一種產(chǎn)線用oled基板高效熱處理設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種產(chǎn)線用OLED基板高效熱處理設(shè)備，包括腔體，基板出口和基板入口，基板入口設(shè)置在腔體左側(cè)腔壁的下部，基板出口設(shè)置在腔體右側(cè)腔壁的上部；還包括由處理室左部、處理室中部和處理室右部組成的處理室，處理室放置在腔體內(nèi)部。本實(shí)用新型的產(chǎn)線用OLED基板高效熱處理設(shè)備優(yōu)點(diǎn)為：能夠在產(chǎn)線上自動(dòng)運(yùn)行，工藝誤差低，成本低，體積小。
【專利說(shuō)明】一種產(chǎn)線用OLED基板高效熱處理設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及顯示器件的熱處理【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是一種產(chǎn)線用OLED基板高效熱處理設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]由于OLED對(duì)水汽特別敏感以及退火和熱固化等低溫?zé)崽幚砉に嚨男枰谡麄€(gè)工藝制程中除了用于活化，氫化以及結(jié)晶等中、高溫?zé)崽幚砉に?大于500°C)以外，還較多的使用了低溫?zé)崽幚砉に?80-230°C)，目前這一類低溫?zé)崽幚砉に囋O(shè)備大多使用獨(dú)立方式，通常是離線獨(dú)立設(shè)備配置封包裝置，然后通過(guò)工廠的物流轉(zhuǎn)運(yùn)系統(tǒng)如:空中往返運(yùn)輸車和存儲(chǔ)貨架等方式和其他設(shè)備進(jìn)行工藝連接。該方式通常使得連線轉(zhuǎn)運(yùn)過(guò)程復(fù)雜、時(shí)間延長(zhǎng)、產(chǎn)能降低且成本增加。由于該類型設(shè)備通常采用的方式為CCBS (ContinuousCleanBatch system)即進(jìn)出口由同一只機(jī)械手，同一個(gè)窗口進(jìn)出熱處理腔體完成,就是一片一片的裝進(jìn)取出，突出的是裝和取同時(shí)連續(xù)的進(jìn)行，和單臺(tái)固化爐原理一樣，這從程序上就無(wú)法避免當(dāng)工藝時(shí)間(ex: 1800s，230°C )到達(dá)時(shí)，機(jī)械手卻正在進(jìn)行入口的動(dòng)作而導(dǎo)致實(shí)際加熱時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，根據(jù)經(jīng)驗(yàn)如果從距離熱處理腔體的盒內(nèi)進(jìn)行取片裝載，延誤時(shí)間會(huì)超過(guò)100秒甚至更長(zhǎng)，一方面這種方式本身影響對(duì)加熱系統(tǒng)的充分利用，降低了產(chǎn)能，更重要的是工藝控制得不到保證，影響產(chǎn)品質(zhì)量。通常使用CCBS的系統(tǒng)內(nèi)部沒(méi)有對(duì)進(jìn)入加熱腔體的基片進(jìn)行管理，即有可能玻璃在腔體內(nèi)發(fā)生破碎而不被識(shí)別，繼續(xù)裝載和取放動(dòng)作，那么由于破碎造成的微粒將會(huì)大面積污染產(chǎn)品。也有一些工藝設(shè)備配置為平衡穿梭式傳輸?shù)漠a(chǎn)線方式將上下流工藝進(jìn)行銜接，但往往該方式使得設(shè)備長(zhǎng)度超過(guò)十米以上，對(duì)于潔凈間的建造和維護(hù)成本大大增加。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型是解決上述問(wèn)題，提供一種能在產(chǎn)線上使用并且入口和出口不在一起的產(chǎn)線用OLED基板高效熱處理設(shè)備。
