專利名稱：一種基板減壓干燥方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及基板制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種基板減壓干燥方法及裝置。
背景技術(shù)：
目前的減壓干燥(V⑶)設(shè)備的排氣孔設(shè)置有兩種方式，一種是中心排氣，另一種是四周排氣。但無論哪種排氣方式，對(duì)于大尺寸的玻璃基板來說，會(huì)由于排氣孔數(shù)量少及分布問題，造成排氣不均勻，加上光刻膠本身的流動(dòng)性較差，導(dǎo)致基板表面的氣流不均，基板表面的濕度不同等原因，在減壓干燥后，會(huì)產(chǎn)生減壓干燥斑點(diǎn)，最常見的是類似月牙形的斑點(diǎn)。目前業(yè)內(nèi)無法對(duì)減壓干燥的斑點(diǎn)進(jìn)行有效控制，增加了基板質(zhì)量的誤判率，不利于對(duì)基板質(zhì)量的檢測(cè)，影響了基板的品質(zhì)，給后續(xù)工作帶來不便。

發(fā)明內(nèi)容
(一)要解決的技術(shù)問題本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是:如何提供一種基板減壓干燥方法及裝置，以解決現(xiàn)有基板減壓干燥過程中存在的減壓干燥斑點(diǎn)的問題。(二)技術(shù)方案為解決上述技 術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種基板減壓干燥方法，其特征是，該方法包括以下步驟:S1:將基板置于密封空間；S2:將所述基板的待干燥面劃分為設(shè)定個(gè)密封區(qū)；S3:對(duì)所述密封區(qū)抽氣減壓；S4:對(duì)所述密封區(qū)吹氣干燥，從密封空間取出基板。 所述步驟S3具體為:S31:選擇一個(gè)所述密封區(qū)作為第一減壓區(qū)進(jìn)行抽氣減壓；當(dāng)所述第一減壓區(qū)內(nèi)的壓力小于設(shè)定壓力值時(shí)進(jìn)入步驟S32 ；S32:若第一減壓區(qū)有相鄰的密封區(qū)，則將所述第一減壓區(qū)和所述第一減壓區(qū)相鄰的一個(gè)密封區(qū)連通后形成的區(qū)域作為第一減壓區(qū)，進(jìn)入步驟S33;否則，第一減壓區(qū)沒有相鄰的密封區(qū)，抽氣結(jié)束；S33:對(duì)此時(shí)的第一減壓區(qū)進(jìn)行抽氣減壓，當(dāng)?shù)谝粶p壓區(qū)內(nèi)的壓力小于所述設(shè)定壓力值時(shí)，返回步驟S32。在所述步驟S3之后還包括:將第一減壓區(qū)重新劃分為所述設(shè)定個(gè)密封區(qū)。所述步驟S4具體為:S41:選擇一個(gè)所述密封區(qū)作為第一干燥區(qū)進(jìn)行吹氣干燥，當(dāng)所述第一干燥區(qū)內(nèi)的濕度小于設(shè)定濕度值時(shí)進(jìn)入步驟S42 ；S42:若第一干燥區(qū)有相鄰的密封區(qū)，則將所述第一干燥區(qū)和所述第一干燥區(qū)相鄰的一個(gè)密封區(qū)連通后形成的區(qū)域作為第一干燥區(qū)，進(jìn)入步驟S43 ;否則，第一干燥區(qū)沒有相鄰的密封區(qū)，干燥結(jié)束，從密封空間取出基板；S43:對(duì)此時(shí)的第一干燥區(qū)進(jìn)行吹氣干燥，當(dāng)?shù)谝桓稍飬^(qū)內(nèi)的濕度小于所述設(shè)定濕度值時(shí)，返回步驟S42。