一種光學參量振蕩調(diào)q激光模組及激光器封裝的制作方法
【專利摘要】一種光學參量振蕩調(diào)Q激光模組及激光器封裝，該光學參量振蕩調(diào)Q激光模組由激光晶體、調(diào)Q晶體、薄型非線性光學晶體和導熱基板組成。其特點是：在保證通光面互相平行的情況下，激光晶體、調(diào)Q晶體和非線性光學晶體固定在導熱基板上。以此為基礎(chǔ)，構(gòu)建的緊湊型光學參量振蕩調(diào)Q激光器的結(jié)構(gòu)包括半導體激光二極管泵浦源，薄型激光模組、腔鏡、輸出濾波片。其特點是：上述元件以金屬管殼作為承載平臺固定在其上，且所述組件封裝在激光器保護管殼內(nèi)，薄型激光模組安裝在金屬管殼上，與光傳播方向平行，腔鏡垂直于金屬管殼，且中心軸與光傳播方向平行，輸出濾波片垂直于金屬管殼放置于另一端，形成調(diào)Q激光器結(jié)構(gòu)。
【專利說明】一種光學參量振蕩調(diào)Q激光模組及激光器封裝
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型專利涉及激光【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組的封裝結(jié)構(gòu)和方法。
【背景技術(shù)】
[0002]光學參量振蕩技術(shù)作為一種在傳統(tǒng)激光所達不到的波長區(qū)域內(nèi)實現(xiàn)可調(diào)諧、高相干性激光輸出技術(shù)而吸引了人們廣泛的興趣。在典型的光學參量振蕩過程中，特定頻率的泵浦激光器的泵浦光(pump)被轉(zhuǎn)換成兩個新的不同頻率的光，具有較高頻率的光被稱為信號光(signal),而另一束則被稱為閑頻光(idler)。
[0003]當前被研究和應(yīng)用得最廣泛的光學參量振蕩過程是以近紅外1.064 μ m的激光轉(zhuǎn)換成1.5μπι左右的信號光和3至5μπι左右的閑頻光。其中1.4μπι到1.6 μ m波段作為人眼安全的激光波段之一，在激光測距、目標指示、環(huán)境監(jiān)測、激光雷達等方面都有著及其重要的應(yīng)用。波長在3 μ m到5 μ m的中紅外激光處于大氣傳播的一個窗口，對大霧、煙塵等具有較強的穿透能力，因此在軍事對抗、環(huán)境監(jiān)測、遙感、醫(yī)療以及光譜學研究等諸多領(lǐng)域都有著重要的應(yīng)用價值和前景。
[0004]在中紅外光學參量振蕩激光器中，通常包含用來產(chǎn)生1.064μπι近紅外激光的激光晶體和用來產(chǎn)生光學參量振蕩的非線性晶體，為了提高非線性光學參量振蕩轉(zhuǎn)換效率，脈沖形式的泵浦光由于能量密度更高，因此要比連續(xù)工作模式的效率更高，因此在脈沖中紅外光學參量振蕩激光器，還包括調(diào)Q晶體。對于激光晶體來說，摻釹釩酸釔(Nd:YV04)由于其具有增益高，偏振輸出，并且在808 nm抽運波長上具有很高的吸收系數(shù)等優(yōu)點，被認為是最佳增益介質(zhì)。對于非線性晶體來說，由于雙折射相位匹配(BPM)存在走離效應(yīng)，轉(zhuǎn)換效率低，運轉(zhuǎn)閾值高等缺點，阻礙了其在光學參量振蕩過程中的應(yīng)用。隨著以周期性極化工藝的成熟，基于準相位匹配(QPM)技術(shù)的光學器件，由于能夠最大限度地利用非線性光學晶體的有效非線性系數(shù)，并能實現(xiàn)所選定方向的匹配，使其具有轉(zhuǎn)換效率高、體積小、使用方便等特點。其中摻氧化鎂周期性極化反轉(zhuǎn)鈮酸鋰(MgO:PPLN)由于具有抗損傷閾值高、非線性系數(shù)大、成本低并且適合大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)等優(yōu)點而被認為是最具研究和實用前景的非線性光學晶體。
[0005]傳統(tǒng)的光學參量振蕩調(diào)Q激光器中存在5個甚至更多的分離光學元件，并且為了得到最佳的輸出效率，這些光學器件需要精確地調(diào)節(jié)準直并固定，由此導致了當前光學參量振蕩調(diào)Q激光器體積大、結(jié)構(gòu)復雜、價格昂貴并且可靠性差。此外基于外加電場的周期性極化技術(shù)制作的摻氧化鎂周期性極化反轉(zhuǎn)鈮酸鋰晶體通常較薄(0.5 _到I _)。因此使用這種薄型晶體會帶來更大的調(diào)節(jié)難度，不易批量生產(chǎn)。專利201110446152.0和專利ZL201120417436.2發(fā)明了 一種創(chuàng)新的“mGreen” 一體化緊湊綠光芯片，將腔內(nèi)倍頻固體激光器的結(jié)構(gòu)簡化至2個光學元件，使得基于MgO:PPLN晶體的綠光固體激光器能夠達到低成本，大批量的生產(chǎn)，解決了激光顯示產(chǎn)業(yè)當前面臨的綠光激光器方面的技術(shù)瓶頸?