壓電駐極體薄膜元件及其制備方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了壓電駐極體薄膜元件及其制備方法，該方法包括：設(shè)置導(dǎo)電電極：在透明的上絕緣保護膜的相對兩側(cè)上設(shè)置第二接地電極和信號電極，在透明的下絕緣保護膜的一側(cè)上設(shè)置第一接地電極，在上、下絕緣保護膜上分別定義出壓電駐極體薄膜區(qū)域和非壓電駐極體薄膜區(qū)域；在第二接地電極上設(shè)置電極保護層；在壓電駐極體薄膜區(qū)域中的信號電極和第一接地電極上依次壓敏膠和離型膜；粘合兩個非壓電駐極體薄膜區(qū)；撕掉兩個離型膜粘合壓電駐極體薄膜；切割成型。本發(fā)明有效解決將電極直接印刷在壓電駐極體薄膜時的對位難和銀漿烘干時的熱脹問題；適合批量化分階段加工；提高其加工效率，也保證了壓電駐極體薄膜的柔韌性能。
【專利說明】壓電駐極體薄膜元件及其制備方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種薄膜元件及該薄膜元件的制備方法，尤其涉及一種壓電駐極體薄膜元件及該壓電駐極體薄膜元件的制備方法。

【背景技術(shù)】
[0002]壓電駐極體薄膜是制作各種聲電、力電傳感器和作動器的敏感材料。壓電駐極體薄膜內(nèi)部儲存有永久電荷，為了將其內(nèi)部電荷感應(yīng)出來，還需在所述壓電駐極體薄膜相對的兩個表面設(shè)置正負電極，以及用戶保護電極的絕緣保護層，這樣就形成壓電駐極體薄膜元件。直接在壓電駐極體薄膜上下面設(shè)置正負電極，必需保證上下電極在垂直投影面上對齊。而現(xiàn)有的壓電駐極體薄膜通常是孔洞型(如微孔聚丙烯薄膜、微孔聚四氟乙烯薄膜)，其薄膜本身不透明，造成了上下電極對位難的問題。另外，通常壓電駐極體薄膜的熱變形較大，若采用絲網(wǎng)印刷銀電極設(shè)置好后一面電極后，其壓電駐極體薄膜尺寸發(fā)生熱脹，使得正負電極產(chǎn)生錯位。
[0003]若將正負電極設(shè)置在透明的保護膜上，則壓電駐極體薄膜粘合需要一次性加工成型，其步驟是:1)先將電極設(shè)置在保護膜上，2)粘合儲存有永久電荷的壓電駐極體薄膜，3)再粘合另一層保護膜。然而在實施2)以后，由于壓電駐極體薄膜表面帶有靜電吸附作用，也容易積灰，在進行3)操作時，對位所需的移位的難度較大。
[0004]壓電駐極體薄膜與保護膜粘合時，通常采用瞬干膠，這種膠有一定的加工時間，不利于長時間操作。另外，瞬干膠固化后其膠變成固態(tài)，使得壓電駐極體薄膜元件的柔韌性降低。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于提出一種壓電駐極體薄膜元件及該壓電駐極體薄膜元件的制備方法，該壓電駐極體薄膜元件解決目前壓電駐極體薄膜元件柔性不佳、正負電極錯位問題，該壓電駐極體薄膜元件的制備方法目前工業(yè)生產(chǎn)出來的壓電駐極體薄膜生產(chǎn)過程難度大，需要一次性加工成型，不利于分階段專業(yè)化分批加工的技術(shù)問題。本發(fā)明壓電駐極體薄膜元件柔韌性好，本發(fā)明壓電駐極體薄膜元件的制備方法加工過程效率高，工藝簡單，適合于批量工業(yè)生產(chǎn)。
[0006]本發(fā)明是這樣實現(xiàn)的，一種壓電駐極體薄膜元件，其包括壓電駐極體薄膜(3)、信號電極(401)、第一接地電極(501)、上絕緣保護膜(4)、下絕緣保護膜(5)，上絕緣保護膜