一種基板減壓干燥裝置，其特征是，該裝置包括: 干燥倉(cāng)，用于放置待干燥的基板；密封蓋，用于將所述干燥倉(cāng)和外部空氣隔絕；控制板，位于所述干燥倉(cāng)的下部，用于控制基板的干燥過程；所述干燥倉(cāng)包括第一擋板、第二擋板、第三擋板和底板；第一擋板、第二擋板、第三擋板、底板和控制板構(gòu)成矩形槽。所述控制板上間隔設(shè)置有槽。所述第一擋板上對(duì)應(yīng)所述控制板上的槽間隔設(shè)置有槽。所述第二擋板上間隔設(shè)置有槽。所述第三擋板對(duì)應(yīng)所述第二擋板上的槽間隔設(shè)置有槽。所述裝置還包括隔離擋板，用于通過所述第一擋板上的槽和控制板上的槽或第二擋板上的槽和第三擋板上的槽劃分所述矩形槽。所述隔離擋板上設(shè)有連通隔離擋板兩側(cè)的壓力控制閥。 所述控制板上的槽 之間設(shè)有抽氣端口。所述控制板上的槽之間設(shè)有吹氣端口。所述控制板上的槽之間設(shè)有壓力傳感器。所述控制板上的槽之間設(shè)有濕度傳感器。所述控制板上設(shè)有用于監(jiān)控減壓干燥過程的控制面板。所述控制板內(nèi)設(shè)有空氣泵，所述空氣泵的一端與所述控制面板連接；所述空氣泵的另一端與所述抽氣端口和吹氣端口連接。(三)有益效果本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn):1.將大尺寸的基板劃分小的密封區(qū)進(jìn)行減壓干燥，降低了減壓干燥過程的難度，易于實(shí)現(xiàn)；2.對(duì)密封區(qū)逐個(gè)進(jìn)行減壓/干燥，最大限度地保證了壓力和濕度的均勻，避免了減壓干燥斑點(diǎn)的形成；3.干燥倉(cāng)可通過第一擋板、第二擋板、第三擋板、底板和控制板構(gòu)成的矩形槽可根據(jù)基板的形狀進(jìn)行調(diào)整，能對(duì)各種尺寸的基板進(jìn)行減壓干燥；4.第一擋板、第二擋板、第三擋板和控制板上對(duì)應(yīng)設(shè)置有用于安裝隔離擋板的槽，可以對(duì)密封區(qū)的大小靈活控制；5.相鄰的密封區(qū)通過壓力控制閥進(jìn)行連通控制，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單有效，過程容易控制，壓力控制閥設(shè)置簡(jiǎn)單；6.抽氣端口和吹氣端口可以通過一個(gè)端口實(shí)現(xiàn)，減少了成本，節(jié)約了控制流程；7.控制板上的槽之間設(shè)有壓力傳感器和濕度傳感器，能夠?qū)崟r(shí)對(duì)密封區(qū)內(nèi)的壓力值和濕度值進(jìn)行監(jiān)控；8.本發(fā)明的方法和裝置不僅適用于對(duì)基板的減壓干燥，也適用于其他需要減壓干燥的有平整平面的器件。


圖1是本發(fā)明的流程圖；圖2是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說明本發(fā)明，但不用來限制本發(fā)明的范圍。為了解決現(xiàn)有基板減壓干燥過程中存在的干燥斑的問題，本發(fā)明提出了一種基板減壓干燥方法及裝置。本發(fā)明方法的流程圖如圖1所示，參照?qǐng)D示，該方法具體包括以下步驟:S1:將基板置于密封空間；S2:將所述基板的待干燥面劃分為依次相鄰的設(shè)定個(gè)密封區(qū)；依次相鄰是指根據(jù)基板的實(shí)際形狀，按從左到右或從上到下等方式，將基板劃分為簡(jiǎn)單的幾何形密封區(qū)以便減壓干燥。設(shè)定個(gè)是指根據(jù)實(shí)際的基板尺寸將基板要減壓干燥的面劃分為密封區(qū)的數(shù)量。