；谶@個設(shè)計理念，本專利提出了一種將薄型激光晶體，調(diào)Q晶體和非線性倍頻晶體集成為一體的結(jié)構(gòu)設(shè)計，極大低簡化了光學參量振蕩調(diào)Q激光器制作工藝，使得低成本、批量緊湊型光學參量振蕩調(diào)Q激光器成為可能。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]為解決現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本實用新型專利提出一種體積小，結(jié)構(gòu)簡單，穩(wěn)定性好、調(diào)節(jié)和維修方便的薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組和以此為基礎(chǔ)的光學參量振蕩調(diào)Q激光器。
[0007]本實用新型專利采用的技術(shù)方案是:
[0008]本實用新型專利提出一種薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組，包括激光晶體(如Nd = YVO4)、調(diào)Q晶體(如Cr:YAG)、非線性光學晶體(如MgO:PPLN)和導熱基板(如Si)。在模組通光方向上，3種晶體依上述次序固定在導熱基板上，兩兩晶體之間通光面保持平行且間隔一定的距離。導熱基板與晶體之間通過夾料固定。三種晶體的通光面上鍍有優(yōu)化設(shè)計的特殊光學鍍膜。
[0009]上述技術(shù)方案中，激光晶體的入射面鍍808 nm增透膜(HT或者AR@808nm)和1064nm高反膜(HR@1064nm)，出射面鍍1064nm增透膜(AR@1064nm);調(diào)Q晶體的入射面和出射面鍍膜相同，均為1064nm增透膜(AR@1064nm);非線性光學晶體的入射面鍍1064nm增透膜(AR@1064nm)和信號光波長的高反膜(HROsignal)，或者鍍1064 nm增透膜(AR@1064nm)，信號光波長的高反膜(HROsignal)和閑頻光波長的高反膜(HROidler)，出射面鍍1064 nm高反膜(HR01064 nm)和信號光波長的高反膜(HROsignal )，或者1064 nm增透膜(AR@1064nm)和信號光波長的增透膜(AROsignal )。
[0010]上述技術(shù)方案中，三種晶體在通光方向上互相相對的光學通光面保持一定的間隔距離，所述距離可以回O到50 mm不同的長度取值范圍。
[0011]上述技術(shù)方案中，夾料可以是導熱膠或者金屬焊料。
[0012]以此為基礎(chǔ)，本實用新型專利還提出一種緊湊型光學參量振蕩調(diào)Q激光器的封裝，包括半導體激光二極管泵浦光源、薄型激光模組(輸出面鍍有1064 nm高反膜和信號光波長的高反膜)，和輸出濾波片，其特點是，上述元件均以金屬管殼作為承載并固定在其上，且所有組件均封裝在激光器保護管殼內(nèi)，所述半導體激光二極管泵浦光源發(fā)出的泵浦激光照射在所述薄型激光模組上，輸出濾波片垂直于通光方向固定在金屬管殼上，形成光學參量振蕩調(diào)Q激光器結(jié)構(gòu)，激光晶體、調(diào)Q晶體和非線性光學晶體共同形成光學諧振腔。如果采用輸出面鍍有1064 nm增透膜和信號光波長的增透膜的薄型激光模組，則還需在上述結(jié)構(gòu)中薄型激光模組和輸出濾波片之間，插入一個腔鏡，腔鏡同樣垂直與通光方向固定在金屬管殼上，激光晶體、調(diào)Q晶體、非線性光學晶體和腔鏡共同形成光學諧振腔。
[0013]上述技術(shù)方案中，腔鏡的一面鍍532nm增透膜、1064nm高反膜；腔鏡的另一面鍍1064nm和532nm的增透膜。
[0014]上述技術(shù)方案中，腔鏡為平凹鏡，垂直于通光方向固定在金屬管殼內(nèi)，且中心軸與光傳播方向平行。平凹鏡的凹面面向激光芯片。
[0015]上述技術(shù)方案中，腔鏡為平鏡，垂直于通光方向固定在金屬管殼內(nèi)，且中心軸與光傳播方向平行。
[0016]上述技術(shù)方案中，光學參量振蕩調(diào)Q激光器的金屬管殼上有I處刻有定位線；所述定位線定位所述激光模塊到半導體激光二極管泵浦光源的最佳距離。
