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      一種雙波長綜合泵浦的側(cè)泵激光模塊的制作方法

      文檔序號:7008692閱讀:224來源:國知局
      一種雙波長綜合泵浦的側(cè)泵激光模塊的制作方法
      【專利摘要】本發(fā)明公開了一種雙波長綜合泵浦的側(cè)泵激光模塊,腔體內(nèi)設(shè)置有石英玻管,石英玻管內(nèi)設(shè)置有激光增益介質(zhì);在腔體上沿激光增益介質(zhì)的通光方向等間距設(shè)置有多個通光狹縫,通光狹縫處設(shè)置有半導(dǎo)體激光器組,半導(dǎo)體激光器組設(shè)置有配套熱沉;半導(dǎo)體激光器組包含有不同發(fā)射波長的兩組半導(dǎo)體激光器,第一組半導(dǎo)體激光器和第二組半導(dǎo)體激光器發(fā)射的泵浦光波長分別對應(yīng)激光增益介質(zhì)的傳統(tǒng)泵浦吸收帶和共振泵浦吸收帶,傳統(tǒng)泵浦光和共振泵浦光同時泵浦激光增益介質(zhì),即綜合泵浦;第一組半導(dǎo)體激光器和第二組半導(dǎo)體激光器的工作電流均可單獨控制,從而能夠?qū)θ肷涞木C合泵浦光的功率配比進行調(diào)整。為實現(xiàn)高功率側(cè)泵激光器主動的、可控的熱管理提供了新途徑。
      【專利說明】一種雙波長綜合泵浦的側(cè)泵激光模塊
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本發(fā)明涉及激光器領(lǐng)域,特別涉及一種雙波長綜合泵浦的側(cè)泵激光模塊。
      【背景技術(shù)】
      [0002]熱效應(yīng)是限制全固態(tài)激光器高功率、高光束質(zhì)量運轉(zhuǎn)的最主要因素,減少進入工作介質(zhì)的無用熱被認(rèn)為是緩解熱效應(yīng)最根本、最直接的辦法(周壽桓,固體激光器中的熱管理,量子電子學(xué)報,2005,22 (4):497-499)。
      [0003]共振泵浦方式,或稱直接泵浦方式,采用特定波長的泵浦光把基態(tài)粒子直接泵浦到激光上能級(Nd3+ =4I972 — 4F372 ),消除了由激發(fā)態(tài)4F5/2至激光上能級4F3/2無輻射躍遷的熱弛豫過程,有效降低了泵浦光和振蕩光之間的量子缺虧損,提高了量子效率,從根本上減少進入工作介質(zhì)的無用熱,從而實現(xiàn)緩解工作介質(zhì)中的熱效應(yīng)的有益效果,近年來得到了廣泛的關(guān)注。
      [0004]然而,共振泵浦方式的一個明顯劣勢在于激光增益介質(zhì)對于泵浦光的吸收系數(shù)較低,例如,NdiYVO4晶體對于880nm共振泵浦光的吸收系數(shù)只有808nm傳統(tǒng)泵浦光的1/3(High efficiencyl65ff near-diffraction-limited Nd:YV04slab oscillator pumpedat880nm, Opt.Lett.,2008,33(17):1930-1932), 1.1-at.% 摻雜的 Nd: YAG 晶體對于 885nm共振泵浦光的吸收系數(shù)也僅有 1.4-1.ScnT1 (Thermally boosted pumping of neodymiumlasers, Appl.0pt.,2000, 39(18): 3093-3098),較低的泵浦吸收系數(shù)使得激光增益介質(zhì)難以對入射泵浦光充分利用,限制了激光器總的光-光轉(zhuǎn)換效率;即便通過提高摻雜濃度和溫度等方式改善激光增益介質(zhì)對于共振泵浦光的吸收,也由于伴隨而來的上能級壽命和受激發(fā)射截面的衰退等負(fù)面影響難以實現(xiàn)光光效率的提高。

      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0005]本發(fā)明提供了一種雙波長綜合泵浦的側(cè)泵激光模塊,本發(fā)明將雙波長綜合泵浦技術(shù)應(yīng)用于高功率側(cè)泵激光器中,能夠根據(jù)效率和熱負(fù)載方面的限制條件改變雙波長泵浦光的功率配比,使激光器工作在允許的最佳工作點,實現(xiàn)高功率側(cè)泵激光器主動、可控的熱管理,詳見下文描述:
      [0006]一種雙波長綜合泵浦的側(cè)泵激光模塊,所述側(cè)泵激光模塊包括:漫反射腔,所述漫反射腔包括腔體,
