他腔室仍在正常運作，因此，總的報廢情況將大有改善，設(shè)備的使用率也將得到較大的提升。
需要說明的是，圖1中僅示出I個CVD腔室101和I個PVD腔室102只是示意，也可以認(rèn)為例如CVD腔室101為多個時本發(fā)明也進(jìn)行了記載。實施例二經(jīng)過長期的研究發(fā)現(xiàn)，對于包括多個CVD腔室101和多個PVD腔室102的設(shè)備而言，例如型號為ASCVT0X-TXZ的半導(dǎo)體設(shè)備，在使用過程中PVD腔室102所對應(yīng)的互鎖幾乎不會出現(xiàn)異常，而現(xiàn)有技術(shù)中通常是所有的互鎖組103連接于一個互鎖總控模塊，當(dāng)CVD腔室101的互鎖被觸發(fā)后，所述互鎖總控模塊將使得所有的腔室停止運作。為了降低設(shè)計成本，有效利用現(xiàn)有設(shè)備的結(jié)構(gòu)，請參考圖3，本實施例與實施例一的區(qū)別在于，還包括互鎖總控模塊106，能夠同時控制所有的連接于所述互鎖總控模塊106的互鎖組101所對應(yīng)的腔室的運作狀態(tài)。在本實施例中，對應(yīng)于所述CVD腔室101的互鎖組103通過導(dǎo)線105連接于互鎖控制模塊104，而對應(yīng)于所述PVD腔室102的互鎖組103則通過導(dǎo)線105連接于所述互鎖總控模塊106，那么本實施例能夠有針對性的將易觸發(fā)互鎖的CVD腔室101單獨控制，避免了其互鎖被觸發(fā)時對PVD腔室102的影響，而所述PVD腔室102由于不易發(fā)生互鎖觸發(fā)現(xiàn)象，那么多個PVD腔室102的互鎖組13接通與互鎖總控模塊106便能夠減少所述互鎖控制模塊104的數(shù)量，例如與所述CVD腔室101的數(shù)量相同，或者大于(可作為備用等)即可，而不必是與所述CVD腔室101和PVD腔室102的數(shù)量之和相同或大于，從而節(jié)省成本。需要說明的是，圖3中所示并不對腔室的數(shù)量進(jìn)行限定。本實施例以CVD腔室容易觸發(fā)互鎖為例進(jìn)行了說明，將對應(yīng)于CVD腔室101的互鎖組103連接于互鎖控制模塊104。具體使用時應(yīng)當(dāng)根據(jù)具體情況而定，例如，在實施例二中的情況，若存在3個CVD腔室101，僅有一個CVD腔室101的互 鎖容易觸發(fā)，其他腔室不容易觸發(fā)，則也可以將不容易觸發(fā)的CVD腔室101所對應(yīng)的互鎖組103連接于所述互鎖總控模塊106，則所述互鎖控制模塊104的數(shù)量也可適當(dāng)?shù)淖儎?。又如，對于僅具有PVD腔室的半導(dǎo)體設(shè)備而言，若有一個腔室易觸發(fā)互鎖，其他腔室較穩(wěn)定，則可將該腔室所對應(yīng)的互鎖組單獨連接至一互鎖控制模塊，而其他腔室所對應(yīng)的互鎖組則可依然連接在互鎖總控模塊上。如若對各個腔室的觸發(fā)情況不能夠有效的掌控，則優(yōu)選為采用實施例一的方式，將每個腔室所對應(yīng)的互鎖組一一連接至單獨的互鎖控制模塊，那么就能夠大大的避免相互影響的問題。此外，所述腔室不限于CVD腔室或PVD腔室，其它涉及到互鎖觸發(fā)而會停止運作的設(shè)備均可采用本發(fā)明的方案。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的互鎖控制系統(tǒng)，引入了相互獨立的互鎖控制模塊，從而可以實現(xiàn)對互鎖的單獨控制，那么能夠有效的使得在異常發(fā)生時，僅涉及到的腔室停止運作，其他腔室不受影響，從而大大的降低了故障排除的難度，縮短了復(fù)機(jī)時間，并盡可能的降低了損耗，也就大大的節(jié)省了時間和生產(chǎn)成本，有利于提高生產(chǎn)效率。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對發(fā)明進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包括這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種互鎖控制系統(tǒng)，用于包括多個腔室的半導(dǎo)體設(shè)備，所述多個腔室至少包括一個第一腔室和一個第二腔室，其特征在于，包括: 多個互鎖組及多個互鎖控制模塊；所述多個腔室一一對應(yīng)于所述互鎖組，所述互鎖組能夠與所述互鎖控制模塊相連接，所述多個互鎖控制模塊相互獨立。
2.如權(quán)利要求1所述的互鎖控制系統(tǒng)，其特征在于，所述互鎖控制模塊的數(shù)量大于等于所述腔室的數(shù)量。
3.如權(quán)利要求2所述的互鎖控制系統(tǒng)，其特征在于，所述互鎖組皆連接于所述互鎖控制豐吳塊。
4.如權(quán)利要求1所述的互鎖控制系統(tǒng)，其特征在于，所述互鎖控制系統(tǒng)還包括互鎖總控模塊，能夠同時控制所有的連接于所述互鎖總控模塊的互鎖組所對應(yīng)的腔室的運作狀態(tài)。
5.如權(quán)利要求4所述的互鎖控制系統(tǒng)，其特征在于，所述互鎖控制模塊的數(shù)量大于等于所述第一腔室的數(shù)量。
6.如權(quán)利要求4所述的互鎖控制系統(tǒng)，其特征在于，與所述第一腔室相對應(yīng)的互鎖連接于所述互鎖控制模塊，與所述第二腔室相對應(yīng)的互鎖組連接于所述互鎖總控模塊。
7.如權(quán)利要 求1所述的互鎖控制系統(tǒng)，其特征在于，所述第一腔室為CVD腔室。
8.如權(quán)利要求1所述的互鎖控制系統(tǒng)，其特征在于，所述第二腔室為PVD腔室。
9.如權(quán)利要求1所述的互鎖控制系統(tǒng)，其特征在于，每個所述互鎖組至少包括一個互鎖。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種互鎖控制系統(tǒng)，引入了相互獨立的互鎖控制模塊，從而可以實現(xiàn)對互鎖的單獨控制，那么能夠有效的使得在異常發(fā)生時，僅涉及到的腔室停止運作，其他腔室不受影響，從而大大的降低了故障排除的難度，縮短了復(fù)機(jī)時間，并盡可能的降低了損耗，也就大大的節(jié)省了時間和生產(chǎn)成本，有利于提高生產(chǎn)效率。
文檔編號H01L21/67GK103227126SQ20131010389
公開日2013年7月31日 申請日期2013年3月27日 優(yōu)先權(quán)日2013年3月27日
發(fā)明者蘭萬鵬, 任逸 申請人:上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司