[0017]上述技術(shù)方案中，光學參量振蕩調(diào)Q激光器的金屬管殼上有I處刻有定位線；所述定位線定位所述腔鏡到激光模塊的最佳距離。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]圖1(a)是薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組的第一個實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖1(b)是薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組的第二個實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020]圖1(c)是薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組的第三個實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021]圖1(d)是薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組的第四個實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]圖2 (a)是基于薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組的激光器的第一個實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023]圖2 (b)是基于薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組的激光器的第一個實施例的結(jié)構(gòu)俯視示意圖。
[0024]圖3 (a)是基于薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組的激光器的第二個實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0025]圖3 (b)是基于薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組的激光器的第二個實施例的結(jié)構(gòu)俯視示意圖。
【具體實施方式】
[0026]下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型進行進一步的說明。
[0027]圖1(a)是薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組的第一個實施例的結(jié)構(gòu)示意圖，該實施例包括激光晶體101，調(diào)Q晶體102和非線性光學晶體103。激光晶體101的入射面鍍808 nm增透膜(HT或者AR@808nm)和1064nm高反膜(HR@1064nm)，出射面鍍1064nm增透膜(ARil064nm);調(diào)Q晶體102的入射面和出射面鍍膜相同，均為1064nm增透膜(AR@1064nm)；非線性光學晶體103的入射面鍍1064 nm增透膜(AR@1064nm)和信號光波長的高反膜(HR@signal)，或者鍍1064 nm增透膜(AR@1064nm)，信號光波長的高反膜(HROsignal)和閑頻光波長的高反膜(HROidler)，出射面鍍1064 nm高反膜(HR01064 nm)和信號光波長的高反膜(HRisignal),或者1064 nm增透膜(AR@1064nm)和信號光波長的增透膜(AROsignal )，該信號光(signal)波長范圍在1400 nm到1600 nm之間，閑頻光(idler)波長范圍在2 μ m至5 μ m之間。在晶體通光方向上三個晶體兩兩之間相對的光學通光面保持平行且間隔一定的距離，這個距離的取值范圍可以是小于50 mm的任意優(yōu)化長度。導熱基板105與晶體之間通過夾料104結(jié)合，導熱基板105可以是導熱材料(如硅片等)或者是金屬材料(如銅等)，夾料104可以是導熱膠或者金屬焊料，固定方式可以為膠合，共晶焊接或者其他焊接方式，但不限于此。
[0028]圖1(b)是薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組的第二個實施例的結(jié)構(gòu)示意圖，與圖1 (a)所示的第一個實施例不同在于激光晶體101和調(diào)Q晶體102之間的距離為0，兩者通過光膠或者膠合等技術(shù)緊密連接在一起，調(diào)Q晶體102和非線性光學晶體103之間的距離保持小于50 mm的任意優(yōu)化長度。該實施例其它特點與圖1 (a)所示的第一個實施例相同。[0029]圖1(c)是薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組的第三個實施例的結(jié)構(gòu)示意圖，與圖1 (a)所示的第一個實施例不同在于調(diào)Q晶體102和非線性光學晶體103之間的距離為0，兩者通過光膠或者膠合等技術(shù)緊密連接在一起，激光晶體101和調(diào)Q晶體102之間的距離保持小于50 mm的任意優(yōu)化長度。該實施例其它特點與圖1 (a)所示的第一個實施例相同。