[0004]本實(shí)用新型的產(chǎn)線用OLED基板高效熱處理設(shè)備，包括腔體，基板出口和基板入口，基板入口設(shè)置在腔體左側(cè)腔壁的下部，基板出口設(shè)置在腔體右側(cè)腔壁的上部；還包括由處理室左部、處理室中部和處理室右部組成的處理室，處理室放置在腔體內(nèi)部；處理室左部包括處理室左部底層、處理室左部一層、處理室左部二層、處理室左部三層和處理室左部四層，處理室左部底層、處理室左部一層、處理室左部二層、處理室左部三層和處理室左部四層依次重疊；處理室中部包括處理室中部底層、處理室中部一層、處理室中部二層、處理室中部三層和處理室中部四層，處理室中部底層、處理室中部一層、處理室中部二層、處理室中部三層和處理室中部四層依次重疊；處理室右部包括處理室右部底層、處理室右部一層、處理室右部二層、處理室右部三層和處理室右部四層，處理室右部底層、處理室右部一層、處理室右部二層、處理室右部三層和處理室右部四層依次重疊；處理室左部底層、處理室左部一層、處理室左部二層、處理室左部三層、處理室左部四層、處理室中部底層、處理室中部一層、處理室中部二層、處理室中部三層、處理室中部四層、處理室右部底層、處理室右部一層、處理室右部二層、處理室右部三層和處理室右部四層都設(shè)置有水平向傳動(dòng)裝置；處理室右部一層、處理室左部二層、處理室右部三層和處理室左部四層還設(shè)置有升降裝置。
[0005]優(yōu)選地，所述處理室左部底層、處理室左部一層、處理室左部二層、處理室左部三層、處理室左部四層、處理室中部底層、處理室中部一層、處理室中部二層、處理室中部三層、處理室中部四層、處理室右部底層、處理室右部一層、處理室右部二層、處理室右部三層和處理室右部四層都含設(shè)置有水平方位的撥動(dòng)式傳感器。
[0006]優(yōu)選地，所述處理室右部一層、處理室左部二層、處理室右部三層和處理室左部四層還設(shè)置有垂直方向的撥動(dòng)式傳感器。
[0007]優(yōu)選地，所述水平向傳動(dòng)裝置的材質(zhì)為PI材質(zhì)。
[0008]優(yōu)選地，所述處理室左部底層、處理室中部底層和處理室右部底層安裝有驅(qū)動(dòng)裝置。
[0009]優(yōu)選地，所述驅(qū)動(dòng)裝置和撥動(dòng)式傳感器之間的連接線材采用鎧裝隔熱材料包裹。
[0010]綜上所述，本實(shí)用新型的產(chǎn)線用OLED基板高效熱處理設(shè)備優(yōu)點(diǎn)為:能夠在產(chǎn)線上自動(dòng)運(yùn)行，工藝誤差低，成本低，體積小。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0011]圖1為產(chǎn)線用OLED基板高效熱處理設(shè)備腔體圖；
[0012]圖2為產(chǎn)線用OLED基板高效熱處理設(shè)備結(jié)構(gòu)圖；
[0013]圖3為處理室結(jié)構(gòu)圖；
[0014]圖4為本實(shí)用新型的實(shí)施例處理室內(nèi)部流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0015]下面結(jié)合附圖和具體的實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的闡述。
[0016]本實(shí)用新型的產(chǎn)線用OLED基板高效熱處理設(shè)備，包括腔體1，基板出口 2和基板入口 3，基板入口 3設(shè)置在腔體I左側(cè)腔壁的下部，基板出口 2設(shè)置在腔體I右側(cè)腔壁的上部；還包括由處理室左部4、處理室中部5和處理室右部6組成的處理室，處理室放置在腔體I內(nèi)部；處理室左部4包括處理室左部底層41、處理室左部一層42、處理室左部二層43、處理室左部三層44和處理室左部四層45，處理室左部底層41、處理室左部一層42、處理室左部二層43、處理室左部三層44和處理室左部四層45依次重疊；處理室中部5包括處理室中部底層51、處理室中部一層52、處理室中部二層53、處理室中部三層54和處理室中部四層55，處理室中部底層51、處理室中部一層52、處理室中部二層53、處理室中部三層54和處理室中部四層55依次重疊；處理室右部6