一種石英舟的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型提出一種結(jié)構(gòu)合理且不影響緊迫氧化擴散的石英舟。
【背景技術(shù)】
[0002]石英舟是集成電路制作中晶片運輸裝置；進行集成電路的制作時，需要對行晶片進行氧化擴散；
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，傳輸裝置上的卡槽需要比晶片的厚度寬，放置卡片等問題的出現(xiàn)，因此導(dǎo)致在進行晶片的運輸過程中晶片在放置槽中處于各種的方向，直接影響氧化擴散的均勻性和一致性。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型提出一種石英舟，解決了現(xiàn)有技術(shù)中運輸裝置結(jié)構(gòu)不合理，影響晶片氧化擴散的均勻性和一致性的問題。
[0005]本實用新型的技術(shù)方案是這樣實現(xiàn)的:
[0006]一種石英舟，包括:
[0007]用于與外部連接的支撐裝置；
[0008]用于放置晶片的若干第一槽棒，設(shè)置在支撐裝置上；
[0009]支撐架體，活動設(shè)置在若干第一槽棒上，并可在若干第一槽棒上做直線運動；
[0010]若干第二槽棒，分別設(shè)置在支撐架體兩側(cè)，且若干第二槽棒與若干第一槽棒平行設(shè)置。
[0011]作為進一步的技術(shù)方案，第一槽棒包括:
[0012]第一槽桿，設(shè)置在支撐裝置上；
[0013]若干第一放置槽，設(shè)置在第一槽桿上。
[0014]作為進一步的技術(shù)方案，第二槽棒包括:
[0015]第二槽桿，設(shè)置在支撐架體上；
[0016]若干第二放置槽，設(shè)置在第二槽桿上。
[0017]作為進一步的技術(shù)方案，還包括:
[0018]第一定位裝置和第二定位裝置，設(shè)置在支撐裝置上，且若干第一槽棒置于第一定位裝置和第二定位裝置之間。
[0019]作為進一步的技術(shù)方案，還包括:
[0020]用于限制支撐架體移動距離的第一限位裝置和第二限位裝置，活動設(shè)置在第一槽棒上。
[0021]本實用新型技術(shù)方案中通過第一槽棒和第二槽棒進行晶片的放置，且在放置晶片后，進行支撐架體的位置調(diào)整，由于第一槽棒設(shè)置在支撐架體上，因此支撐架體改變其在第一槽棒時，第一槽棒同樣進行位置的改變，進而使得晶片在第二槽棒和第一槽棒之間形成以角度，且能夠使得第一槽棒和第二槽棒之間的晶片設(shè)置方向及角度均相同，由此能夠更為均勻的進行氧化擴散。
【附圖說明】
[0022]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0023]圖1為本實用新型一種石英舟的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖2為俯視圖1后，石英舟的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖3為右視圖1后，石英舟的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0026]圖中:
[0027]1、支撐裝置；2、第一槽棒；21、第一槽桿；22、第一放置槽；3、支撐架體；4、第二槽棒；41、第二槽桿；42、第二放置槽；51、第一定位裝置；52、第二定位裝置。
【具體實施方式】
[0028]下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├绢I(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0029]如圖1-3所示，本實用新型提出的一種石英舟，包括:
[0030]支撐裝置I與外部連接，本實用新型中與外部傳送裝置連接，通過支撐裝置I與外部裝置進行固定，并通過運輸帶動支撐裝置I進行整體的傳送；
[0031]若干第一槽棒2設(shè)置在支撐裝置I上，在使用時，將晶片放置在第一槽棒2上；
[0032]其中，
[0033]第一槽棒2包括:第一槽桿21和若干第一放置槽22，該第一槽桿21設(shè)置在支撐裝置I上；若干第一放置槽22設(shè)置在第一槽桿21上；本實用新型中優(yōu)選的設(shè)置兩個第一槽棒2，則本實用新型中第一槽桿21具體為兩個，在兩個第一槽桿21上分別設(shè)置若干第一放置槽22 ;
[0034]支撐架體3活動設(shè)置在若干第一槽棒2上，并可在若干第一槽棒2上做直線運動；
[0035]若干第二槽棒4分別設(shè)置在支撐架體3兩側(cè)，且若干第二槽棒4與若干第一槽棒2平行設(shè)置，在使用時與第一槽棒2共同使用進行晶片的放置；且通過平行設(shè)置保證第二槽棒4與第一槽棒2同時放置晶片時，能夠更好的控制晶片的位置；
[0036]其中，