      [0007]所述腔體內(nèi)設(shè)置有石英玻管,所述石英玻管內(nèi)設(shè)置有激光增益介質(zhì);所述激光增益介質(zhì)與所述石英玻管之間形成水流通道,通冷卻水對所述激光增益介質(zhì)進行制冷;在所述腔體上沿所述激光增益介質(zhì)的通光方向等間距設(shè)置有多個通光狹縫,所述通光狹縫處設(shè)置有半導(dǎo)體激光器組,所述半導(dǎo)體激光器組設(shè)置有配套熱沉;所述半導(dǎo)體激光器組包含有不同發(fā)射波長的兩組半導(dǎo)體激光器,即第一組半導(dǎo)體激光器和第二組半導(dǎo)體激光器;所述第一組半導(dǎo)體激光器和所述第二組半導(dǎo)體激光器發(fā)射的泵浦光波長分別對應(yīng)所述激光增益介質(zhì)的傳統(tǒng)泵浦吸收帶和共振泵浦吸收帶,所述傳統(tǒng)泵浦光和所述共振泵浦光同時對所述激光增益介質(zhì)進行泵浦,即綜合泵浦;所述第一組半導(dǎo)體激光器和第二組半導(dǎo)體激光器的工作電流均可單獨控制,從而能夠?qū)θ肷涞木C合泵浦光的功率配比進行調(diào)整。
      [0008]所述第一組半導(dǎo)體激光器和第二組半導(dǎo)體激光器均圍繞所述激光增益介質(zhì)的通光方向按角度成等間距分布,從而能夠分別實現(xiàn)對所述激光增益介質(zhì)的均勻泵浦。
      [0009]所述激光增益介質(zhì)為:Nd:YAG晶體時,所述第一組半導(dǎo)體激光器和所述第二組半導(dǎo)體激光器的輸出波長分別為808nm和885nm。
      [0010]所述激光增益介質(zhì)為:Nd:YLF晶體時,所述第一組半導(dǎo)體激光器和所述第二組半導(dǎo)體激光器的輸出波長分別為806nm和880nm。
      [0011]所述激光增益介質(zhì)為釹玻璃時,所述第一組半導(dǎo)體激光器和所述第二組半導(dǎo)體激光器的輸出波長分別為802nm和880nm。
      [0012]所述半導(dǎo)體激光器組的數(shù)量為三組、四組或五組。
      [0013]所述腔體的形狀為橢圓、三角、五角或矩形。 [0014]本發(fā)明提供的技術(shù)方案的有益效果是:通過雙波長綜合泵浦的方式,能夠根據(jù)激光器運轉(zhuǎn)過程中對于光光效率的要求和熱負(fù)載的限制條件等方面的具體情況調(diào)整傳統(tǒng)泵浦光和共振泵浦光的功率配比,發(fā)揮傳統(tǒng)泵浦與共振泵浦各自優(yōu)勢,使激光器運轉(zhuǎn)在所需的最佳狀態(tài)下。采用雙波長綜合泵浦的側(cè)泵激光模塊,為實現(xiàn)高功率側(cè)泵激光器主動的、可控的熱管理提供了新途徑。
      【專利附圖】

      【附圖說明】
      [0015]圖1為雙波長綜合泵浦的側(cè)泵激光模塊的結(jié)構(gòu)示意圖。
      [0016]1:腔體;2:石英玻管;
      [0017]3:水流通道;4:激光增益介質(zhì);
      [0018]5:半導(dǎo)體激光器組;6:熱沉;
      [0019]5-1:第一組半導(dǎo)體激光器;5-2:第二組半導(dǎo)體激光器。
      【具體實施方式】
      [0020]為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚,下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明實施方式作進一步地詳細(xì)描述。
      [0021]為了實現(xiàn)高功率側(cè)泵激光器主動、可控的熱管理,提高光光效率,本發(fā)明實施例提供了一種雙波長綜合泵浦的側(cè)泵激光模塊,參見圖1,詳見下文描述:
      [0022]傳統(tǒng)泵浦方式泵浦吸收好,易于實現(xiàn)高光光效率,但熱效應(yīng)嚴(yán)重,限制激光器的高功率、高光束質(zhì)量運轉(zhuǎn);而共振泵浦方式具有熱效應(yīng)較輕的優(yōu)點,但較差的泵浦吸收限制了激光器的光光效率。因此,可以考慮利用傳統(tǒng)泵浦光和共振泵浦光同時對激光增益介質(zhì)進行泵浦,根據(jù)具體限制條件靈活調(diào)整泵浦光的功率配比,即能夠?qū)崿F(xiàn)允許條件下所需的最佳運轉(zhuǎn)狀態(tài)。