包括處理室右部底層61、處理室右部一層62、處理室右部二層63、處理室右部三層64和處理室右部四層65，處理室右部底層61、處理室右部一層62、處理室右部二層63、處理室右部三層64和處理室右部四層65依次重疊；處理室左部底層41、處理室左部一層42、處理室左部二層43、處理室左部三層44、處理室左部四層45、處理室中部底層51、處理室中部一層52、處理室中部二層53、處理室中部三層54、處理室中部四層55、處理室右部底層61、處理室右部一層62、處理室右部二層63、處理室右部三層64和處理室右部四層65都設(shè)置有水平向傳動(dòng)裝置；處理室右部一層62、處理室左部二層43、處理室右部三層64和處理室左部四層45還設(shè)置有升降裝置。所述處理室左部底層41、處理室左部一層42、處理室左部二層43、處理室左部三層44、處理室左部四層45、處理室中部底層51、處理室中部一層52、處理室中部二層53、處理室中部三層54、處理室中部四層55、處理室右部底層61、處理室右部一層62、處理室右部二層63、處理室右部三層64和處理室右部四層65都含設(shè)置有水平方位的撥動(dòng)式傳感器。所述處理室右部一層62、處理室左部二層43、處理室右部三層64和處理室左部四層45還設(shè)置有垂直方向的撥動(dòng)式傳感器。所述水平向傳動(dòng)裝置的材質(zhì)為PI材質(zhì)。所述處理室左部底層41、處理室中部底層51和處理室右部底層61安裝有驅(qū)動(dòng)裝置。所述驅(qū)動(dòng)裝置和撥動(dòng)式傳感器之間的連接線材采用鎧裝隔熱材料包裹。
[0017]運(yùn)行時(shí)，升溫加熱，當(dāng)檢測(cè)到產(chǎn)線用OLED基板高效熱處理設(shè)備內(nèi)溫度恒定在設(shè)置溫度時(shí)，上流工藝取出基板然后通過(guò)基板入口 3將基板放入處理室左部一層42 ;當(dāng)基板放入后，所有驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)處理室內(nèi)的水平向傳動(dòng)裝置和升降裝置開始工作；基板從處理室左部一層42，通過(guò)水平向傳動(dòng)裝置運(yùn)輸一直到達(dá)處理室右部一層62的升降裝置中，當(dāng)處理室右部一層62工位最右端的水平方向的撥動(dòng)式傳感器檢測(cè)到基板時(shí)，該升降裝置執(zhí)行上升動(dòng)作，通過(guò)機(jī)械的方式保持與處理室右部二層63在一個(gè)水平面；上升動(dòng)作完成之后，通過(guò)時(shí)間限定(例如I秒)來(lái)使處理室右部二層63的水平向傳動(dòng)裝置使基板從右向左傳輸一直到達(dá)處理室左部二層43的升降機(jī)內(nèi)。當(dāng)處理室右部二層63最左邊的水平方向的撥動(dòng)傳感器檢測(cè)到玻璃離開后，升降機(jī)向下執(zhí)行下降的動(dòng)作并與處理室右部一層62保持水平(通過(guò)機(jī)械限制的方式確保)，處理室右部一層62的水平向傳動(dòng)裝置開動(dòng)，使處理室中部一層52的基板可以流進(jìn)該位置。處理室左部二層43升降機(jī)的水平方向的撥動(dòng)傳感器檢測(cè)到基板到達(dá)以后。向上執(zhí)行上升動(dòng)作與處理室左部三層44保持水平(機(jī)械限制確保水平)，上升指令執(zhí)行后規(guī)定時(shí)間(例如I秒)后，處理室左部三層44水平向傳動(dòng)裝置使基板從左向右流動(dòng)；同時(shí)當(dāng)處理室左部三層44的水平向的撥片傳感器檢測(cè)到玻璃離開后，升降機(jī)向下執(zhí)行下降的動(dòng)作并與處理室左部二層43保持水平，處理室左部二層43水平向傳動(dòng)裝置開動(dòng)，使處理室右部二層63的基板可以流進(jìn)該工位。