[0030]圖1(d)是薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組的第四個實施例的結(jié)構(gòu)示意圖，與圖1 (a)所示的第一個實施例不同在于激光晶體101、調(diào)Q晶體102和非線性光學晶體103之間的距離均為0，三者之前兩兩通過光膠或者膠合等技術(shù)緊密連接在一起。該實施例其它特點與圖1 (a)所示的第一個實施例相同。
[0031]圖2 (a)和圖2 (b)是基于薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組的緊湊型激光器的第一個實施例的結(jié)構(gòu)示意圖，該實施例包括半導體激光二極管201，薄型激光模組202，輸出濾波片203，金屬管殼204和定位線205。輸出濾波片203允許由參量振蕩產(chǎn)生的光(即信號光和/或閑頻光通過，不允許泵浦光(波長808nm和1064nm)通過。各個元件均以金屬管殼204作為承載并固定在其上。半導體激光二極管201發(fā)出的泵浦激光照射在薄型激光模組202上。薄型激光模組的輸入面和輸出面共同形成光學諧振腔。圖2 (b)為該實施例的結(jié)構(gòu)俯視示意圖。在該實施例中，在金屬管殼204上刻有定位線205，該定位線205是用來定位半導體激光二極管201和激光模組202之間的距離，在此距離下，激光器的輸出功率特性最佳。一般的，半導體激光二極管201到薄型激光模組202的間距范圍為0.3 -5 mm之間。
[0032]圖3(a)和圖3(b)是基于薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組的緊湊型激光器的第二個實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。該實施例包括半導體激光二極管301，薄型激光模組302，輸出濾波片303，腔鏡307，金屬管殼304和定位線305和306。各個元件均以金屬管殼304作為承載并固定在其上。輸出濾波片303允許由參量振蕩產(chǎn)生的光(即信號光和/或閑頻光通過，不允許泵浦光(波長808nm和1064nm)通過。半導體激光二極管301發(fā)出的泵浦激光照射在薄型激光模組302上。腔鏡307垂直于通光方向固定于金屬管殼304上，且中心軸與光傳播方向平行。薄型激光模組302的輸入面和腔鏡307共同形成光學諧振腔。圖3(b)是本實施例的結(jié)構(gòu)俯視示意圖。在該實施例中，在金屬管殼上刻有定位線305和306，定位線305是用來定位半導體激光二極管301和激光模組302之間的距離，在此距離下，激光器的輸出特性最佳。一般的，半導體激光二極管301到薄型激光模組302的間距范圍為
0.3 - 5 mm之間，定位線306是用來定位薄型激光模組302和腔鏡307之間的距離，在此距離下，激光器的輸出特性最佳。一般的，薄型激光模組302和腔鏡307的間距范圍為0.2-50 mm之間。
[0033]需要說明的是，半導體激光二極管泵浦光源用于發(fā)射泵浦光，所述泵浦光的波長可以有多種可能。在上述實施例中，所述半導體激光二極管泵浦光源發(fā)射的泵浦激光的波長為808 nm。
[0034]還需要指出的是，以上僅以薄型激光模組為例說明了本實用新型專利的基本思想。顯然，本實用新型專利可應(yīng)用于基于光學參量振蕩過程之外，還可以用于基于倍頻、差頻、或和頻等非線性過程的激光模組制作。同時還需要指出的是，以上用于制作的激光晶體還可為其他摻雜的增益介質(zhì)，如摻釹釩酸釓(Nd:GdV04)等，而非線性光學晶體也可以為其他晶體，例如周期極化的鉭酸鋰(PPLT)，周期極化的磷酸鈦氧鉀(PPKTP)，三硼酸鋰(LBO)和磷酸鈦氧鉀(KTP)等。
【權(quán)利要求】
1.一種薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組，其特征在于，包括激光晶體，調(diào)Q晶體、薄型非線性光學晶體和導熱基板，在芯片通光方向上激光晶體、調(diào)Q晶體和非線性光學晶體依次擺放，各晶體之間具有一定距離且各端面互相平行，并通過夾料與導熱基板結(jié)合，三種晶體通光面上鍍有光學鍍膜。
2.權(quán)利要求1所述的薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組，其特征在于，所述導熱基板是導熱材料。
