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      一種單芯片電流檢測型功率器件的制作方法

      文檔序號(hào):7008158閱讀:344來源:國知局
      一種單芯片電流檢測型功率器件的制作方法
      【專利摘要】本發(fā)明涉及一種單芯片電流檢測型功率器件,包括,集成在一個(gè)芯片上的一個(gè)主功率器件和至少一個(gè)電流檢測器件;所述主功率器件與至少一個(gè)電流檢測器件并聯(lián),并且共用漏極端作為輸入端;所述主功率器件與至少一個(gè)電流檢測器件分別具有柵極控制端和源級(jí)輸出端。本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明所述單芯片電流檢測型功率器件,實(shí)現(xiàn)了在單芯片上即可實(shí)現(xiàn)一顆主功率器件和數(shù)顆電流檢測器件并聯(lián)的結(jié)構(gòu),從而大幅簡化了電路結(jié)構(gòu),降低了制造成本,使得“使用電流檢測型功率器件改善開關(guān)電源轉(zhuǎn)化器效率的方法”專利更容易實(shí)現(xiàn)。
      【專利說明】一種單芯片電流檢測型功率器件
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本發(fā)明涉及一種單芯片電流檢測型功率器件,屬于半導(dǎo)體器件領(lǐng)域。
      【背景技術(shù)】
      [0002]傳統(tǒng)的電流檢測型功率器件單顆芯片上,除主功率器件(MainFET)外,最多集成一顆電流檢測器件(SensingFET )。
      [0003]如果要實(shí)現(xiàn)多顆電流檢測器件并聯(lián)使用的話,需要采用多芯片封裝的技術(shù),但是采用多芯片封裝技術(shù)和分離器件外部集成技術(shù)的成本高。

      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0004]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是,對(duì)于“使用電流檢測型功率器件改善開關(guān)電源轉(zhuǎn)化器效率的方法”的專利來說,雖然技術(shù)上可以實(shí)現(xiàn),但是采用多芯片封裝技術(shù)和分離器件外部集成技術(shù)的成本要遠(yuǎn)高于采用芯片集成技術(shù)的成本,提供一種在單芯片上即可實(shí)現(xiàn)一顆主功率器件和數(shù)顆電流檢測器件并聯(lián)的結(jié)構(gòu),從而大幅簡化了電路結(jié)構(gòu),降低了制造成本的單芯片電流檢測型功率器件。
      [0005]本發(fā)明解決上述技術(shù)問題的技術(shù)方案如下:一種單芯片電流檢測型功率器件,包括,集成在一個(gè)芯片上的一個(gè)主功率器件和至少一個(gè)電流檢測器件;
      [0006]所述主功率器件與至少一個(gè)電流檢測器件并聯(lián),所述主功率器件漏極與至少一個(gè)電流檢測器件漏極相連接,作為共同輸入端;
      [0007]所述主功率器件還包括柵極控制端和源級(jí)輸出端,所述每個(gè)電流檢測器件分別具有各自的柵極控制端和源級(jí)輸出端。
      [0008]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明所述單芯片電流檢測型功率器件,實(shí)現(xiàn)了在單芯片上即可實(shí)現(xiàn)一顆主功率器件和數(shù)顆電流檢測器件并聯(lián)的結(jié)構(gòu),從而大幅簡化了電路結(jié)構(gòu),降低了制造成本,使得“使用電流檢測型功率器件改善開關(guān)電源轉(zhuǎn)化器效率的方法”專利更容易實(shí)現(xiàn)。
      [0009]在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上,本發(fā)明還可以做如下改進(jìn)。
      [0010]進(jìn)一步,所述每個(gè)電流檢測器件的導(dǎo)通電阻均大于主功率器件的導(dǎo)通電阻。
      [0011]進(jìn)一步,所述電流檢測器件的數(shù)量由電路需求的轉(zhuǎn)換效率確定。
      [0012]進(jìn)一步,所述電流檢測器件的導(dǎo)通電阻根據(jù)不同的面積和結(jié)構(gòu)而不同。
      [0013]使用新型的電流檢測型功率器件的版圖,將一顆主功率器件和數(shù)顆電流檢測器件并聯(lián)集成在同一芯片上,他們有共同的漏極,但分別有各自的柵極和源極,可以獨(dú)立工作。
      [0014]以上所提及的電流檢測型功率器件的版圖形狀和面積可以是任意的。
      [0015]以上所提及的功率器件可以是任何柵極控制型開關(guān)器件。例如:絕緣柵雙極型晶體管(IGBT),雙極型晶體管(BJT),場效應(yīng)晶體管(FET),結(jié)型場效應(yīng)晶體管(JFET),絕緣柵場效應(yīng)晶體管(IGFET),金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管(MOSFET)及其他。
      [0016]以上所提及電流檢測型功率器件可以是任何材料的器件??梢怨璨牧掀骷?,也可以是SiC的,或者是GaN的,以及其他任何材料。
      [0017]以上所提及的電流檢測型功率器件的Cell形狀和器件結(jié)構(gòu)可以是任意。只要能實(shí)現(xiàn)功率器件的功能。
      [0018]以上所提及電流檢測型功率器件中電流檢測器件的數(shù)量可以是任意數(shù)量,只需滿足對(duì)開關(guān)電源轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換效率的要求。
      【專利附圖】