(4)、下絕緣保護膜(5)均呈透明狀，信號電極(401)、第一接地電極(501)分別通過第一壓敏膠(407)、第二壓敏膠(503)固定在壓電駐極體薄膜(3)的兩個相對表面上，上絕緣保護膜(4)、下絕緣保護膜(5)分別覆蓋在信號電極(401)、第一接地電極(501)上，上絕緣保護膜(4)上設(shè)置有第二接地電極(403)，第二接地電極(403)上設(shè)置電極保護層(405)，在上絕緣保護膜(4)和下絕緣保護膜(5)上分別定義出相接的壓電駐極體薄膜區(qū)域(I)和非壓電駐極體薄膜區(qū)域(2)，在電駐極體薄膜區(qū)域(I)內(nèi)信號電極(401)的垂直投影小于與第二接地電極(403)的垂直投影，在非壓電駐極體薄膜區(qū)域(2)內(nèi)信號電極(401)與第二接地電極(403)兩者的引腳垂直投影錯位。
[0007]作為上述方案的進一步改進，上絕緣保護膜(4)和下絕緣保護膜(5)上分別做有若干定位標(biāo)記。
[0008]本發(fā)明還提供上述任意一種壓電駐極體薄膜元件的制備方法，其包括以下步驟:
[0009]一、設(shè)置導(dǎo)電電極:在透明的上絕緣保護膜(4)的相對兩側(cè)上設(shè)置第二接地電極(403)和信號電極(401)，在透明的下絕緣保護膜(5)的一側(cè)上設(shè)置第一接地電極(501)，在上絕緣保護膜(4)和下絕緣保護膜(5)上分別定義出相接的壓電駐極體薄膜區(qū)域(I)和非壓電駐極體薄膜區(qū)域⑵；
[0010]二、設(shè)置電極保護層:在上絕緣保護膜(4)的第二接地電極(403)上設(shè)置電極保護層(405)；
[0011]三、設(shè)置壓敏膠:在上絕緣保護膜(4)的壓電駐極體薄膜區(qū)域(I)中，且在信號電極(401)上依次設(shè)置第一壓敏膠(407)和第一離型膜(408)，在下絕緣保護膜(5)的壓電駐極體薄膜區(qū)域(I)中，且在第一接地電極(501)上依次設(shè)置第二壓敏膠(503)和第二離型膜(504)；
[0012]四、粘合非壓電駐極體薄膜區(qū):將上絕緣保護膜(4)的非壓電駐極體薄膜區(qū)域(2)和下絕緣保護膜(5)的非壓電駐極體薄膜區(qū)域(2)采用第三壓敏膠(6)粘合固定，信號電極(401)與第一接地電極(501)位于第三壓敏膠(6)的相對兩側(cè)，第一離型膜(408)與第二離型膜(504)面面相對；
[0013]五、粘合壓電駐極體薄膜(3):撕掉第一離型膜(408)和第二離型膜(504)，壓電駐極體薄膜(3)的相對兩側(cè)面通過第一壓敏膠(407)和第二壓敏膠(503)分別粘合在上絕緣保護膜(4)的信號電極(401)上和下絕緣保護膜(5)的第一接地電極(501)上，壓電駐極體薄膜⑶位于壓電駐極體薄膜區(qū)域(I)；
[0014]六、切割成型:根據(jù)壓電駐極體薄膜元件的規(guī)格，將步驟五中的最終產(chǎn)物切割成型。
[0015]作為上述方案的進一步改進，步驟五粘合壓電駐極體薄膜(3)時，先撕掉第一離型膜(408)將壓電駐極體薄膜(3)的一側(cè)通過第一壓敏膠(407)粘合在上絕緣保護膜(4)的信號電極(401)上，再撕掉第二離型膜(504)將下絕緣保護膜(5)的第一接地電極(501)通過第二壓敏膠(503)粘合在壓電駐極體薄膜(3)的相對另一側(cè)，壓電駐極體薄膜(3)位于壓電駐極體薄膜區(qū)域(I)。優(yōu)選地，在撕掉第二離型膜(504)之前，先采用兩個輥筒(7、8)碾壓上絕緣保護膜(4)與下絕緣保護膜(5)擠出泡沫。
[0016]作為上述方案的進一步改進，步驟五粘合壓電駐極體薄膜(3)時，先撕掉第二離型膜(504)將壓電駐極體薄膜(3)的一側(cè)通過第二壓敏膠(503)粘合在下絕緣保護膜(5)的第一接地電極(501)上，再撕掉第一離型膜(408)將上絕緣保護膜(4)的信號電極(401)通過第一壓敏膠(407)粘合在壓電駐極體薄膜(3)的相對另一側(cè)，壓電駐極體薄膜(3)位于壓電駐極體薄膜區(qū)域(I)。優(yōu)選地，在撕掉第一離型膜(408)之前，先采用兩個輥筒(7、8)碾壓上絕緣保護膜(4)與下絕緣保護膜(5)擠出泡沫。