S3:對(duì)所述密封區(qū)抽氣減壓；S31:選擇一個(gè)·所述密封區(qū)作為第一減壓區(qū)進(jìn)行抽氣減壓；當(dāng)所述第一減壓區(qū)內(nèi)的壓力小于設(shè)定壓力值時(shí)進(jìn)入步驟S32 ；S32:若第一減壓區(qū)有相鄰的密封區(qū)，則將所述第一減壓區(qū)和所述第一減壓區(qū)相鄰的一個(gè)密封區(qū)連通后形成的區(qū)域作為第一減壓區(qū)，進(jìn)入步驟S33;否則，第一減壓區(qū)沒有相鄰的密封區(qū)，說明基板已經(jīng)全部減壓過了，抽氣結(jié)束，將第一減壓區(qū)重新劃分為所述設(shè)定個(gè)密封區(qū)；重新劃分密封區(qū)時(shí)，只要將此刻的第一減壓區(qū)恢復(fù)成抽氣減壓前的設(shè)定個(gè)密封區(qū)即可。此時(shí)，連通后形成的第一減壓區(qū)內(nèi)的壓力會(huì)升高，然后再逐漸降低。最大限度地保證了壓力和濕度的均勻，避免了減壓干燥斑點(diǎn)的形成；S33:對(duì)此時(shí)的第一減壓區(qū)進(jìn)行抽氣減壓，當(dāng)?shù)谝粶p壓區(qū)內(nèi)的壓力小于所述設(shè)定壓力值時(shí)，返回步驟S32。S4:對(duì)所述密封區(qū)吹氣干燥，從密封空間取出基板；S41:選擇一個(gè)所述密封區(qū)作為第一干燥區(qū)進(jìn)行吹氣干燥，當(dāng)所述第一干燥區(qū)內(nèi)的濕度小于設(shè)定濕度值時(shí)進(jìn)入步驟S42 ；S42:若第一干燥區(qū)有相鄰的密封區(qū)，則將所述第一干燥區(qū)和所述第一干燥區(qū)相鄰的一個(gè)密封區(qū)連通后形成的區(qū)域作為第一干燥區(qū)，進(jìn)入步驟S43 ;否則，第一干燥區(qū)沒有相鄰的密封區(qū)，說明基板已經(jīng)全部干燥過了，干燥結(jié)束，從密封空間取出基板；此時(shí)，連通后形成的第一干燥區(qū)內(nèi)的濕度會(huì)升高，然后再逐漸降低。S43:對(duì)此時(shí)的第一干燥區(qū)進(jìn)行吹氣干燥，當(dāng)?shù)谝桓稍飬^(qū)內(nèi)的濕度小于所述設(shè)定濕度值時(shí)，返回步驟S42 ；一種實(shí)現(xiàn)上述方法的裝置，如圖2所示，該裝置包括:
干燥倉(cāng)(圖中未示出)，用于放置待干燥的基板；密封蓋(圖中未示出)，用于將所述干燥倉(cāng)和外部空氣隔絕；控制板1，位于所述干燥倉(cāng)的下部，用于控制基板的干燥過程。所述干燥倉(cāng)包括第一擋板2、第二擋板3、第三擋板4和底板11 ;第一擋板2、第二擋板3、第三擋板4、底板11和控制板I構(gòu)成矩形槽，矩形槽和密封蓋一起形成和外部空氣隔絕的區(qū)域。第一擋板2、第二擋板3和第三擋板4在干燥倉(cāng)內(nèi)的位置可調(diào)，以適應(yīng)基板的形狀。所述控制板I上間隔設(shè)置有槽；對(duì)應(yīng)圖2中控制板的邊上和第一擋板2對(duì)應(yīng)的邊上設(shè)有槽6。所述第一擋板2上對(duì)應(yīng)所述控制板I上的槽間隔設(shè)置有槽6。對(duì)應(yīng)是指控制板I上的槽和第一擋板2上的槽之間平行設(shè)置，數(shù)量和間距也對(duì)應(yīng)相等。所述第二擋板3上間隔設(shè)置有槽6。所述第三擋板4對(duì)應(yīng)所述第二擋板3上的槽間隔設(shè)置有槽6。第二擋 板3和第三擋板4之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系同控制板I和第一擋板2之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。