      【附圖說明】
      [0019]圖1為本發(fā)明具體實(shí)施例1所述的一種單芯片電流檢測型功率器件電路結(jié)構(gòu)圖;
      [0020]圖2為本發(fā)明具體實(shí)施例1所述的一種單芯片電流檢測型功率器件結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0021]圖3為本發(fā)明具體實(shí)施例1所述的一種單芯片電流檢測型功率器件金屬層開口區(qū)域示意圖。
      [0022]附圖中,各標(biāo)號(hào)所代表的部件列表如下:
      [0023]1、主功率器件,2、電流檢測器件,Gm、主功率器件柵極,Sm、主功率器件源級(jí),Gs、電流檢測器件柵極,Ss、電流檢測器件源級(jí),D、漏極。
      【具體實(shí)施方式】
      [0024]以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的原理和特征進(jìn)行描述,所舉實(shí)例只用于解釋本發(fā)明,并非用于限定本發(fā)明的范圍。
      [0025]如圖1和圖2所示,本發(fā)明具體實(shí)施例1所述的一種單芯片電流檢測型功率器件,包括,集成在一個(gè)芯片上的一個(gè)主功率器件I和至少一個(gè)電流檢測器件2 ;
      [0026]所述主功率器件I與至少一個(gè)電流檢測器件2并聯(lián),所述主功率器件I漏極與至少一個(gè)電流檢測器件2漏極相連接,作為共同輸入端;
      [0027]所述主功率器件I還包括柵極控制端和源級(jí)輸出端,所述每個(gè)電流檢測器件2分別具有各自的柵極控制端和源級(jí)輸出端。
      [0028]所述每個(gè)電流檢測器件2的導(dǎo)通電阻均大于主功率器件I的導(dǎo)通電阻。
      [0029]所述電流檢測器件2的數(shù)量由電路需求的轉(zhuǎn)換效率確定。
      [0030]所述電流檢測器件2的導(dǎo)通電阻根據(jù)不同的面積和結(jié)構(gòu)而不同。
      [0031]如圖3所示,本發(fā)明具體實(shí)施例1所述的一種單芯片電流檢測型功率器件金屬層開口區(qū)域示意圖,其中,Gm和Sm分別表示主功率器件的柵極(Gate)和源極(Source), Gsl和Ssl分別表示電流檢測器件-1的柵極和源極,Gs2和Ss2分別表示電流檢測器件_2的柵極和源極,以此類推,GsN和SsN分別表示電流檢測器件-N的柵極和源極。
      [0032]以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例,并不用以限制本發(fā)明,凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
      【權(quán)利要求】
      1.一種單芯片電流檢測型功率器件,其特征在于,包括,集成在一個(gè)芯片上的一個(gè)主功率器件和至少一個(gè)電流檢測器件; 所述主功率器件與至少一個(gè)電流檢測器件并聯(lián),所述主功率器件漏極與至少一個(gè)電流檢測器件漏極相連接,作為共同輸入端; 所述主功率器件還包括柵極控制端和源級(jí)輸出端,所述每個(gè)電流檢測器件分別具有各自的柵極控制端和源級(jí)輸出端。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單芯片電流檢測型功率器件,其特征在于,所述每個(gè)電流檢測器件的導(dǎo)通電阻均大于主功率器件的導(dǎo)通電阻。
      3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種單芯片電流檢測型功率器件,其特征在于,所述電流檢測器件的數(shù)量由電路需求的轉(zhuǎn)換效率確定。
      4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種單芯片電流檢測型功率器件,其特征在于,所述電流檢測器件的導(dǎo)通電阻根據(jù)不同的面積和結(jié)構(gòu)而不同。
      【文檔編號(hào)】H01L27/088GK103633085SQ201310470721
      【公開日】2014年3月12日 申請(qǐng)日期:2013年10月10日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月10日
      【發(fā)明者】吳宗憲, 陳彥豪, 張子敏 申請(qǐng)人:吳宗憲, 陳彥豪, 張子敏
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