一種晶片清洗加熱石英缸的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種晶片清洗加熱石英缸，包括有石英缸體，其特征在于：在所述石英缸體的外部設(shè)置有石英缸壁的保護(hù)層，在所述石英缸體的底部設(shè)置有排液口、閥門，在所述石英缸體上還設(shè)置有加熱裝置。本發(fā)明的有益效果是：1、保護(hù)層材質(zhì)為耐酸耐高溫且不易變形的PVC塑料材質(zhì)可以有效的保護(hù)石英缸體結(jié)構(gòu)；2、帶保護(hù)層加熱絲鑲嵌在石英缸壁四周及底部增加有效加熱面積，提高加熱速率；排液口在石英缸底部可以將廢液全部排出，提高其操作安全性能；內(nèi)置熱電偶實(shí)時(shí)監(jiān)控溶液溫度，斷路器接收溫度顯示器控制指令進(jìn)行實(shí)時(shí)通電斷電加熱保障了工人的身體健康。
【專利說(shuō)明】一種晶片清洗加熱石英缸
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及的是半導(dǎo)體電子元器件制造【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其是涉及一種晶片清洗加熱石英缸的改進(jìn)。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體晶片在生產(chǎn)過(guò)程中因其特性需要在加熱后的溶液中進(jìn)行清洗作業(yè)，而目前使用的加熱方式為將盛有溶液的普通玻璃燒杯在通電加熱板上進(jìn)行加熱，此中加熱方式的局限性成為提高生產(chǎn)效率的制約因素。其缺點(diǎn)如下:玻璃燒杯的容積制約晶片清洗數(shù)量；更換加熱溶液操作不方便，且存在一定危險(xiǎn)性；加熱板加熱燒杯內(nèi)溶液方式為底部加熱，力口熱速率緩慢；加熱板通電電極裸露在外，存在安全隱患也存在安全隱患。這是現(xiàn)有技術(shù)的不足之處。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于，克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、提高效率、安全使用的一種晶片清洗加熱石英缸。
[0004]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的技術(shù)方案為:一種晶片清洗加熱石英缸，包括有石英缸壁，其特征在于:在所述石英缸壁的外部設(shè)置有石英缸壁的保護(hù)層，在所述石英缸壁的底部設(shè)置有排液口、閥門，在所述石英缸壁上還設(shè)置有加熱裝置。
[0005]本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)有，所述加熱裝置包括有設(shè)置在所述石英缸壁內(nèi)的加熱絲、熱電偶，與所述熱電偶依次相連的斷路器、溫度顯示器。
[0006]本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)還有，所述加熱絲的外壁設(shè)置保護(hù)層。加熱絲保護(hù)層材質(zhì)為高級(jí)絕緣膠。
[0007]該裝置中保護(hù)層材質(zhì)為耐酸耐高溫且不易變形的PVC塑料材質(zhì)可以有效的保護(hù)石英缸體結(jié)構(gòu)，帶保護(hù)層加熱絲鑲嵌在石英缸壁四周及底部增加有效加熱面積，提高加熱速率，排液口在石英缸底部可以將廢液全部排出，提高其操作安全性能，內(nèi)置熱電偶實(shí)時(shí)監(jiān)控溶液溫度，斷路器接收溫度顯示器控制指令進(jìn)行實(shí)時(shí)通電斷電加熱；石英缸容積決定晶片清洗數(shù)量，石英缸四周及底部鑲嵌的加熱絲增加了溶液有效加熱面積，從而提高了加熱速率，排液口的設(shè)計(jì)提高了廢液排放的安全性能，內(nèi)置熱電偶與斷路器、溫度顯示器組成溫控系統(tǒng)提高溶液溫度穩(wěn)定性。
[0008]說(shuō)明書中沒(méi)有描述的結(jié)構(gòu)屬于現(xiàn)有技術(shù)。石英缸壁的保護(hù)層材料為PVC。
[0009]本方案的有益效果可根據(jù)對(duì)上述方案的敘述得知，一種晶片清洗加熱石英缸，包括有石英缸壁，其特征在于:在所述石英缸壁的外部設(shè)置有石英缸壁的保護(hù)層，在所述石英缸壁的底部設(shè)置有排液口、閥門，在所述石英缸壁上還設(shè)置有加熱裝置。本發(fā)明的有益效果是:1、保護(hù)層材質(zhì)為耐酸耐高溫且不易變形的PVC塑料材質(zhì)可以有效的保護(hù)石英缸體結(jié)構(gòu)；2、帶保護(hù)層加熱絲鑲嵌在石英缸壁四周及底部增加有效加熱面積，提高加熱速率；排液口在石英缸底部可以將廢液全部排出，提高其操作安全性能；內(nèi)置熱電偶實(shí)時(shí)監(jiān)控溶液溫度，斷路器接收溫度顯示器控制指令進(jìn)行實(shí)時(shí)通電斷電加熱保障了工人的身體健康。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖，圖2為本發(fā)明的俯視結(jié)構(gòu)示意圖，圖3為發(fā)明溫度控制的方框圖。圖中:I是石英缸壁的保護(hù)層，2是石英缸壁，3是加熱絲，4是排液口，5是熱電偶，6是斷路器，7是溫度顯示器，8是閥門。
【具體實(shí)施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
[0012]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，通過(guò)附圖可以看出，一種晶片清洗加熱石英缸，包括有石英缸壁，在石英缸壁2的外部設(shè)置有石英缸壁的保護(hù)層1，在石英缸壁2的底部設(shè)置有排液口 4、閥門8，在石英缸壁2上還設(shè)置有加熱裝置。加熱裝置包括有設(shè)置在石英缸壁2內(nèi)的加熱絲3、熱電偶5，與熱電偶5依次相連的斷路器6、溫度顯示器7。加熱絲3的外壁設(shè)置保護(hù)層。石英缸壁的保護(hù)層I材料為PVC。
[0013]當(dāng)然，上述說(shuō)明并非對(duì)本發(fā)明的限制，本發(fā)明也不僅限于上述舉例，本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員在本發(fā)明的實(shí)質(zhì)范圍內(nèi)所做出的變化、改型、添加或替換，也屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種晶片清洗加熱石英缸，包括有石英缸壁，其特征在于:在所述石英缸壁的外部設(shè)置有石英缸壁的保護(hù)層，在所述石英缸壁的底部設(shè)置有排液口、閥門，在所述石英缸壁上還設(shè)置有加熱裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶片清洗加熱石英缸，其特征在于:所述加熱裝置包括有設(shè)置在所述石英缸壁內(nèi)的加熱絲、熱電偶，與所述熱電偶依次相連的斷路器、溫度顯示器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種晶片清洗加熱石英缸，其特征在于:所述加熱絲的外壁設(shè)置保護(hù)層。
【文檔編號(hào)】H01L21/00GK103560074SQ201310531220
【公開日】2014年2月5日 申請(qǐng)日期:2013年11月1日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月1日
【發(fā)明者】郭城, 呂明, 徐明星, 郭英云, 紀(jì)大鵬, 趙海玲 申請(qǐng)人:山東科芯電子有限公司