這樣就將大尺寸的基板劃分小的密封區(qū)進(jìn)行減壓干燥，降低了減壓干燥過程的難度，易于實(shí)現(xiàn)。所述裝置還包括隔離擋板12，用于通過所述第一擋板2上的槽6和控制板I上的槽6或第二擋板3上的槽6和第三擋板4上的槽6劃分所述矩形槽，以形成大小適當(dāng)?shù)膮^(qū)域進(jìn)行干燥。所述隔離擋板12上設(shè)有連通隔離擋板兩側(cè)的壓力控制閥7，壓力控制閥7開啟時(shí)能連通隔離擋板12兩側(cè)的密封區(qū)。該壓力控制閥7的壓力值可控，可通過自動(dòng)或手動(dòng)方式調(diào)節(jié)。所述控制板I上的槽6之間設(shè)有抽氣端口 13和吹氣端口 5。吹氣端口 13和抽氣端5 口可用一個(gè)端口實(shí)現(xiàn)。所述控制板I上的槽6之間設(shè)有壓力傳感器9和濕度傳感器10。壓力傳感器9和濕度傳感器10可在控制板I上的槽6之間的每個(gè)間隔設(shè)置，也可選擇幾個(gè)間隔設(shè)置。所述控制板I上設(shè)有用于監(jiān)控減壓干燥過程的控制面板8。所述控制板I內(nèi)設(shè)有空氣泵(圖中未示出)，所述空氣泵的一端與所述控制面板8連接；所述空氣泵的另一端與所述抽氣端口 13和吹氣端口 5連接。當(dāng)抽氣減壓時(shí)，吹氣端口 5封閉，抽氣端口 13和空氣泵連通從基板內(nèi)向外進(jìn)行抽氣；當(dāng)吹氣干燥時(shí)，抽氣端口 13封閉，吹氣端口 5和空氣泵連通從外向基板內(nèi)進(jìn)行吹氣。所述控制板I和外部電源連接。本發(fā)明的具體實(shí)施過程為:首先，打開密封蓋，將基板放在干燥倉(cāng)的底板上，需要減壓干燥的面對(duì)應(yīng)密封蓋，并使基板的一個(gè)邊靠緊控制板，調(diào)整第一擋板、第二擋板和第三擋板的位置和尺寸以適應(yīng)基板的形狀，能對(duì)各種尺寸的基板進(jìn)行減壓干燥，使得調(diào)整第一擋板、第二擋板、第三擋板、底板和控制板緊密接觸(各部件連接處能隔絕空氣)。按需要通過隔離擋板將基板劃分為幾個(gè)密封區(qū)(隔離擋板安裝在控制板和第一擋板、第二擋板和第三擋板上的槽里)，并調(diào)整隔離擋板上的壓力控制閥的參數(shù)。最后，將密封蓋蓋上，此時(shí)，通過密封蓋、第一擋板、第二擋板、第三擋板、底板和控制板形成了密封空間。隔離擋板又將密封空間劃分為小的密封區(qū)。將大尺寸的基板劃分小的密封區(qū)進(jìn)行減壓干燥，降低了減壓干燥過程的難度，易于實(shí)現(xiàn)。
然后，對(duì)密封區(qū)進(jìn)行抽氣減壓。通常選擇干燥倉(cāng)最外側(cè)的密封區(qū)作為第一減壓區(qū)進(jìn)行抽氣減壓。若選擇從中間的密封區(qū)進(jìn)行減壓，則需要將抽氣端口和吹氣端口移動(dòng)到相應(yīng)的密封區(qū)。當(dāng)選擇最外側(cè)作為第一減壓區(qū)抽氣減壓時(shí)，控制板上的控制面板通過控制板內(nèi)的空氣泵和抽氣端口對(duì)第一減壓區(qū)進(jìn)行抽氣，當(dāng)?shù)谝粶p壓區(qū)內(nèi)的壓力傳感器檢測(cè)到壓力值小于設(shè)定的壓力閾值時(shí)，控制第一減壓區(qū)和第一減壓區(qū)相鄰的一個(gè)密封區(qū)之間的隔離擋板上的壓力控制閥打開，使得第一減壓區(qū)和該密封區(qū)形成聯(lián)通區(qū)進(jìn)行抽氣減壓，此時(shí)，第一減壓區(qū)內(nèi)的壓力值會(huì)升高，和第一減壓區(qū)相鄰的密封區(qū)內(nèi)的壓力值會(huì)降低，最后兩個(gè)區(qū)內(nèi)的壓力值相等并同時(shí)降低。