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      一種半導(dǎo)體產(chǎn)品封裝工藝的制作方法

      文檔序號:7048520閱讀:243來源:國知局
      一種半導(dǎo)體產(chǎn)品封裝工藝的制作方法
      【專利摘要】本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體產(chǎn)品封裝工藝,其過程包括,前制程工序和后制程工序,前制程工序依次為研磨、貼片、焊線;后制程工序依次包括貼膜、注塑、撕膜、電鍍、切割;在撕膜后,電鍍前,還包括拋光工序:使用防靜電纖維輪對半導(dǎo)體產(chǎn)品先進(jìn)行粗拋,接著進(jìn)行精拋,最后把精拋后的半導(dǎo)體產(chǎn)品進(jìn)行水洗、烘干。本發(fā)明所述的半導(dǎo)體產(chǎn)品封裝工藝,對半導(dǎo)體產(chǎn)品引腳面的殘膠,注塑溢膠具有很好的清潔效果;對引腳面、散熱片區(qū)域的刮傷有很強(qiáng)的修復(fù)效果,并且工藝簡單,操作方便,對不同厚度的產(chǎn)品可以通過調(diào)整防靜電纖維輪轉(zhuǎn)速進(jìn)行控制,通用性強(qiáng)。
      【專利說明】一種半導(dǎo)體產(chǎn)品封裝工藝

      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體產(chǎn)品封裝工藝,尤其涉及一種半導(dǎo)體產(chǎn)品QFN封裝工藝。

      【背景技術(shù)】
      [0002]封裝工藝一種將集成電路用絕緣的塑料或陶瓷材料打包的技術(shù),它不僅起著安放、固定、密封、保護(hù)芯片和增強(qiáng)導(dǎo)熱性能的作用,而且還是溝通芯片內(nèi)部世界與外部電路的橋梁:芯片上的接點(diǎn)用導(dǎo)線連接到封裝外殼的引腳上,這些引腳又通過印刷電路板上的導(dǎo)線與其他器件建立連接。因此,對于很多集成電路產(chǎn)品而言,封裝技術(shù)都是非常關(guān)鍵的一環(huán)。
      [0003]封裝工藝按照封裝外型可分為TSSOP(Thin Small Shrink Outline Package薄小外形封裝)、QFN(Quad Flat No-lead Package 四方無引腳扁平封裝)、QFP(Quad Flat Package四方引腳扁平式封裝)、等。QFN是一種無引腳封裝,呈正方形或矩形,封裝底部中央位置有一個大面積裸露焊盤用來導(dǎo)熱,圍繞大焊盤的封裝外圍四周有實(shí)現(xiàn)電氣連結(jié)的導(dǎo)電焊盤。由于體積小、重量輕、加上杰出的電性能和熱性能,這種封裝特別適合任何一個對尺寸、重量和性能都有的要求的應(yīng)用。
      [0004]半導(dǎo)體QFN封裝工藝流程分為前制程工序和后制程工序,前制程工序依次包括研磨、貼片、焊線;后制程工序依次包括貼膜、注塑、撕膜、電鍍、切割。在電鍍工序前,由于撕膜后薄膜殘膠,或注塑過程中樹脂溢膠的存在,將影響半導(dǎo)體產(chǎn)品的導(dǎo)電性,不去除將造成殘次品,如電性和沾錫測試失敗。在電鍍前的生產(chǎn)中對于引腳面、散熱片的刮傷如不修復(fù),將造成產(chǎn)品外觀殘次品。
      [0005]在半導(dǎo)體封裝行業(yè)中通常采用的是藥水浸泡,手動擦拭,高壓水清洗的方式進(jìn)行引腳面的清潔;但是效果不好,對于殘膠,注塑溢膠無法起到去除作用,對于引腳面刮傷無法進(jìn)行修復(fù)。
      [0006]鑒于上述缺陷,實(shí)有必要提出一種改進(jìn)的半導(dǎo)體產(chǎn)品封裝工藝。


