一種適用于薄片加工的金屬夾具的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體加工工具，具體來說，涉及一種適用于薄片加工的金屬夾具，包括襯底、卡槽和卡環(huán)，所述襯底上設(shè)置有襯底切邊，所述卡槽位于襯底周圍，且與襯底相連，所述卡槽至少為兩個，所述卡槽包括兩個卡槽連接片和與設(shè)置在卡槽連接片一端的卡槽閉合片；所述卡環(huán)上設(shè)置有卡環(huán)凹槽，所述卡環(huán)凹槽的分布與襯底上的卡槽分布相對應(yīng)，所述卡環(huán)上設(shè)置有卡環(huán)切邊。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：夾具作為載體，承載薄片進(jìn)行各項(xiàng)工藝，保證薄片不破碎。該夾具同時(shí)具有易操作、無污染的特點(diǎn)，可以避免引入昂貴的薄片傳送裝置，極大地降低半導(dǎo)體行業(yè)薄片加工的成本。
【專利說明】—種適用于薄片加工的金屬夾具
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體加工工具，具體來說，涉及一種適用于薄片加工的金
屬夾具。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體加工行業(yè)中，薄片加工一直是個難點(diǎn)。現(xiàn)有專利如專利申請?zhí)枮镃N201320443605.9，申請日為20130725，名稱為一種半導(dǎo)體致冷件夾具的實(shí)用新型專利，其技術(shù)方案為:本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體加工工具，具體地說涉及一種半導(dǎo)體致冷件夾具。一種半導(dǎo)體致冷件夾具，包括夾具本體，其特征在于:所述的夾具本體下部設(shè)有加熱板，所述的加熱板上部安裝有夾具，所述的夾具兩端設(shè)有連接柱，所述的連接柱下部固定在加熱板上，上部安裝在夾具板上。目前基于薄片技術(shù)的相關(guān)半導(dǎo)體器件加工方法有兩種，一種是引進(jìn)具有薄片傳送能力的精密加工設(shè)備；另一種是采用鍵合的方式。前者設(shè)備昂貴，成本較高；后者要求鍵合技術(shù)要兼具易鍵合、易分離、耐高溫、低成本且不引入污染的特點(diǎn)，目前尚無一種成熟的鍵和技術(shù)能夠同時(shí)滿足以上要求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了克服現(xiàn)有的薄片夾具存在的上述問題，現(xiàn)在提出一種易操作、無污染、免引入昂貴的薄片傳送裝置、極大地降低半導(dǎo)體行業(yè)薄片加工成本的一種適用于薄片加工的金屬夾具。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的具體方案如下:
[0005]一種適用于薄片加工的金屬夾具，其特征在于:包括襯底、卡槽和卡環(huán)，所述襯底上設(shè)置有襯底切邊，所述襯底切邊兩端與襯底圓心所形成的襯底夾角范圍為30°至50°，所述卡槽位于襯底周圍，且與襯底相連，所述卡槽至少為兩個，所述卡槽包括兩個卡槽連接片和與設(shè)置在卡槽連接片一端的卡槽閉合片；所述卡環(huán)上設(shè)置有卡環(huán)凹槽，所述卡環(huán)凹槽的分布與襯底上的卡槽分布相對應(yīng)，所述卡環(huán)上設(shè)置有卡環(huán)切邊，所述卡環(huán)切邊兩端與卡環(huán)圓心所形成的卡環(huán)夾角范圍為30°至50°。
[0006]所述卡環(huán)凹槽的寬度大于卡槽的寬度，所述卡環(huán)的外徑小于襯底直徑。
[0007]襯底切邊兩端與襯底圓心所形成的襯底夾角與卡環(huán)切邊兩端與卡環(huán)圓心所形成的卡環(huán)夾角相同。
[0008]所述卡槽兩端與襯底圓心夾角為10°。
[0009]所述卡槽閉合片為矩形、正方形、圓弧形或鋸齒形。
[0010]所述卡槽為三個。
[0011]所述卡槽均勻分布在襯底的四周。
[0012]所述卡環(huán)切邊包括外側(cè)切邊和內(nèi)側(cè)切邊。
[0013]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于:夾具作為載體，承載薄片進(jìn)行各項(xiàng)工藝，保證薄片不破碎。該夾具同時(shí)具有易操作、無污染的特點(diǎn)，可以避免引入昂貴的薄片傳送裝置，極大地降 低半導(dǎo)體行業(yè)薄片加工的成本。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1是本實(shí)用新型襯底和卡槽展開的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖2是本實(shí)用新型卡環(huán)結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]附圖中:100:襯底圓心，101:襯底切邊，1021、1022、1023:卡槽，111:卡槽閉合片。