當(dāng)壓力傳感器測(cè)得壓力值小于設(shè)定的壓力閾值時(shí)，控制壓力控制閥打開下一個(gè)相鄰的密封區(qū)，以此類推，使得所有的密封區(qū)都連通進(jìn)行減壓抽氣。最大限度地保證了壓力和濕度的均勻，避免了減壓干燥斑點(diǎn)的形成。相鄰的密封區(qū)通過壓力控制閥進(jìn)行連通控制，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單有效，過程容易控制，壓力控制閥設(shè)置簡(jiǎn)單。壓力傳感器和濕度傳感器，能夠?qū)崟r(shí)對(duì)密封區(qū)內(nèi)的壓力值和濕度值進(jìn)行監(jiān)控。抽氣減壓完成后，需要將各個(gè)密封區(qū)之間的隔離擋板上的壓力控制閥閉合，重新構(gòu)成密封區(qū)，之后再進(jìn)行吹氣干燥過程。吹氣干燥過程和抽氣減壓過程，此處不再贅述。本發(fā)明通過采用將大尺寸的基板，分階段的進(jìn)行減壓干燥，保證在每個(gè)階段的小區(qū)域內(nèi)排氣均勻，通過改變減壓干燥方式，避免了對(duì)高品質(zhì)光刻膠的需求，降低了材料成本，同時(shí)該方式滿足單件產(chǎn)品生產(chǎn)時(shí)間(tact time)，極大降低了減壓干燥斑點(diǎn)的產(chǎn)生，提聞了廣品品質(zhì)。以上實(shí)施方式僅用于說明本發(fā)明，而并非對(duì)本發(fā)明的限制，有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有等同的技術(shù)方案也屬于本 發(fā)明的范疇，本發(fā)明的專利保護(hù)范圍應(yīng)由權(quán)利要求限定。
權(quán)利要求
1.一種基板減壓干燥方法，其特征是，該方法包括以下步驟: S1:將基板置于密封空間； 52:將所述基板的待干燥面劃分為設(shè)定個(gè)密封區(qū)； 53:對(duì)所述密封區(qū)抽氣減壓； 54:對(duì)所述密封區(qū)吹氣干燥，從密封空間取出基板。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征是，所述步驟S3具體為: 531:選擇一個(gè)所述密封區(qū)作為第一減壓區(qū)進(jìn)行抽氣減壓；當(dāng)所述第一減壓區(qū)內(nèi)的壓力小于設(shè)定壓力值時(shí)進(jìn)入步驟S32 ； 532:若第一減壓區(qū)有相鄰的密封區(qū)，則將所述第一減壓區(qū)和所述第一減壓區(qū)相鄰的一個(gè)密封區(qū)連通后形成的區(qū)域作為第一減壓區(qū)，進(jìn)入步驟S33;否則，第一減壓區(qū)沒有相鄰的密封區(qū)，抽氣結(jié)束； S33:對(duì)此時(shí)的第一減壓區(qū)進(jìn)行抽氣減壓，當(dāng)?shù)谝粶p壓區(qū)內(nèi)的壓力小于所述設(shè)定壓力值時(shí)，返回步驟S32。
3.如權(quán)利要求2所述的方法，其特征是，在所述步驟S3之后還包括:將第一減壓區(qū)重新劃分為所述設(shè)定個(gè)密封區(qū)。
