S型圓弧形終端溝槽結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及功率半導(dǎo)體器件領(lǐng)域，主要是一種S型圓弧形終端溝槽結(jié)構(gòu)，包括多個(gè)豎向直線型溝槽和多個(gè)半圓弧形溝槽終端，豎向直線型溝槽并排布置，一條豎向直線型溝槽的首端與一個(gè)半圓弧形溝槽終端一端相連，與其相鄰的另一個(gè)豎向直線型溝槽首端與半圓弧形溝槽終端的另一端相連；的兩個(gè)豎向直線型溝槽和一個(gè)半圓弧形溝槽形成獨(dú)立的溝槽組合，每個(gè)溝槽組合的兩條豎向直線型溝槽尾端分別通過(guò)一個(gè)半圓弧形溝槽與其相鄰的豎向直線型溝槽相連；每一個(gè)豎向直線型溝槽和與其首端、尾端相連的兩個(gè)半圓弧形溝槽形成“S”型。該結(jié)構(gòu)使得溝槽實(shí)現(xiàn)平滑的相互連接，避免溝槽邊緣處的電場(chǎng)集中，從而提高產(chǎn)品的良率和使用穩(wěn)定性。
【專利說(shuō)明】S型圓弧形終端溝槽結(jié)構(gòu)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及功率半導(dǎo)體器件領(lǐng)域，主要是一種S型圓弧形終端溝槽結(jié)構(gòu)。

【背景技術(shù)】
[0002]柵控型功率半導(dǎo)體器件如MOSFET (場(chǎng)效應(yīng)晶體管)和IGBT (絕緣柵雙極型晶體管)時(shí)常采用溝槽型柵極結(jié)構(gòu)，其優(yōu)點(diǎn)是可以消除傳統(tǒng)平面柵極結(jié)構(gòu)所固有的JFET效應(yīng)，及導(dǎo)通時(shí)由于內(nèi)建電場(chǎng)的作用使得載流子通道變窄，導(dǎo)通壓降上升；此外，溝槽型柵極結(jié)構(gòu)還可以大幅增加元胞密度，從而增加單位面積的電流密度，減小芯片尺寸。溝槽周圍的電場(chǎng)分布對(duì)溝槽的形貌非常敏感，不平整、曲率過(guò)大等都會(huì)造成電場(chǎng)的聚集，從而影響器件生產(chǎn)的良率和使用穩(wěn)定性。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]為解決現(xiàn)有溝槽周圍的電場(chǎng)分布對(duì)溝槽的形貌非常敏感，不平整、曲率過(guò)大等都會(huì)造成電場(chǎng)的聚集，從而影響器件生產(chǎn)的良率和使用穩(wěn)定性的問(wèn)題，現(xiàn)在提出一種使得溝槽實(shí)現(xiàn)平滑的相互連接，避免溝槽邊緣處的電場(chǎng)集中，從而提高產(chǎn)品的良率和使用穩(wěn)定性的S型圓弧形終端溝槽結(jié)構(gòu)。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)效果，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下:
[0005]一種S型圓弧形終端溝槽結(jié)構(gòu)，其特征在于:包括多個(gè)豎向直線型溝槽和多個(gè)半圓弧形溝槽終端，所述豎向直線型溝槽并排布置，所述一條豎向直線型溝槽的首端與一個(gè)半圓弧形溝槽終端一端相連，與其相鄰的另一個(gè)豎向直線型溝槽首端與所述半圓弧形溝槽終端的另一端相連；所述的兩個(gè)豎向直線型溝槽和一個(gè)半圓弧形溝槽形成獨(dú)立的溝槽組合，所述每個(gè)溝槽組合的兩條豎向直線型溝槽尾端分別通過(guò)一個(gè)半圓弧形溝槽與其相鄰的豎向直線型溝槽相連；每一個(gè)豎向直線型溝槽和與其首端、尾端相連的兩個(gè)半圓弧形溝槽形成“S”型。
[0006]所述多個(gè)“S”型的溝槽組合并排設(shè)置，所述第一個(gè)溝槽組合與最后一個(gè)溝槽組合的兩根豎向直線型溝槽相連。
[0007]所述第一個(gè)溝槽組合與最后一個(gè)溝槽組合的兩根豎向直線型溝槽之間設(shè)置有兩根1/4圓弧形溝槽終端和橫向直線型溝槽。
[0008]所述1/4圓弧形溝槽終端的半徑為相鄰兩個(gè)豎向直線型溝槽外側(cè)間距加上相鄰兩個(gè)豎向直線型溝槽內(nèi)側(cè)間距的一半。