[0017]作為上述方案的進一步改進，導(dǎo)電電極通過絲網(wǎng)印刷銀電極方式、或蝕刻鋁/銅箔電極方式、或真空鍍鋁/銅電極方式設(shè)置上絕緣保護膜(4)和下絕緣保護膜(5)上。
[0018]作為上述方案的進一步改進，電極保護層通過絲網(wǎng)印刷保護油墨方式、或復(fù)合PET/PVC/PE薄膜的方式設(shè)置在上絕緣保護膜(4)的第二接地電極(403)上。
[0019]作為上述方案的進一步改進，在步驟三中采用含有離型膜的壓敏固態(tài)雙面膠，使壓敏膠和離型膜同步形成。
[0020]作為上述方案的進一步改進，在步驟三中先絲網(wǎng)印刷一層壓敏液態(tài)雙面膠，待壓敏液態(tài)雙面膠固化形成壓敏膠后，再復(fù)合離型膜。
[0021]作為上述方案的進一步改進，在步驟四中，上絕緣保護膜(4)的非壓電駐極體薄膜區(qū)域(2)和下絕緣保護膜(5)的非壓電駐極體薄膜區(qū)域(2)的粘合，采用壓敏固態(tài)雙面膠或絲網(wǎng)印刷一層壓敏液態(tài)雙面膠待固化后粘合。
[0022]本發(fā)明的優(yōu)點在于:
[0023]I)將電極設(shè)置在透明的保護膜上，有效解決了電極的對位難和絲網(wǎng)印刷銀漿時的熱脹問題；
[0024]2)將上、下保護膜對位好后，再粘合進行壓電駐極體薄膜，適合批量化分階段加工；
[0025]3)采用壓敏膠粘合壓電駐極體薄膜，提高了其加工效率，也保證了其柔韌性能。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0026]圖1為本發(fā)明較佳實施方式提供的壓電駐極體薄膜元件的制備方法過程中壓電駐極體薄膜元件的上保護層結(jié)構(gòu)圖。
[0027]圖2為圖1的仰視圖。
[0028]圖3為圖1的俯視圖。
[0029]圖4為本發(fā)明較佳實施方式提供的壓電駐極體薄膜元件的制備方法過程中壓電駐極體薄膜元件的下保護層結(jié)構(gòu)圖。
[0030]圖5為圖4的俯視圖。
[0031]圖6為圖1中上保護層的非壓電駐極體薄膜區(qū)域和圖4中下保護層的非壓電駐極體薄膜區(qū)域相結(jié)合的制作過程示意圖。
[0032]圖7為圖1中上保護層的壓電駐極體薄膜區(qū)域和圖4中下保護層的壓電駐極體薄膜區(qū)域相結(jié)合的制作過程示意圖。
[0033]圖8為經(jīng)過圖7制作過程生產(chǎn)的元件的結(jié)構(gòu)圖。

【具體實施方式】
[0034]為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實施例，對本發(fā)明進行進一步詳細說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0035]本發(fā)明較佳實施方式提供的壓電駐極體薄膜元件的制備方法，用于解決目前工業(yè)生產(chǎn)出來的壓電駐極體薄膜生產(chǎn)過程難度大，需要一次性加工成型，不利于分階段專業(yè)化加工的技術(shù)問題。該制備方法的步驟如下所述。
[0036]第一步，設(shè)置導(dǎo)電電極。
[0037]在上絕緣保護膜4的相對兩側(cè)上設(shè)置第二接地電極403和信號電極401 (如圖1、圖2、圖3所示)，在下絕緣保護膜5的一側(cè)上設(shè)置第一接地電極501 (如圖4、圖5所示)，在上絕緣保護膜4和下絕緣保護膜5上分別定義出壓電駐極體薄膜區(qū)域I和非壓電駐極體薄膜區(qū)域2。