處理室右部三層64工位最右端的水平方向的撥動(dòng)式傳感器檢測(cè)到基板時(shí)，該升降裝置執(zhí)行上升動(dòng)作，通過(guò)機(jī)械的方式保持與處理室右部三層64在一個(gè)水平面；上升動(dòng)作完成之后，通過(guò)時(shí)間限定(例如I秒)來(lái)使處理室右部三層64的水平向傳動(dòng)裝置使基板從右向左傳輸一直到達(dá)處理室左部三層44的升降機(jī)內(nèi)。當(dāng)處理室右部四層65最左邊的水平方向的撥動(dòng)傳感器檢測(cè)到玻璃離開后，升降機(jī)向下執(zhí)行下降的動(dòng)作并與處理室右部三層64保持水平(通過(guò)機(jī)械限制的方式確保)，處理室右部三層64的水平向傳動(dòng)裝置開動(dòng)，使處理室中部三層54的基板可以流進(jìn)該位置。處理室左部四層45升降機(jī)的水平方向的撥動(dòng)傳感器檢測(cè)到基板到達(dá)以后。向上執(zhí)行上升動(dòng)作與處理室左部頂層保持水平(機(jī)械限制確保水平)，上升指令執(zhí)行后規(guī)定時(shí)間(例如I秒)后，處理室左部頂層水平向傳動(dòng)裝置使基板從左向右流動(dòng)；同時(shí)當(dāng)處理室左部頂層的水平向的撥片傳感器檢測(cè)到玻璃離開后，升降機(jī)向下執(zhí)行下降的動(dòng)作并與處理室左部四層45保持水平，處理室左部四層45水平向傳動(dòng)裝置開動(dòng)，使處理室右部四層65的基板可以流進(jìn)該工位?；逋ㄟ^(guò)處理室左部頂層、處理室中部頂層和處理室右部頂層到達(dá)基板出口 2。通過(guò)升降機(jī)撥動(dòng)傳感器對(duì)玻璃進(jìn)行檢測(cè)，由于加熱時(shí)間確定后，傳輸速度以及升降的時(shí)間都可以確定，所以相同間隔的時(shí)間內(nèi)每個(gè)升降機(jī)一定能夠檢測(cè)到玻璃的到達(dá)，如果在確定的間隔時(shí)間內(nèi)沒(méi)有檢測(cè)到玻璃到達(dá)，則說(shuō)明玻璃發(fā)生破碎或者處理室中部的傳輸異常。同樣在升降機(jī)內(nèi)，從撥動(dòng)傳感器檢測(cè)到玻璃進(jìn)入以后，到一定確定的時(shí)間之后，另一端的撥動(dòng)傳感器會(huì)檢測(cè)到玻璃到達(dá)，再過(guò)一定規(guī)定時(shí)間后，進(jìn)入端的撥動(dòng)傳感器會(huì)檢測(cè)到玻璃離開，如果發(fā)生異常則會(huì)發(fā)生異常報(bào)警?？梢詫?duì)每個(gè)工位的基板情況進(jìn)行管理，檢測(cè)卡片，重疊，破碎以及上升下降中的一場(chǎng)情況等，并且發(fā)生異常后報(bào)警提示且停止機(jī)械手裝載動(dòng)作。傳輸速度=(熱處理時(shí)間-上升下降總時(shí)間)/總工位*每個(gè)工位長(zhǎng)度，實(shí)際操作中只需要設(shè)置熱處理時(shí)間(如1800秒)，通過(guò)內(nèi)部如上計(jì)算方式，則自動(dòng)計(jì)算出傳輸速度，以確保每片玻璃在處理室內(nèi)有準(zhǔn)確的工藝時(shí)間。通過(guò)入口機(jī)械手臂上的檢測(cè)傳感器來(lái)對(duì)每片玻璃進(jìn)行入庫(kù)記憶管理，通過(guò)出口機(jī)械手臂上的檢測(cè)傳感器對(duì)玻璃進(jìn)行出庫(kù)記憶管理，以確定產(chǎn)線用OLED基板高效熱處理設(shè)備內(nèi)的玻璃數(shù)量，以及具體工位上玻璃的有無(wú)情況的記憶。
[0018]本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員將會(huì)意識(shí)到，這里所述的實(shí)施例是為了幫助讀者理解本實(shí)用新型的原理，應(yīng)被理解為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于這樣的特別陳述和實(shí)施例。