[0037]第二槽棒4包括:第二槽桿41和若干第二放置槽42，該第二槽桿41設(shè)置在支撐架體3上；若干第二放置槽42設(shè)置在第二槽桿41上，本實用新型中優(yōu)選的設(shè)置兩個第二槽桿41，分別設(shè)置在支撐架體3的兩側(cè)，在支撐架體3兩側(cè)的第一槽桿21上均設(shè)置有若干第二放置槽42 ;通過與第一放置槽22的配合實現(xiàn)晶片的防止；
[0038]工作階段，將晶片防止與第一槽棒2和第二槽棒4上，并調(diào)整支撐架體3在第一槽棒2上的位置，進而通過支撐架體3調(diào)整第二槽棒4的位置，進而使得晶片的上端產(chǎn)生位移，實現(xiàn)晶片呈一定角度放置在第一槽棒2和第二槽棒4上，且放置在第一槽棒2和第二槽棒4上的晶片會因為支撐架體3的調(diào)整其放置方向變?yōu)榻y(tǒng)一朝向，進而使得在氧化擴散是能夠保證其均勻性和一致性。
[0039]另外，
[0040]本實用新型中，還包括第一定位裝置51和第二定位裝置52，設(shè)置在支撐裝置I上，且若干第一槽棒2置于第一定位裝置51和第二定位裝置52之間；通過將第一定位裝置51和第二定位裝置52分別設(shè)置在第一槽棒2兩側(cè)的架體上，實現(xiàn)通過第一定位裝置51和第二定位裝置52控制并限制第一槽板的位置，避免其在支撐架體3的調(diào)整時出現(xiàn)變形，進而造成第一槽棒2的損壞；
[0041]當(dāng)然為更好的控制支撐架體3的調(diào)整，本實用新型中，有限的設(shè)置第一限位裝置和第二限位裝置，該第一限位裝置和第二限位裝置活動設(shè)置在第一槽棒2上，用于限制支撐架體3移動距離；根據(jù)不同尺寸的晶片支撐架體3的調(diào)整距離相同，但是如果調(diào)整距離過大，有可能對晶片造成損壞，因此，本實用新型中通過第一限位裝置和第二限位裝置控制支撐架體3的調(diào)整距離；
[0042]該第一限位裝置和第二限位裝置分別設(shè)置在第一槽棒2的兩端，當(dāng)然根據(jù)需要可以在每個第一槽棒2上均設(shè)置第一限位裝置和第二限位裝置，且，第一限位裝置和第二限位裝置可以在第一槽棒2上動作，以保證支撐架體3能夠調(diào)整不同的距離，并在調(diào)整距離時能夠把卡住支撐架體3的位置，避免調(diào)整距離過大，對晶片造成損壞。
[0043]以上僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種石英舟，其特征在于，包括: 用于與外部連接的支撐裝置(I); 用于放置晶片的若干第一槽棒(2)，設(shè)置在所述支撐裝置(I)上； 支撐架體(3)，活動設(shè)置在若干所述第一槽棒(2)上，并可在若干所述第一槽棒(2)上做直線運動； 若干第二槽棒，分別設(shè)置在所述支撐架體(3)兩側(cè)，且若干所述第二槽棒與若干所述第一槽棒(2)平行設(shè)置。2.如權(quán)利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述第一槽棒(2)包括: 第一槽桿(21)，設(shè)置在所述支撐裝置(I)上； 若干第一放置槽(22)，設(shè)置在所述第一槽桿(21)上。3.如權(quán)利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述第二槽棒包括: 第二槽桿(41)，設(shè)置在所述支撐架體(3)上； 若干第二放置槽(42)，設(shè)置在所述第二槽桿(41)上。4.如權(quán)利要求1所述的石英舟，其特征在于，還包括: 第一定位裝置(51)和第二定位裝置(52)，設(shè)置在所述支撐裝置(I)上，且若干所述第一槽棒(2)置于所述第一定位裝置(51)和所述第二定位裝置(52)之間。5.如權(quán)利要求1所述的石英舟，其特征在于，還包括: 用于限制所述支撐架體(3)移動距離的第一限位裝置和第二限位裝置，活動設(shè)置在所述第一槽棒(2)上。
【專利摘要】本實用新型提出了一種石英舟，解決了現(xiàn)有技術(shù)中運輸裝置結(jié)構(gòu)不合理，影響晶片氧化擴散的均勻性和一致性的問題；包括用于與外部連接的支撐裝置；用于放置晶片的若干第一槽棒，設(shè)置在支撐裝置上；支撐架體，活動設(shè)置在若干第一槽棒上，并可在若干第一槽棒上做直線運動；若干第二槽棒，分別設(shè)置在支撐架體兩側(cè)，且若干第二槽棒與若干第一槽棒平行設(shè)置，本實用新型提出的石英舟能夠使得第一槽棒和第二槽棒之間的晶片設(shè)置方向及角度均相同，由此能夠更為均勻的進行氧化擴散。
【IPC分類】H01L21/673
【公開號】CN205177801
【申請?zhí)枴緾N201520845197
【發(fā)明人】張忠恕, 張娟, 陳強, 孫云濤, 馮繼瑤, 邊占寧, 趙曉亮, 于洋, 李寶軍, 王笑波, 王連連, 張連興, 李翔星, 于立臣
【申請人】北京凱德石英股份有限公司
【公開日】2016年4月20日
【申請日】2015年10月29日