[0038]設(shè)置導(dǎo)電電極的方法包含但不限于:1)絲網(wǎng)印刷銀電極、2)蝕刻鋁(銅)箔電極、3)真空鍍鋁(銅)電極。
[0039]第二步，設(shè)置電極保護層。
[0040]在上絕緣保護膜4的第二接地電極403上設(shè)置電極保護層405。設(shè)置電極保護層的方法和形式包含但不限于:I)絲網(wǎng)印刷保護油墨、2)復(fù)合PET(PVC、PE)薄膜。
[0041]第三步，設(shè)置壓敏膠。
[0042]在上絕緣保護膜4的壓電駐極體薄膜區(qū)域I中，且在信號電極401上依次設(shè)置第一壓敏膠407和第一離型膜408，在下絕緣保護膜5的壓電駐極體薄膜區(qū)域I中，且在第一接地電極501上依次設(shè)置第二壓敏膠503和第二離型膜504。
[0043]壓敏膠和離型膜的設(shè)置方法包含但不限于:1)采用市售含有離型膜的壓敏固態(tài)雙面膠、2)絲網(wǎng)印刷一層壓敏液態(tài)雙面膠，待固化后復(fù)合離型膜。
[0044]第四步，粘合非壓電駐極體薄膜區(qū)。
[0045]結(jié)合如圖6所示，將上絕緣保護膜4的非壓電駐極體薄膜區(qū)域2和下絕緣保護膜5的非壓電駐極體薄膜區(qū)域2采用第三壓敏膠6粘合固定，信號電極401與第一接地電極501位于第三壓敏膠6的相對兩側(cè)，第一離型膜408與第二離型膜504面面相對。電極在垂直方向形成鏡像投影，弓I腳部分錯位。
[0046]第三壓敏膠6的設(shè)置方法包含但不限于:1)采用市售含有離型膜的壓敏固態(tài)雙面膠、2)絲網(wǎng)印刷一層壓敏液態(tài)雙面膠，待固化后粘合。上絕緣保護膜4的非壓電駐極體薄膜區(qū)域2和下絕緣保護膜5的非壓電駐極體薄膜區(qū)域2固定時，可在上絕緣保護膜4和下絕緣保護膜5上分別做定位標(biāo)記409、505，以便能更好的實現(xiàn)電極對位。
[0047]第五步，粘合壓電駐極體薄膜3。
[0048]如圖7所示，撕掉第一離型膜408和第二離型膜504，壓電駐極體薄膜3的相對兩側(cè)面通過第一壓敏膠407和第二壓敏膠503分別粘合在上絕緣保護膜4的信號電極401上和下絕緣保護膜5的第一接地電極501上，壓電駐極體薄膜3位于壓電駐極體薄膜區(qū)域I。
[0049]在本實施方式中，在步驟五粘合壓電駐極體薄膜3時，可以先撕掉第一離型膜408將壓電駐極體薄膜3的一側(cè)通過第一壓敏膠407粘合在上絕緣保護膜4的信號電極401上，再撕掉第二離型膜504將下絕緣保護膜5的第一接地電極501通過第二壓敏膠503粘合在壓電駐極體薄膜3的相對另一側(cè)，壓電駐極體薄膜3位于壓電駐極體薄膜區(qū)域1，如圖8所
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[0050]在撕掉第二離型膜504之前，最好先采用兩個輥筒7、8碾壓上絕緣保護膜4與下絕緣保護膜5擠出泡沫。
[0051 ] 在其它實施方式中，粘合壓電駐極體薄膜3時，還可以先撕掉第二離型膜504將壓電駐極體薄膜3的一側(cè)通過第二壓敏膠503粘合在下絕緣保護膜5的第一接地電極501上，再撕掉第一離型膜408將上絕緣保護膜4的信號電極401通過第一壓敏膠407粘合在壓電駐極體薄膜3的相對另一側(cè)，壓電駐極體薄膜3位于壓電駐極體薄膜區(qū)域I。在撕掉第一離型膜408之前，最好先采用兩個輥筒7、8碾壓上絕緣保護膜4與下絕緣保護膜5擠出泡沫。
[0052]第六步,切割成型。
[0053]根據(jù)壓電駐極體薄膜元件的規(guī)格，將步驟五中的最終產(chǎn)物(如圖8所示)切割成型。