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以根據(jù)本實(shí)用新型公開的這些技術(shù)啟示做出各種不脫離本實(shí)用新型實(shí)質(zhì)的其它各種具體變形和組合，這些變形和組合仍然在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種產(chǎn)線用OLED基板高效熱處理設(shè)備，其特征在于:包括腔體(1)，基板出口(2)和基板入口( 3 )，基板入口( 3 )設(shè)置在腔體(I)左側(cè)腔壁的下部，基板出口( 2 )設(shè)置在腔體(I)右側(cè)腔壁的上部；還包括由處理室左部(4)、處理室中部(5)和處理室右部(6)組成的處理室，處理室放置在腔體(I)內(nèi)部；處理室左部(4)包括處理室左部底層(41)、處理室左部一層(42)、處理室左部二層(43)、處理室左部三層(44)和處理室左部四層(45)，處理室左部底層(41)、處理室左部一層(42)、處理室左部二層(43)、處理室左部三層(44)和處理室左部四層(45)依次重疊；處理室中部(5)包括處理室中部底層(51)、處理室中部一層(52)、處理室中部二層(53)、處理室中部三層(54)和處理室中部四層(55)，處理室中部底層(51)、處理室中部一層(52)、處理室中部二層(53)、處理室中部三層(54)和處理室中部四層(55)依次重疊；處理室右部(6 )包括處理室右部底層(61)、處理室右部一層(62 )、處理室右部二層(63)、處理室右部三層(64)和處理室右部四層(65)，處理室右部底層(61)、處理室右部一層(62)、處理室右部二層(63)、處理室右部三層(64)和處理室右部四層(65)依次重疊；處理室左部底層(41)、處理室左部一層(42)、處理室左部二層(43)、處理室左部三層(44)、處理室左部四層(45)、處理室中部底層(51)、處理室中部一層(52)、處理室中部二層(53)、處理室中部三層(54)、處理室中部四層(55)、處理室右部底層(61)、處理室右部一層(62)、處理室右部二層(63)、處理室右部三層(64)和處理室右部四層(65)都設(shè)置有水平向傳動(dòng)裝置；處理室右部一層(62)、處理室左部二層(43)、處理室右部三層(64)和處理室左部四層(45)還設(shè)置有升降裝置。
2.如權(quán)利要求1所述的產(chǎn)線用OLED基板高效熱處理設(shè)備，其特征在于:所述處理室左部底層(41)、處理室左部一層(42)、處理室左部二層(43)、處理室左部三層(44)、處理室左部四層(45)、處理室中部底層(51)、處理室中部一層(52)、處理室中部二層(53)、處理室中部三層(54)、處理室中部四層(55)、處理室右部底層(61)、處理室右部一層(62)、處理室右部二層(63)、處理室右部三層(64)和處理室右部四層(65)都含設(shè)置有水平方位的撥動(dòng)式傳感器。
3.如權(quán)利要求2所述的產(chǎn)線用OLED基板高效熱處理設(shè)備，其特征在于:所述處理室右部一層(62)、處理室左部二層(43)、處理室右部三層(64)和處理室左部四層(45)還設(shè)置有垂直方向的撥動(dòng)式傳感器。
4.如權(quán)利要求3所述的產(chǎn)線用OLED基板高效熱處理設(shè)備，其特征在于:所述水平向傳動(dòng)裝置的材質(zhì)為PI材質(zhì)。
5.如權(quán)利要求4所述的產(chǎn)線用OLED基板高效熱處理設(shè)備，其特征在于:所述處理室左部底層(41)、處理室中部底層(51)和處理室右部底層(61)安裝有驅(qū)動(dòng)裝置。
6.如權(quán)利要求5所述的產(chǎn)線用OLED基板高效熱處理設(shè)備，其特征在于:所述驅(qū)動(dòng)裝置和撥動(dòng)式傳感器之間的連接線材采用鎧裝隔熱材料包裹。
【文檔編號(hào)】H01L51/56GK203760522SQ201420143402
【公開日】2014年8月6日 申請(qǐng)日期:2014年3月27日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月27日
【發(fā)明者】魏鋒, 敬啟毓, 任海 申請(qǐng)人:四川虹視顯示技術(shù)有限公司