4.如權(quán)利要求3所述的方法，其特征是，所述步驟S4具體為: S41:選擇一個(gè)所述密封區(qū)作為第一干燥區(qū)進(jìn)行吹氣干燥，當(dāng)所述第一干燥區(qū)內(nèi)的濕度小于設(shè)定濕度值時(shí)進(jìn)入步驟S42 ； S42:若第一干燥區(qū)有相鄰的密封區(qū)，則將所述第一干燥區(qū)和所述第一干燥區(qū)相鄰的一個(gè)密封區(qū)連通后形成的區(qū)域作為第一干燥區(qū)，進(jìn)入步驟S43 ;否則，第一干燥區(qū)沒有相鄰的密封區(qū)，干燥結(jié)束，從密封空間取出基板； S43:對(duì)此時(shí)的第一干燥區(qū)進(jìn)行吹氣干燥，當(dāng)?shù)谝桓稍飬^(qū)內(nèi)的濕度小于所述設(shè)定濕度值時(shí)，返回步驟S42。
5.一種實(shí)現(xiàn)權(quán)利要求1所述方法的裝置，其特征是，該裝置包括: 干燥倉(cāng)，用于放置待干燥的基板； 密封蓋，用于將所述干燥倉(cāng)和外部空氣隔絕； 控制板，位于所述干燥倉(cāng)的下部，用于控制基板的干燥過程； 所述干燥倉(cāng)包括第一擋板、第二擋板、第三擋板和底板；第一擋板、第二擋板、第三擋板、底板和控制板構(gòu)成矩形槽。
6.如權(quán)利要求5所述的裝置，其特征是，所述控制板上間隔設(shè)置有槽。
7.如權(quán)利要求6所述的裝置，其特征是，所述第一擋板上對(duì)應(yīng)所述控制板上的槽間隔設(shè)置有槽。
8.如權(quán)利要求7所述的裝置，其特征是，所述第二擋板上間隔設(shè)置有槽。
9.如權(quán)利要求8所述的裝置，其特征是，所述第三擋板對(duì)應(yīng)所述第二擋板上的槽間隔設(shè)置有槽。
10.如權(quán)利要求9所述的裝置，其特征是，所述裝置還包括隔離擋板，用于通過所述第一擋板上的槽和控制板上的槽或第二擋板上的槽和第三擋板上的槽劃分所述矩形槽。
11.如權(quán)利要求10所述的裝置，其特征是，所述隔離擋板上設(shè)有連通隔離擋板兩側(cè)的壓力控制閥。
12.如權(quán)利要求11所述的裝置，其特征是，所述控制板上的槽之間設(shè)有抽氣端口。
13.如權(quán)利要求12所述的裝置，其特征是，所述控制板上的槽之間設(shè)有吹氣端口。
14.如權(quán)利要求13所述的裝置，其特征是，所述控制板上的槽之間設(shè)有壓力傳感器。
15.如權(quán)利要求14所述的裝置，其特征是，所述控制板上的槽之間設(shè)有濕度傳感器。
16.如權(quán)利要求15所述的裝置，其特征是，所述控制板上設(shè)有用于監(jiān)控減壓干燥過程的控制面板。
17.如權(quán)利要求16所述的裝置，其特征是，所述控制板內(nèi)設(shè)有空氣泵，所述空氣泵的一端與所述控制面板連 接；所述空氣泵的另一端與所述抽氣端口和吹氣端口連接。
全文摘要
本發(fā)明公開了基板制造技術(shù)領(lǐng)域中的一種基板減壓干燥方法及裝置。首先將基板置于密封空間；然后將所述基板的待干燥面劃分為設(shè)定個(gè)密封區(qū)；之后對(duì)所述密封區(qū)抽氣減壓；最后對(duì)所述密封區(qū)吹氣干燥，從密封空間取出基板。本發(fā)明能對(duì)各種尺寸的基板進(jìn)行減壓干燥；最大限度地保證了壓力和濕度的均勻，避免了減壓干燥斑點(diǎn)的形成。
文檔編號(hào)H01L21/67GK103234328SQ201310103630
公開日2013年8月7日 申請(qǐng)日期2013年3月28日 優(yōu)先權(quán)日2013年3月28日
發(fā)明者王聳, 王冀豫, 馮賀, 吳洪江 申請(qǐng)人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 北京京東方顯示技術(shù)有限公司