專(zhuān)利名稱(chēng)：一種開(kāi)有斜槽的石英舟結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種用于制造石英件的，開(kāi)有斜槽的石英舟結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
石英舟廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造工業(yè)，尤其在太陽(yáng)能、分立器件芯片制造的擴(kuò)散工藝上使用較為廣泛，石英舟的作用是用來(lái)裝置硅片，然后將其安裝在爐管的槳上，由槳推入爐管內(nèi)部進(jìn)行摻雜及擴(kuò)散工藝。目前，傳統(tǒng)的石英舟一般由縱向的石英棒以及橫向連接的石英條組成，在縱向的石英棒上開(kāi)有與水平面相垂直的槽并裝置硅片，對(duì)于此種結(jié)構(gòu)的石英舟，由于硅片的固定點(diǎn)有限，并且硅片與硅片之間呈平行豎直排列，當(dāng)工藝氣體設(shè)置為流量較大的時(shí)候，硅片易受流量影響產(chǎn)生晃動(dòng)，造成碎片，另外這種與水平方向垂直的槽在出現(xiàn)磨損情況，相鄰的兩硅片易粘接在一起，影響氣體的擴(kuò)散均勻性。

發(fā)明內(nèi)容
本申請(qǐng)人針對(duì)上述問(wèn)題，進(jìn)行了研究改進(jìn)，提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、安裝方便的開(kāi)有斜槽的石英舟結(jié)構(gòu)，減少了工藝碎片的情況，提高了氣體的擴(kuò)散均勻性。本發(fā)明所采用的技術(shù)方案如下:
一種開(kāi)有斜槽的石英舟結(jié)構(gòu)，其特征在于:包括底座，底座上裝置舟體，于舟體的兩端設(shè)置可與搬運(yùn)器插接的安裝孔，在舟體上開(kāi)有多個(gè)可供硅片插入的安裝槽及導(dǎo)氣孔。其進(jìn)一步技術(shù)方案在 于:
所述安裝槽為一斜槽，斜槽與垂直線(xiàn)之間形成2° 5°的夾角，于斜槽上還開(kāi)有倒角，倒角的角度為59° 61° ;
于舟體上，位于安裝孔的內(nèi)側(cè)還裝置手柄，手柄為長(zhǎng)條形；
所述舟體上還開(kāi)有長(zhǎng)圓形插槽，長(zhǎng)圓形插槽至少為5個(gè)；
所述舟體兩腰線(xiàn)之間的形成的夾角α為119° 121° ；
所述舟體上開(kāi)有的導(dǎo)氣孔至少為5個(gè)，導(dǎo)氣孔為長(zhǎng)圓形；
所述安裝孔為4個(gè)。所述底座為3個(gè)，分別位于舟體的前部、中部及后部。本發(fā)明的有益效果如下:
本發(fā)明通過(guò)將舟體設(shè)計(jì)為弧形，同時(shí)將舟體上的槽設(shè)置成與垂直方向呈一定角度的斜槽，使硅片的排列方向一致，提高硅片與舟體的接觸面積，避免以往因槽磨損而出現(xiàn)硅片傾斜或粘接的的情況，并大大降低了工藝碎片發(fā)生的幾率，同時(shí)在舟體上還開(kāi)有導(dǎo)氣孔，大大提高了氣體的擴(kuò)散均勻性。


圖1為本發(fā)明的主視圖。圖2為圖1的俯視圖。圖3為本發(fā)明斜槽的局部的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖，說(shuō)明本發(fā)明的具體實(shí)施方式
。如圖1、圖2所示，本發(fā)明包括底座4，底座4為3個(gè)，底座4上裝置舟體2，舟體2兩腰線(xiàn)之間的形成的夾角α為119 121°，于舟體2的兩端設(shè)置可與搬運(yùn)器插接的安裝孔3，安裝孔3為4個(gè)。在舟體2上開(kāi)有多個(gè)可供硅片插入的安裝槽及導(dǎo)氣孔5。舟體2上開(kāi)有的導(dǎo)氣孔5至少為5個(gè)， 導(dǎo)氣孔5為長(zhǎng)圓形。如圖3所示，安裝槽為一斜槽201，斜槽201與垂直線(xiàn)之間形成2° 5。的夾角，于斜槽201上還開(kāi)有倒角，倒角的角度為60° 59° 61°。如圖2所示，舟體2上，位于安裝孔3的內(nèi)側(cè)還裝置手柄6，手柄6為長(zhǎng)條形。在舟體2上還開(kāi)有長(zhǎng)圓形插槽7，長(zhǎng)圓形插槽7至少為5個(gè)，長(zhǎng)圓形插槽7保證了舟體2進(jìn)入爐內(nèi)后與氣體的充分交融、接觸，上述底座4分別位于舟體2的前部、中部及后部
本發(fā)明的具體工作過(guò)程如下:
將娃片依次放入斜槽201內(nèi)，由于斜槽具有一定角度,各娃片朝相同方向傾斜,利用手柄6拿起本發(fā)明，利用底座4安裝在漿(圖中未示出)，通過(guò)槳將本發(fā)明推入爐內(nèi)，通過(guò)導(dǎo)氣孔5、長(zhǎng)圓形插槽7、以及斜槽201，可使工藝氣體與硅片充分接觸，使硅片和舟接觸的部分也得到均勻的摻雜和擴(kuò)散。本發(fā)明通過(guò)將舟體設(shè)計(jì)為弧形，同時(shí)將舟體上的槽設(shè)置成與垂直方向呈一定角度的斜槽，使硅片的排列方向一致，提高硅片與舟體的接觸面積，避免以往因槽磨損而出現(xiàn)硅片傾斜或粘接的的情況，并大大降低了工藝碎片發(fā)生的幾率，同時(shí)在舟體上還開(kāi)有導(dǎo)氣孔，大大提高了氣體的擴(kuò)散均勻性。以上描述是對(duì)本發(fā)明的解釋?zhuān)皇菍?duì)發(fā)明的限定，本發(fā)明所限定的范圍參見(jiàn)權(quán)利要求，在不違背本發(fā)明的基本結(jié)構(gòu)的情況下，本發(fā)明可以作任何形式的修改。
權(quán)利要求
1.一種開(kāi)有斜槽的石英舟結(jié)構(gòu)，其特征在于:包括底座(4)，底座(4)上裝置舟體(2)，于所述舟體(2)的兩端設(shè)置可與搬運(yùn)器插接的安裝孔(3)，在舟體(2)上開(kāi)有多個(gè)可供硅片插入的安裝槽及導(dǎo)氣孔(5)。
2.如權(quán)利要求1所述的一種開(kāi)有斜槽的石英舟結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述安裝槽為一斜槽(201)，所述斜槽(201)與垂直線(xiàn)之間形成2° 5。的夾角，于所述斜槽(201)上還開(kāi)有倒角，倒角的角度為59° 61°。
3.如權(quán)利要求1所述的一種開(kāi)有斜槽的石英舟結(jié)構(gòu)，其特征在于:于所述舟體(2)上，位于安裝孔(3 )的內(nèi)側(cè)還裝置手柄(6 )，所述手柄(6 )為長(zhǎng)條形。
4.如權(quán)利要求1所述的一種開(kāi)有斜槽的石英舟結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述舟體(2)上還開(kāi)有長(zhǎng)圓形插槽(7),所述長(zhǎng)圓形插槽(7)至少為5個(gè)。
5.如權(quán)利要求1所述的一種開(kāi)有斜槽的石英舟結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述舟體(2)兩腰線(xiàn)之間的形成的夾角α為119° 121°。
6.如權(quán)利要求1所述的一種開(kāi)有斜槽的石英舟結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述舟體(2)上開(kāi)有的導(dǎo)氣孔(5)至少為5個(gè)，導(dǎo)氣孔(5)為長(zhǎng)圓形。
7.如權(quán)利要求1所述的一種開(kāi)有斜槽的石英舟結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述安裝孔(3)為4個(gè)。
8.如權(quán)利要求1所述的一種開(kāi)有斜槽的石英舟結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述底座(4)為3個(gè)，分別位于舟體(2)的前部、中部及后部。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種開(kāi)有斜槽的石英舟結(jié)構(gòu)，包括底座，底座上裝置舟體，于舟體的兩端設(shè)置可與搬運(yùn)器插接的安裝孔，在舟體上開(kāi)有多個(gè)可供硅片插入的安裝槽及導(dǎo)氣孔。本發(fā)明通過(guò)將舟體設(shè)計(jì)為弧形，同時(shí)將舟體上的槽設(shè)置成與垂直方向呈一定角度的斜槽，使硅片的排列方向一致，提高硅片與舟體的接觸面積，避免以往因槽磨損而出現(xiàn)硅片傾斜或粘接的情況，并大大降低了工藝碎片發(fā)生的幾率，同時(shí)在舟體上還開(kāi)有導(dǎo)氣孔，大大提高了氣體的擴(kuò)散均勻性。
文檔編號(hào)H01L21/673GK103236410SQ20131015467
公開(kāi)日2013年8月7日 申請(qǐng)日期2013年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2013年4月28日
發(fā)明者趙之俊, 劉明, 趙峰 申請(qǐng)人:康可電子(無(wú)錫) 有限公司