3.權(quán)利要求1所述的薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組，其特征在于，所述激光晶體的入射面鍍808 nm增透膜和1064nm高反膜，出射面鍍1064nm增透膜，調(diào)Q晶體的入射面和出射面鍍膜相同，均為1064nm增透膜，非線性光學晶體的入射面鍍1064 nm增透膜和信號光波長的高反膜，出射面鍍1064 nm高反膜和信號光波長的高反膜。
4.權(quán)利要求1所述的薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組，其特征在于，所述激光晶體的入射面鍍808 nm增透膜和1064nm高反膜，出射面鍍1064nm增透膜，調(diào)Q晶體的入射面和出射面鍍膜相同，均為1064nm增透膜，非線性光學晶體的入射面鍍1064 nm增透膜，信號光波長的高反膜和閑頻光波長的高反膜，出射面鍍1064 nm高反膜，信號光波長的高反膜和閑頻光波長的聞反月旲。
5.權(quán)利要求1所述的薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組，其特征在于，所述激光晶體的入射面鍍808 nm增透膜和1064nm高反膜，出射面鍍1064nm增透膜，調(diào)Q晶體的入射面和出射面鍍膜相同 ，均為1064nm增透膜，非線性光學晶體的入射面鍍1064 nm增透膜，信號光波長的高反膜和閑頻光波長的高反膜，出射面鍍1064 nm高反膜，信號光波長的增透膜和閑頻光波長的增透膜。
6.權(quán)利要求1所述的薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組，其特征在于，其產(chǎn)生的信號光波長范圍在1400 nm到1600 nm之間，閑頻光波長范圍在2 μ m至5 μ m之間。
7.權(quán)利要求1所述的薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組，其特征在于，兩兩晶體通光方向上相對的光學面之間隔出一定距離，所述的距離是O到50mm不同的長度取值范圍。
8.權(quán)利要求1所述的薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組，其特征在于，所述夾料是導熱膠或金屬焊料。
9.一種緊湊型光學參量振蕩調(diào)Q激光器封裝，包括半導體激光二極管泵浦光源和權(quán)利要求I所述的薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組，其特點是，半導體激光二極管泵浦光源和權(quán)利要求1所述的薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組均以金屬管殼作為承載并固定在其上，且所有組件均封裝在激光器保護管殼內(nèi)，半導體激光二極管泵浦光源發(fā)出的泵浦激光照射在權(quán)利要求1所述的薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組上，權(quán)利要求1所述的薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組的非線性光學晶體的入射面鍍1064 nm增透膜和信號光波長的高反膜，出射面鍍1064 nm高反膜和信號光波長的高反膜，因此激光晶體，調(diào)Q晶體和非線性光學晶體對1064nm光形成光學諧振腔，非線性光學晶體兩端面對信號光形成光學諧振腔。
10.一種緊湊型光學參量振蕩調(diào)Q激光器封裝，包括半導體激光二極管泵浦光源和權(quán)利要求I所述的薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組，其特點是，半導體激光二極管泵浦光源和權(quán)利要求1所述的薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組均以金屬管殼作為承載并固定在其上，且所有組件均封裝在激光器保護管殼內(nèi)，半導體激光二極管泵浦光源發(fā)出的泵浦激光照射在權(quán)利要求1所述的薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組上，權(quán)利要求1所述的薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組的非線性光學晶體的入射面鍍1064 nm增透膜，信號光波長的高反膜和閑頻光波長的高反膜，出射面鍍1064 nm高反膜，信號光波長的高反膜和閑頻光波長的高反膜，因此激光晶體、調(diào)Q晶體和非線性光學晶體對1064nm光形成光學諧振腔，非線性光學晶體兩端面對信號光和閑頻光形成光學諧振腔。