      [0023]該側(cè)泵激光模塊包括:漫反射腔,其中,漫反射腔包括腔體1,腔體I內(nèi)設(shè)置有石英玻管2,石英玻管2內(nèi)設(shè)置有激光增益介質(zhì)4。在腔體I上沿激光增益介質(zhì)的通光方向等間距設(shè)置有多個通光狹縫(圖中未示出),激光增益介質(zhì)4與石英玻管2之間形成水流通道3,通冷卻水對激光增益介質(zhì)4進行制冷;通光狹縫處設(shè)置有半導(dǎo)體激光器組5以及配套熱沉6。所述半導(dǎo)體激光器組5中包括:不同發(fā)射波長的第一組半導(dǎo)體激光器5-1和第二組半導(dǎo)體激光器5-2 (發(fā)射波長由激光增益介質(zhì)4決定),第一組半導(dǎo)體激光器5-1和第二組半導(dǎo)體激光器5-2發(fā)射的泵浦光分別對應(yīng)激光增益介質(zhì)4的傳統(tǒng)泵浦吸收帶和共振泵浦吸收帶,兩種泵浦光可同時對激光增益介質(zhì)4進行泵浦,即綜合泵浦;第一組半導(dǎo)體激光器5-1和第二組半導(dǎo)體激光器5-2的工作電流均可單獨控制,即對兩種波長的泵浦光功率分別控制,從而調(diào)整入射的綜合泵浦光的功率以及配比;第一組半導(dǎo)體激光器5-1和第二組半導(dǎo)體激光器5-2均圍繞所述激光增益介質(zhì)的通光方向按角度成等間距分布,從而能夠分別實現(xiàn)對所述激光增益介質(zhì)的均勻泵浦。第一組半導(dǎo)體激光器5-1和第二組半導(dǎo)體激光器5-2發(fā)射波長在激光增益介質(zhì)4吸收帶內(nèi)的泵浦光,泵浦光通過通光狹縫、石英玻管2、水流通道3到達激光增益介質(zhì)4,未被完全吸收的泵浦光穿過激光增益介質(zhì)4后,被漫反射腔的腔體I反射,進而使得泵浦光勻化并在反射后再次到達激光增益介質(zhì)4被吸收,如此反復(fù)反射和吸收,從而實現(xiàn)對激光增益介質(zhì)4的有效泵浦,為其提供形成粒子數(shù)反轉(zhuǎn),產(chǎn)生激光輻射所需的能量。
      [0024]例如:激光增益介質(zhì)4為Nd = YAG時,其傳統(tǒng)泵浦和共振泵浦波長分別為808nm和885nm,在腔體I上沿激光增益介質(zhì)的通光方向等間距設(shè)置有多個通光狹縫,激光增益介質(zhì)4與石英玻管2之間形成水流通道3,通冷卻水對激光增益介質(zhì)4進行制冷;通光狹縫處設(shè)置有半導(dǎo)體激光器組5和配套熱沉6。
      [0025]第一組半導(dǎo)體激光器5-1和第二組半導(dǎo)體激光器5-2發(fā)射的808nm和885nm泵浦光分別對應(yīng)激光增益介質(zhì)4的傳統(tǒng)泵浦吸收帶和共振泵浦吸收帶,對Nd: YAG進行綜合泵浦;第一組半導(dǎo)體激光器5-1和第二組半導(dǎo)體激光器5-2均圍繞所述激光增益介質(zhì)的通光方向按角度成等間距分布,以對Nd:YAG形成均勻的泵浦;第一組半導(dǎo)體激光器5-1和第二組半導(dǎo)體激光器5-2的工作電流可分別單獨控制,以調(diào)節(jié)綜合泵浦光的功率配比。
      [0026]實際應(yīng)用中,熱效應(yīng)是限制激光器性能的主要因素,為了降低激光器的熱負(fù)載比可減少808nm傳統(tǒng)泵浦光而增加885nm共振泵浦光;當(dāng)熱效應(yīng)影響不大,希望提高光光效率時,則可增加808nm傳統(tǒng)泵浦光而減少885nm共振泵浦光。
      [0027]具體實現(xiàn)時,激光增益介質(zhì)除Nd:YAG晶體外,也可以為Nd:YLF晶體、Nd:YAG陶瓷和釹玻璃等常用激光增益介質(zhì)。相應(yīng)地,如激光增益介質(zhì)4為Nd: YLF晶體,則兩種波長的半導(dǎo)體激光器輸出波長分別為806nm和880nm ;如激光增益介質(zhì)為Nd = YAG陶瓷,則兩種波長的半導(dǎo)體激光器輸出波長分別為808nm和885nm ;如激光增益介質(zhì)為釹玻璃,則兩種波長的半導(dǎo)體激光器輸出波長分別為802nm和880nm ;在此不做贅述。
      [0028]具體實現(xiàn)時,半導(dǎo)體激光器組5的數(shù)量可以為三組(即圖1中所示的三向泵浦)、亦可采用四向、五向以至多向泵浦。腔體I的形狀除圖1中的圓形腔體外,亦可采用橢圓、三角、五角、矩形等其他形狀。
