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      移動(dòng)系統(tǒng)的制作方法

      文檔序號(hào):6791856閱讀:839來源:國知局
      專利名稱:移動(dòng)系統(tǒng)的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明涉及一種移動(dòng)系統(tǒng),尤其涉及一種用于單晶硅自動(dòng)粘接機(jī)的移動(dòng)系統(tǒng)。
      背景技術(shù)
      在生產(chǎn)制造硅片時(shí),需要將用來固定單晶硅的晶硅夾具、樹酯以及單晶硅通過膠水按序粘接起來。目前,在國內(nèi),將所述晶硅夾具、樹酯以及單晶硅粘接起來是通過手工來實(shí)現(xiàn)的。這樣使得硅片的生產(chǎn)效率比較低下、生產(chǎn)成本較高,不利于實(shí)現(xiàn)硅片的大規(guī)模生產(chǎn)。而要實(shí)現(xiàn)硅片的大規(guī)模自動(dòng)化生產(chǎn),則必須解決放置有單晶硅的晶硅夾具在工作臺(tái)上時(shí)的自由移動(dòng)問題。鑒于上述問題,有必要提供一種定位系統(tǒng),以解決上述問題。

      發(fā)明內(nèi)容
      針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足,本發(fā)明解決的技術(shù)問題是提供一種移動(dòng)系統(tǒng),該移動(dòng)系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)放置有單晶硅的晶硅夾具在工作臺(tái)上的自由移動(dòng)問題。為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的:
      一種移動(dòng)系統(tǒng),包括工作臺(tái)以及安裝在所述工作臺(tái)上的滑動(dòng)模塊,所述滑動(dòng)模塊包括安裝在所述工作臺(tái)上的導(dǎo)軌、安裝在所述導(dǎo)軌上的滑塊、安裝在所述導(dǎo)軌上的滾輪、安裝在所述工作臺(tái)上的絲杠以及安裝在所述絲杠上的傳動(dòng)塊,所述傳動(dòng)塊與所述滑塊固定安裝在一起,所述傳動(dòng)塊還與所述絲杠的活塞固定在一起。

      進(jìn)一步地,所述傳動(dòng)塊呈長方體狀。進(jìn)一步地,所述絲杠位于所述滾輪和所述工作臺(tái)之間。進(jìn)一步地,所述滾輪為無動(dòng)力滾輪。本發(fā)明的有益效果是:相較于現(xiàn)有技術(shù),本發(fā)明所述移動(dòng)系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)放置有單晶硅的晶硅夾具在工作臺(tái)上的自由移動(dòng)。


      圖1為本發(fā)明移動(dòng)系統(tǒng)的立體示意圖。圖2為圖1所示移動(dòng)系統(tǒng)的滑動(dòng)模塊的立體示意圖。
      具體實(shí)施例方式為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚,下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述。請參閱圖1所示,本發(fā)明移動(dòng)系統(tǒng)100包括工作臺(tái)10以及安裝在所述工作臺(tái)10上的滑動(dòng)模塊20。所述滑動(dòng)模塊20包括導(dǎo)軌21、安裝在所述導(dǎo)軌21上的滑塊22、安裝在所述導(dǎo)軌21上的滾輪23、安裝在所述工作臺(tái)10上的絲杠24以及安裝在所述絲杠24上的傳動(dòng)塊25,所述傳動(dòng)塊25呈長方體狀。
      請參閱圖1并結(jié)合圖2所示,所述滑塊22可以沿著所述導(dǎo)軌21滑動(dòng)。所述滾輪23為無動(dòng)力滾輪,可以自由轉(zhuǎn)動(dòng)。所述絲杠24位于所述滾輪23和所述工作臺(tái)10之間。所述傳動(dòng)塊25的兩側(cè)與所述滑塊22固定安裝在一起,所述傳動(dòng)塊25的中間部分與所述絲杠24的活塞固定在一起,從而使得所述滑塊22可以在所述絲杠24以及傳動(dòng)塊25的作用下沿著所述導(dǎo)軌21滑動(dòng)。當(dāng)使用本發(fā)明移動(dòng)系統(tǒng)100時(shí),首先將放置有單晶硅的夾具30放置在所述滾輪23上,然后將所述夾具30和所述滑塊22固定在一起。這樣所述夾具30就可以在所述滑塊22、絲杠24以及傳動(dòng)塊25的作用下沿著所述滾輪23滑動(dòng)。相較于現(xiàn)有技術(shù),本發(fā)明所述移動(dòng)系統(tǒng)100可以實(shí)現(xiàn)放置有單晶硅的晶硅夾具30在工作臺(tái)10上的自由移動(dòng)。特別需要指出,對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在本發(fā)明的教導(dǎo)下所作的針對(duì)本發(fā)明的等效變化 ,仍應(yīng)包含在本發(fā)明申請專利范圍所主張的范圍中。
      權(quán)利要求
      1.一種移動(dòng)系統(tǒng),其特征在于:所述移動(dòng)系統(tǒng)包括工作臺(tái)以及安裝在所述工作臺(tái)上的滑動(dòng)模塊,所述滑動(dòng)模塊包括安裝在所述工作臺(tái)上的導(dǎo)軌、安裝在所述導(dǎo)軌上的滑塊、安裝在所述導(dǎo)軌上的滾輪、安裝在所述工作臺(tái)上的絲杠以及安裝在所述絲杠上的傳動(dòng)塊,所述傳動(dòng)塊與所述滑塊固定安裝在一起,所述傳動(dòng)塊還與所述絲杠的活塞固定在一起。
      2.如權(quán)利要求1所述的移動(dòng)系統(tǒng),其特征在于:所述傳動(dòng)塊呈長方體狀。
      3.如權(quán)利要求2所述的移動(dòng)系統(tǒng),其特征在于:所述絲杠位于所述滾輪和所述工作臺(tái)之間。
      4.如權(quán)利 要求3所述的移動(dòng)系統(tǒng),其特征在于:所述滾輪為無動(dòng)力滾輪。
      全文摘要
      本發(fā)明揭示了一種移動(dòng)系統(tǒng),包括工作臺(tái)以及安裝在所述工作臺(tái)上的滑動(dòng)模塊,所述滑動(dòng)模塊包括安裝在所述工作臺(tái)上的導(dǎo)軌、安裝在所述導(dǎo)軌上的滑塊、安裝在所述導(dǎo)軌上的滾輪、安裝在所述工作臺(tái)上的絲杠以及安裝在所述絲杠上的傳動(dòng)塊,所述傳動(dòng)塊與所述滑塊固定安裝在一起,所述傳動(dòng)塊還與所述絲杠的活塞固定在一起。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明所述移動(dòng)系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)放置有單晶硅的晶硅夾具在工作臺(tái)上的自由移動(dòng)。
      文檔編號(hào)H01L21/677GK103219268SQ20131015482
      公開日2013年7月24日 申請日期2013年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2013年4月28日
      發(fā)明者李佳 申請人:蘇州工業(yè)園區(qū)高登威科技有限公司
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