[0017]200:卡環(huán)圓心，201:卡環(huán)切邊，2021、2022、2023:卡環(huán)凹槽。
[0018]301:襯底夾角，302:襯底卡槽與圓心夾角，303、304、305:軸線角度，306:襯
底直徑，307:第二虛線直徑，308:卡槽展開直徑。
[0019]401:卡環(huán)夾角，402:卡環(huán)凹槽與圓心夾角寬度，403、404、405:卡環(huán)凹槽位置通過角度，406:卡環(huán)外徑，407:卡環(huán)凹槽直徑，408:卡環(huán)內(nèi)徑。
【具體實(shí)施方式】
[0020]實(shí)施例1
[0021]參照圖1和圖2，一種適用于薄片加工的金屬夾具包括襯底、卡槽1021、1022、1023和卡環(huán)，所述襯底上設(shè)置有襯底切邊101，所述襯底切邊101兩端與襯底圓心100所形成的夾角范圍為30°至50°，所述卡槽1021、1022、1023位于襯底周圍，且與襯底相連，所述卡槽1021、1022、1023至少為兩個，所述卡槽1021、1022、1023包括兩個卡槽連接片和與設(shè)置在卡槽連接片一端的卡槽閉合片111 ;所述卡環(huán)上設(shè)置有卡環(huán)凹槽2021、2022、2023，所述卡環(huán)凹槽2021、2022、2023的分布與襯底上的卡槽1021、1022、1023分布相對應(yīng)，所述卡環(huán)上設(shè)置有卡環(huán)切邊201，所述卡環(huán)切邊201兩端與卡環(huán)圓心200所形成的夾角范圍為30°至 50°。
[0022]卡環(huán)凹槽2021、2022、2023的寬度大于卡槽1021、1022、1023的寬度，所述卡環(huán)的外徑小于襯底直徑306。襯底切邊101兩端與襯底圓心100所形成的夾角與卡環(huán)切邊201兩端與卡環(huán)圓心200所形成的夾角相同。卡槽1021、1022、1023兩端與襯底圓心100夾角為10。?？ú坶]合片111為矩形、正方形、圓弧形或鋸齒形。卡槽1021、1022、1023為三個?？ú?021、1022、1023均勻分布在襯底的四周?？ōh(huán)切邊201包括外側(cè)切邊和內(nèi)側(cè)切邊。
[0023]實(shí)施例2
[0024]如圖1所示，襯底輪廓為帶切邊的圓形，襯底圓心為100，襯底直徑為306。襯底直徑306的具體尺寸取決于薄片的尺寸，以4英寸娃片為例,襯底直徑306大于4英寸。
[0025]襯底切邊101與襯底圓心100構(gòu)成襯底夾角301，介于30°到50°之間。
[0026]如圖1所示，襯底圓周上有三個卡槽1021、1022和1023，圖1中分別是三個卡槽的展開形貌。每個卡槽都被虛線分成三個部分，包括兩個卡槽連接片(矩形(或者圓弧環(huán)形))和一個卡槽閉合片111。
[0027]將卡槽1021三個部分按虛線彎折即可得到卡槽；卡槽1022、1023同理。
[0028]卡槽閉合片111可以是矩形、正方形、圓弧形、鋸齒形；卡槽閉合片111可位于卡槽1021的任一側(cè)。
[0029]如圖2所示，卡環(huán)圓心為200，帶外側(cè)切邊2011和內(nèi)側(cè)切邊2012，卡環(huán)內(nèi)徑為408，卡環(huán)外徑406略小于襯底直徑306,以保證卡環(huán)能在卡槽中旋轉(zhuǎn)。
[0030]卡環(huán)切邊201與卡環(huán)圓心200的卡環(huán)夾角為401等于襯底夾角301。
[0031]卡環(huán)帶有三個凹槽2021、2022和2023，當(dāng)卡槽閉合片111位于如圖1所示卡槽1021、1022、1023 —端時(shí)，卡環(huán)凹槽與圓心夾角寬度402略大于卡槽寬度302，以保證卡環(huán)能夠嵌入卡槽；
[0032]對準(zhǔn)圓心100和200，以及卡槽1021和2021，逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，當(dāng)卡環(huán)凹槽邊211抵住卡槽閉合片111時(shí)，切邊101同時(shí)對準(zhǔn)201 ;若111位于1021另一側(cè)，則將圖2所示卡環(huán)翻轉(zhuǎn)180°后順時(shí)針旋轉(zhuǎn)，同樣可以達(dá)到切邊101同時(shí)對準(zhǔn)201的效果。
[0033]實(shí)施例3
[0034]以4寸硅片操作為例，采用該金屬夾具的方法介紹如下:
[0035]如圖1所不，取襯底直徑306為102mm+0.2mm,卡槽展開直徑308為106mm,卡槽三條虛線尺寸:第一虛線與襯底直徑一致，第二虛線直徑307為104mm，第三虛線與卡槽閉合片111的頂端距離309為0.9mm。
[0036]如圖1所示，切邊101相較圓心夾角301為40°。
[0037]如圖1所示，三個凸起1021、1022、1023相對圓心角度同取10°，相較過圓心100的軸線角度303為40°，軸線角度304為50°，軸線角度305為85°。
[0038]如圖1所示，卡 槽閉合片111為圓弧形。
[0039]將三個凸起1021、1022、1023沿虛線彎折。
[0040]如圖2所7]^，卡環(huán)外徑406為102mm-0.2mm,卡環(huán)內(nèi)徑408為90mm,卡環(huán)凹槽直徑407 為 100mm。
[0041]如圖2所示，卡環(huán)切邊2011和2012相對圓心夾角401為40。。
[0042]如圖2所示，卡環(huán)凹槽位置通過角度403、404、405可確定，分別為50°，40°，85。。
[0043]將減薄后的硅片放入襯底中，將卡環(huán)2021、2022、2023分別于卡槽1021、1022、1023對準(zhǔn)放下，逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)至211抵住111，切口 201與101同時(shí)對準(zhǔn)。
[0044]值得注意的是，本專利描述過程中僅針對3個卡槽的情況展開，實(shí)際卡槽數(shù)量并不限于此，卡槽數(shù)量不少于2個即可；此外，本專利描述中將卡槽形貌設(shè)定為相同形貌，實(shí)際應(yīng)用時(shí)可以不同。專利中所公開的實(shí)施案例參數(shù)及方法僅供參考，保護(hù)內(nèi)容覺不僅限于文中所述參數(shù)，該領(lǐng)域內(nèi)技術(shù)人員經(jīng)適當(dāng)調(diào)整后即可應(yīng)用。
【權(quán)利要求】
1.一種適用于薄片加工的金屬夾具，其特征在于:包括襯底、卡槽(1021、1022、1023)和卡環(huán)，所述襯底上設(shè)置有襯底切邊(101)，所述襯底切邊(101)兩端與襯底圓心(100)所形成的襯底夾角(301)范圍為30°至50°，所述卡槽位于襯底周圍，且與襯底相連，所述卡槽至少為兩個，所述卡槽包括兩個卡槽連接片和與設(shè)置在卡槽連接片一端的卡槽閉合片(111);所述卡環(huán)上設(shè)置有卡環(huán)凹槽，所述卡環(huán)凹槽的分布與襯底上的卡分布相對應(yīng)，所述卡環(huán)上設(shè)置有卡環(huán)切邊(201 )，所述卡環(huán)切邊(201)兩端與卡環(huán)圓心(200)所形成的卡環(huán)夾角(401)范圍為30°至50°。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于薄片加工的金屬夾具，其特征在于:所述卡環(huán)凹槽的寬度大于卡槽的寬度，所述卡環(huán)的外徑小于襯底直徑(306)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種適用于薄片加工的金屬夾具，其特征在于:襯底切邊(101)兩端與襯底圓心(100)所形成的襯底夾角(301)與卡環(huán)切邊(201)兩端與卡環(huán)圓心(200)所形成的卡環(huán)夾角(401)相同。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種適用于薄片加工的金屬夾具，其特征在于:所述卡槽兩端與襯底圓心(100)夾角為10°。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種適用于薄片加工的金屬夾具，其特征在于:所述卡槽閉合片(111)為矩形、正方形、圓弧形或鋸齒形。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種適用于薄片加工的金屬夾具，其特征在于:所述卡槽為三個。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種適用于薄片加工的金屬夾具，其特征在于:所述卡槽均勻分布在襯底的四周。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種適用于薄片加工的金屬夾具，其特征在于:所述卡環(huán)切邊(201)包括外側(cè)切邊和內(nèi)側(cè)切邊。
【文檔編號】H01L21/687GK203690276SQ201420000707
【公開日】2014年7月2日 申請日期:2014年1月2日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月2日
【發(fā)明者】胡強(qiáng), 張世勇, 王思亮, 櫻井建彌 申請人:中國東方電氣集團(tuán)有限公司