      [0029]本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解附圖只是一個優(yōu)選實施例的示意圖,上述本發(fā)明實施例序號僅僅為了描述,不代表實施例的優(yōu)劣。
      [0030]以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例,并不用以限制本發(fā)明,凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進等,均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
      【權(quán)利要求】
      1.一種雙波長綜合泵浦的側(cè)泵激光模塊,其特征在于,所述側(cè)泵激光模塊包括:漫反射腔,所述漫反射腔包括腔體, 所述腔體內(nèi)設(shè)置有石英玻管,所述石英玻管內(nèi)設(shè)置有激光增益介質(zhì);所述激光增益介質(zhì)與所述石英玻管之間形成水流通道,通冷卻水對所述激光增益介質(zhì)進行制冷;在所述腔體上沿所述激光增益介質(zhì)的通光方向等間距設(shè)置有多個通光狹縫,所述通光狹縫處設(shè)置有半導(dǎo)體激光器組,所述半導(dǎo)體激光器組設(shè)置有配套熱沉;所述半導(dǎo)體激光器組包含有不同發(fā)射波長的第一組半導(dǎo)體激光器和第二組半導(dǎo)體激光器;所述第一組半導(dǎo)體激光器和所述第二組半導(dǎo)體激光器發(fā)射的泵浦光波長分別對應(yīng)所述激光增益介質(zhì)的傳統(tǒng)泵浦吸收帶和共振泵浦吸收帶,所述傳統(tǒng)泵浦光和所述共振泵浦光同時對所述激光增益介質(zhì)進行泵浦,即綜合泵浦;所述第一組半導(dǎo)體激光器和第二組半導(dǎo)體激光器的工作電流均可單獨控制,從而能夠根據(jù)需要對入射的綜合泵浦光的功率配比進行調(diào)整。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙波長綜合泵浦的側(cè)泵激光模塊,其特征在于,所述第一組半導(dǎo)體激光器和第二組半導(dǎo)體激光器均圍繞所述激光增益介質(zhì)的通光方向按角度成等間距分布,從而能夠分別實現(xiàn)對所述激光增益介質(zhì)的均勻泵浦。
      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙波長綜合泵浦的側(cè)泵激光模塊,其特征在于,所述激光增益介質(zhì)為:Nd:YAG晶體時,所述第一組半導(dǎo)體激光器和所述第二組半導(dǎo)體激光器的輸出波長分別為808nm和885nm。
      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙波長綜合泵浦的側(cè)泵激光模塊,其特征在于,所述激光增益介質(zhì)為:Nd:YLF晶體時,所述第一組半導(dǎo)體激光器和所述第二組半導(dǎo)體激光器的輸出波長分別為806nm和880nm。
      5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙波長綜合泵浦的側(cè)泵激光模塊,其特征在于,所述激光增益介質(zhì)為釹玻璃時,所述第一組半導(dǎo)體激光器和所述第二組半導(dǎo)體激光器的輸出波長分別為802nm和880nm。
      6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙波長綜合泵浦的側(cè)泵激光模塊,其特征在于,所述半導(dǎo)體激光器組的數(shù)量為三組、四組或五組。
      7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙波長綜合泵浦的側(cè)泵激光模塊,其特征在于,所述腔體的形狀為橢圓、三角、五角或矩形。
      【文檔編號】H01S3/0941GK103532003SQ201310487370
      【公開日】2014年1月22日 申請日期:2013年10月17日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月17日
      【發(fā)明者】丁欣, 盛泉, 范琛, 李斌, 張巍, 姜鵬波, 劉簡, 史偉, 姚建銓 申請人:天津大學(xué)
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