11.一種緊湊型光學參量振蕩調(diào)Q激光器封裝，包括半導體激光二極管泵浦光源，權(quán)利要求I所述的薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組和輸出濾波片，其特點是，半導體激光二極管泵浦光源和權(quán)利要求1所述的薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組和輸出濾波片均以金屬管殼作為承載并固定在其上，且所有組件均封裝在激光器保護管殼內(nèi)，半導體激光二極管泵浦光源發(fā)出的泵浦激光照射在權(quán)利要求1所述的薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組上，權(quán)利要求1所述的薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組的非線性光學晶體的入射面鍍1064 nm增透膜，信號光波長的高反膜和閑頻光波長的高反膜，出射面鍍1064nm高反膜，信號光波長的增透膜和閑頻光波長的增透膜，權(quán)利要求1所述的薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組輸出面鍍1064 nm高反膜和信號光波長的高反膜,輸出濾波片垂直于通光方向固定在金屬管殼上，形成光學參量振蕩調(diào)Q激光器結(jié)構(gòu)，激光晶體、調(diào)Q晶體和非線性光學晶體共同形成光學諧振腔。
12.—種緊湊型光學參量振蕩調(diào)Q激光器封裝，包括半導體激光二極管泵浦光源，權(quán)利要求I所述的薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組、腔鏡和輸出濾波片，其特點是，半導體激光二極管泵浦光源和權(quán)利要求1所述的薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組、腔鏡和輸出濾波片均以金屬管殼作為承載并固定在其上，且所有組件均封裝在激光器保護管殼內(nèi)，半導體激光二極管泵浦光源發(fā)出的泵浦激光照射在權(quán)利要求1所述的薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組上，權(quán)利要求1所述的薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組輸出面鍍1064 nm增透膜和信號光波長的增透膜，所述腔鏡和輸出濾波片垂直于通光方向固定在金屬管殼上，形成光學參量振蕩調(diào)Q激光器結(jié)構(gòu)，激光晶體，調(diào)Q晶體，非線性光學晶體和腔鏡共同形成光學諧振腔。
13.權(quán)利要求9或10或11或12所述的一種緊湊型光學參量振蕩調(diào)Q激光器封裝，其特征在于，緊湊型光學參量振蕩調(diào)Q激光器的金屬管殼上有I處刻有定位線，定位線定位權(quán)利要求I所述的薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組到半導體激光二極管泵浦光源的最佳距離。
14.權(quán)利要求12所述的一種緊湊型光學參量振蕩調(diào)Q激光器封裝，其特征在于，腔鏡的一面鍍1064nm和信號光波長的高反膜，腔鏡的另一面鍍1064nm和信號光波長的增透膜。
15.權(quán)利要求12所述的一種緊湊型光學參量振蕩調(diào)Q激光器封裝，其特征在于，腔鏡為平凹鏡，平凹鏡垂直于通光方向固定在金屬管殼內(nèi)，且中心軸與光傳播方向平行，平凹鏡的凹面面向激光芯片。
16.權(quán)利要求12所述的一種緊湊型光學參量振蕩調(diào)Q激光器封裝，其特征在于，腔鏡為平鏡，垂直于通光方向固定在金屬管殼內(nèi)，且中心軸與光傳播方向平行。
17.權(quán)利要求12所述的一種緊湊型光學參量振蕩調(diào)Q激光器封裝，其特征在于，緊湊型光學參量振蕩調(diào)Q激光器的金屬管殼上有I處刻有定位線，所述定位線定位所述腔鏡到權(quán)利要求I所述的薄型一體化光學參量振蕩調(diào)Q激光模組的最佳距離。
【文檔編號】H01S3/109GK203747229SQ201320734806
【公開日】2014年7月30日 申請日期:2013年11月20日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月20日
【發(fā)明者】甘毅, 徐長青 申請人:南京長青激光科技有限責任公司