[0054]即:上絕緣保護膜4、下絕緣保護膜5均呈透明狀，負電極、正電極分別通過第一壓敏膠407、第二壓敏膠503固定在壓電駐極體薄膜3的兩個相對表面上，上絕緣保護膜4、下絕緣保護膜5分別覆蓋在負電極、正電極上，上絕緣保護膜4上設(shè)置有第二接地電極403，第二接地電極403上設(shè)置電極保護層405，正電極、負電極在垂直于壓電駐極體薄膜3的方向形成鏡像投影，且正電極、負電極的引腳部分錯位。也就是說，在上絕緣保護膜4和下絕緣保護膜5上分別定義出相接的壓電駐極體薄膜區(qū)域I和非壓電駐極體薄膜區(qū)域2，在電駐極體薄膜區(qū)域I內(nèi)信號電極401的垂直投影小于與第二接地電極403的垂直投影，在非壓電駐極體薄膜區(qū)域2內(nèi)信號電極401與第二接地電極403兩者的引腳垂直投影錯位。
[0055]本發(fā)明壓電駐極體薄膜元件的制備方法生產(chǎn)的壓電駐極體薄膜元件柔韌性好，加工過程效率高，工藝簡單，適合于批量工業(yè)生產(chǎn)。
[0056]綜上所述，本發(fā)明的優(yōu)點在于:
[0057]I)將電極設(shè)置在透明的保護膜上，有效解決了電極的對位難和絲網(wǎng)印刷銀漿時的熱脹問題；
[0058]2)將上、下保護膜對位好后，再粘合進行壓電駐極體薄膜，適合批量化分階段加工；
[0059]3)采用壓敏膠粘合壓電駐極體薄膜，提高了其加工效率，也保證了其柔韌性能。
[0060]以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種壓電駐極體薄膜元件，其包括壓電駐極體薄膜(3)、信號電極(401)、第一接地電極(501)、上絕緣保護膜(4)、下絕緣保護膜(5),其特征在于:上絕緣保護膜(4)、下絕緣保護膜(5)均呈透明狀，信號電極(401)、第一接地電極(501)分別通過第一壓敏膠(407)、第二壓敏膠(503)固定在壓電駐極體薄膜(3)的兩個相對表面上，上絕緣保護膜(4)、下絕緣保護膜(5)分別覆蓋在信號電極(401)、第一接地電極(501)上，上絕緣保護膜(4)上設(shè)置有第二接地電極(403)，第二接地電極(403)上設(shè)置電極保護層(405)，在上絕緣保護膜(4)和下絕緣保護膜(5)上分別定義出相接的壓電駐極體薄膜區(qū)域(I)和非壓電駐極體薄膜區(qū)域(2)，在電駐極體薄膜區(qū)域(I)內(nèi)信號電極(401)的垂直投影小于與第二接地電極(403)的垂直投影，在非壓電駐極體薄膜區(qū)域(2)內(nèi)信號電極(401)與第二接地電極(403)兩者的引腳垂直投影錯位。
2.如權(quán)利要求1所述的壓電駐極體薄膜元件，其特征在于:上絕緣保護膜(4)和下絕緣保護膜(5)上分別做有若干定位標(biāo)記。
3.—種如權(quán)利要求1所述的壓電駐極體薄膜元件的制備方法，其特征在于:其包括以下步驟: 一、設(shè)置導(dǎo)電電極:在透明的上絕緣保護膜(4)的相對兩側(cè)上設(shè)置第二接地電極(403)和信號電極(401)，在透明的下絕緣保護膜(5)的一側(cè)上設(shè)置第一接地電極(501)，在上絕緣保護膜(4)和下絕緣保護膜(5)上分別定義出相接的壓電駐極體薄膜區(qū)域(I)和非壓電駐極體薄膜區(qū)域⑵； 二、設(shè)置電極保護層:在上絕緣保護膜(4)的第二接地電極(403)上設(shè)置電極保護層(405)； 三、設(shè)置壓敏膠:在上絕緣保護膜(4)的壓電駐極體薄膜區(qū)域(I)中，且在信號電極(401)上依次設(shè)置第一壓敏膠(407)和第一離型膜(408)，在下絕緣保護膜(5)的壓電駐極體薄膜區(qū)域(I)中，且在第一接地電極(501)上依次設(shè)置第二壓敏膠(503)和第二離型膜(504)； 