      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0007]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于:提供一種半導(dǎo)體產(chǎn)品封裝工藝,能夠很好的對撕膜后薄膜殘膠或注塑過程中樹脂溢膠進(jìn)行清潔處理,修復(fù)引腳面、散熱片區(qū)域的刮傷,提聞廣品的良率,節(jié)省生廣資源。
      [0008]為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明的技術(shù)方案是:
      [0009]一種半導(dǎo)體產(chǎn)品封裝工藝,分為前制程工序和后制程工序,前制程工序依次包括研磨、貼片、焊線;后制程工序依次包括貼膜、注塑、撕膜、電鍍、切割;在撕膜工序后,電鍍工序前,還包括拋光工序:使用防靜電纖維輪對半導(dǎo)體產(chǎn)品先進(jìn)行粗拋,目的是去除殘膠,刮傷,注塑溢膠,接著進(jìn)行精拋,目的是把引腳面拋光至所需粗糙度,最后把精拋后的半導(dǎo)體產(chǎn)品進(jìn)行水洗、烘干。精拋和粗拋均使用防靜電纖維輪,精拋工序的防靜電纖維輪的轉(zhuǎn)速小于粗拋工序的轉(zhuǎn)速。
      [0010]更進(jìn)一步,本發(fā)明所述的封裝工藝,使用的防靜電纖維輪為復(fù)合導(dǎo)電纖維輪;水洗采用蒸餾水進(jìn)行;烘干的溫度為80°c?120°C,烘干時間為20min?30min。
      [0011]與現(xiàn)有技術(shù)相比,采用本發(fā)明所述的半導(dǎo)體產(chǎn)品封裝工藝,對半導(dǎo)體產(chǎn)品引腳面的殘膠,注塑溢膠具有很好的清潔效果;對引腳面、散熱片區(qū)域的刮傷有很強(qiáng)的修復(fù)效果,并且工藝簡單,操作方便,對不同厚度的產(chǎn)品可以通過調(diào)整防靜電纖維輪轉(zhuǎn)速進(jìn)行控制,通用性強(qiáng)。

      【專利附圖】

      【附圖說明】
      [0012]圖1是本發(fā)明所述的半導(dǎo)體產(chǎn)品封裝工藝流程圖。

      【具體實(shí)施方式】
      [0013]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)一步說明。
      [0014]請參閱圖1所示,一種符合本發(fā)明所述的半導(dǎo)體產(chǎn)品封裝工藝,其過程包括,前制程工序和后制程工序,前制程工序依次為研磨、貼片、焊線;后制程工序依次包括貼膜、注塑、撕膜、電鍍、切割;在撕膜后,電鍍前,還包括拋光工序:使用防靜電纖維輪對半導(dǎo)體產(chǎn)品先進(jìn)行粗拋,接著進(jìn)行精拋,把引腳面拋光至所需的粗糙度,最后把精拋后的半導(dǎo)體產(chǎn)品進(jìn)行水洗、烘干。精拋和粗拋均使用防靜電纖維輪,精拋工序的防靜電纖維輪的轉(zhuǎn)速小于粗拋工序的轉(zhuǎn)速。
      [0015]更進(jìn)一步,本發(fā)明所述的封裝工藝,使用的防靜電纖維輪為復(fù)合導(dǎo)電纖維輪;水洗采用蒸餾水進(jìn)行;烘干的溫度為80°C?120°C,烘干時間為20min?30min。
      [0016]本發(fā)明所述的半導(dǎo)體產(chǎn)品封裝工藝,對半導(dǎo)體產(chǎn)品引腳面的殘膠,注塑溢膠具有很好的清潔效果;對引腳面、散熱片區(qū)域的刮傷有很強(qiáng)的修復(fù)效果,并且工藝簡單,操作方便,對不同厚度的產(chǎn)品可以通過調(diào)整防靜電纖維輪轉(zhuǎn)速進(jìn)行控制,通用性強(qiáng)。
      [0017]本發(fā)明不局限于上述具體的實(shí)施方式,本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員從上述構(gòu)思出發(fā),不經(jīng)過創(chuàng)造性的勞動,所作出的種種變換,均落在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
      【權(quán)利要求】
      1.一種半導(dǎo)體產(chǎn)品封裝工藝,分為前制程工序和后制程工序,后制程工序依次包括貼膜、注塑、撕膜、電鍍、切割;其特征在于:在所述的撕膜工序后和電鍍工序前,還包括拋光工序,所述的拋光工序?yàn)?先使用防靜電纖維輪對半導(dǎo)體產(chǎn)品先進(jìn)行粗拋,接著對半導(dǎo)體產(chǎn)品進(jìn)行精拋,最后把精拋后的半導(dǎo)體產(chǎn)品進(jìn)行水洗、烘干。
      2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體產(chǎn)品封裝工藝,其特征在于:所述的防靜電纖維輪為復(fù)合導(dǎo)電纖維輪。
      3.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體產(chǎn)品封裝工藝,其特征在于:所述的烘干過程為:烘干溫度為80°C?120°C,時間為20min?30min。
      4.如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體產(chǎn)品封裝工藝,其特征在于:所述的水洗過程采用的是蒸餾水。
      5.如權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體產(chǎn)品封裝工藝,其特征在于:所述的前制程工序依次包括研磨、貼片、焊線。
      【文檔編號】H01L21/50GK104282579SQ201410203352
      【公開日】2015年1月14日 申請日期:2014年5月14日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月14日
      【發(fā)明者】陸洪飛 申請人:蘇州中搏成機(jī)電設(shè)備有限公司
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