四、粘合非壓電駐極體薄膜區(qū):將上絕緣保護膜(4)的非壓電駐極體薄膜區(qū)域(2)和下絕緣保護膜(5)的非壓電駐極體薄膜區(qū)域(2)采用第三壓敏膠(6)粘合固定，信號電極(401)與第一接地電極(501)位于第三壓敏膠(6)的相對兩側(cè)，第一離型膜(408)與第二離型膜(504)面面相對； 五、粘合壓電駐極體薄膜(3):撕掉第一離型膜(408)和第二離型膜(504)，壓電駐極體薄膜(3)的相對兩側(cè)面通過第一壓敏膠(407)和第二壓敏膠(503)分別粘合在上絕緣保護膜(4)的信號電極(401)上和下絕緣保護膜(5)的第一接地電極(501)上，壓電駐極體薄膜⑶位于壓電駐極體薄膜區(qū)域⑴； 六、切割成型:根據(jù)壓電駐極體薄膜元件的規(guī)格，將步驟五中的最終產(chǎn)物切割成型。
4.如權(quán)利要求3所述的壓電駐極體薄膜元件的制備方法，其特征在于:步驟五粘合壓電駐極體薄膜(3)時，先撕掉第一離型膜(408)將壓電駐極體薄膜(3)的一側(cè)通過第一壓敏膠(407)粘合在上絕緣保護膜(4)的信號電極(401)上，再撕掉第二離型膜(504)將下絕緣保護膜(5)的第一接地電極(501)通過第二壓敏膠(503)粘合在壓電駐極體薄膜(3)的相對另一側(cè)，壓電駐極體薄膜(3)位于壓電駐極體薄膜區(qū)域(I);或先撕掉第二離型膜(504)將壓電駐極體薄膜(3)的一側(cè)通過第二壓敏膠(503)粘合在下絕緣保護膜(5)的第一接地電極(501)上，再撕掉第一離型膜(408)將上絕緣保護膜(4)的信號電極(401)通過第一壓敏膠(407)粘合在壓電駐極體薄膜(3)的相對另一側(cè)，壓電駐極體薄膜(3)位于壓電駐極體薄膜區(qū)域(I)。
5.如權(quán)利要求4所述的壓電駐極體薄膜元件的制備方法，其特征在于:當(dāng)先撕掉第一離型膜(408)時，在撕掉第二離型膜(504)之前，先采用兩個輥筒(7、8)碾壓上絕緣保護膜(4)與下絕緣保護膜(5)擠出泡沫；當(dāng)先撕掉第二離型膜(504)時，在撕掉第一離型膜(408)之前，先采用兩個輥筒(7、8)碾壓上絕緣保護膜(4)與下絕緣保護膜(5)擠出泡沫。
6.如權(quán)利要求3所述的壓電駐極體薄膜元件的制備方法，其特征在于:導(dǎo)電電極通過絲網(wǎng)印刷銀電極方式、或蝕刻鋁/銅箔電極方式、或真空鍍鋁/銅電極方式設(shè)置上絕緣保護膜(4)和下絕緣保護膜(5)上。
7.如權(quán)利要求3所述的壓電駐極體薄膜元件的制備方法，其特征在于:電極保護層通過絲網(wǎng)印刷保護油墨方式、或復(fù)合PET/PVC/PE薄膜的方式設(shè)置在上絕緣保護膜(4)的第二接地電極(403)上。
8.如權(quán)利要求3所述的壓電駐極體薄膜元件的制備方法，其特征在于:在步驟三中采用含有離型膜的壓敏固態(tài)雙面膠，使壓敏膠和離型膜同步形成。
9.如權(quán)利要求3所述的壓電駐極體薄膜元件的制備方法，其特征在于:在步驟三中先絲網(wǎng)印刷一層壓敏液態(tài)雙面膠，待壓敏液態(tài)雙面膠固化形成壓敏膠后，再復(fù)合離型膜。
10.如權(quán)利要求3所述的壓電駐極體薄膜元件的制備方法，其特征在于:在步驟四中，上絕緣保護膜(4)的非壓電駐極體薄膜區(qū)域(2)和下絕緣保護膜(5)的非壓電駐極體薄膜區(qū)域(2)的粘合，采用壓敏固態(tài)雙面膠或絲網(wǎng)印刷一層壓敏液態(tài)雙面膠待固化后粘合。
【文檔編號】H01L41/25GK104347791SQ201410383801
【公開日】2015年2月11日 申請日期:2014年8月6日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月6日
【發(fā)明者】李彥坤, 張曉青 申請人:貝骨新材料科技（上海）有限公司