[0009]所述兩根1/4圓弧形溝槽終端、橫向直線型溝槽、豎向直線型溝槽首端相連的半圓弧形溝槽終端之間的區(qū)域?yàn)榉腔钚詤^(qū)。
[0010]所述相鄰豎向直線型溝槽之間的區(qū)域?yàn)榛钚詤^(qū)。
[0011]所述半圓弧形溝槽終端的圓心在與其相連的兩個(gè)豎向直線型溝槽對(duì)的首端中點(diǎn)位置。
[0012]所述半圓弧形溝槽終端的內(nèi)徑為相鄰豎向直線型溝槽之間內(nèi)側(cè)的間距，所述半圓弧形溝槽終端的的外徑為相鄰豎向直線型溝槽之間外側(cè)的間距。
[0013]所述一個(gè)半圓弧形溝槽終端和與其相連的兩個(gè)豎向直線型溝槽形成“U”型結(jié)構(gòu)。
[0014]所述豎向直線型溝槽的寬度為0.2um-2um。
[0015]所述各豎向直線型溝槽的內(nèi)側(cè)之間的間為lum-10um。
[0016]所述各個(gè)溝槽縱向刻蝕深度為2um-8um。
[0017]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于:
[0018]1、本申請(qǐng)公開一種S型圓弧形終端溝槽結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)使得溝槽實(shí)現(xiàn)平滑的相互連接，避免溝槽邊緣處的電場(chǎng)集中，從而提高產(chǎn)品的良率和使用穩(wěn)定性。
[0019]2、本申請(qǐng)溝槽的形貌非常平整、曲率小，不會(huì)造成電場(chǎng)的聚集，增強(qiáng)了器件生產(chǎn)的良率和使用穩(wěn)定性。圓弧的優(yōu)點(diǎn)是讓相鄰的直線溝槽(活性區(qū))平滑過(guò)渡，從而避免因溝槽分布的突變而導(dǎo)致的電場(chǎng)聚集，提高柵極的良率，進(jìn)而提高IGBT產(chǎn)品良率和穩(wěn)定性。此外，相較單純的直線型溝槽設(shè)計(jì)，圓弧形過(guò)渡幾乎不用增加額外的空間，因此可以與傳統(tǒng)的器件設(shè)計(jì)和加工兼容。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0020]圖1為半圓弧形溝槽終端結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021]圖2為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]附圖中:半圓弧形溝槽終端101，豎向直線型溝槽102。
[0023]活性區(qū)域201，非活性區(qū)202。
[0024]1/4圓弧形溝槽終端103，橫向直線型溝槽104。

【具體實(shí)施方式】
[0025]實(shí)施例1
[0026]S型圓弧形終端溝槽結(jié)構(gòu)包括多個(gè)豎向直線型溝槽102和多個(gè)半圓弧形溝槽終端101，所述豎向直線型溝槽102并排布置，所述一條豎向直線型溝槽102的首端與一個(gè)半圓弧形溝槽終端101 —端相連，與其相鄰的另一個(gè)豎向直線型溝槽102首端與所述半圓弧形溝槽終端101的另一端相連；所述的兩個(gè)豎向直線型溝槽102和一個(gè)半圓弧形溝槽形成獨(dú)立的溝槽組合，所述每個(gè)溝槽組合的兩條豎向直線型溝槽102尾端分別通過(guò)一個(gè)半圓弧形溝槽與其相鄰的豎向直線型溝槽102相連；每一個(gè)豎向直線型溝槽102和與其首端、尾端相連的兩個(gè)半圓弧形溝槽形成“S”型。
[0027]實(shí)施例2
[0028]S型圓弧形終端溝槽結(jié)構(gòu)包括多個(gè)豎向直線型溝槽102和多個(gè)半圓弧形溝槽終端101，所述豎向直線型溝槽102并排布置，所述一條豎向直線型溝槽102的首端與一個(gè)半圓弧形溝槽終端101 —端相連，與其相鄰的另一個(gè)豎向直線型溝槽102首端與所述半圓弧形溝槽終端101的另一端相連；所述的兩個(gè)豎向直線型溝槽102和一個(gè)半圓弧形溝槽形成獨(dú)立的溝槽組合，所述每個(gè)溝槽組合的兩條豎向直線型溝槽102尾端分別通過(guò)一個(gè)半圓弧形溝槽與其相鄰的豎向直線型溝槽102相連；每一個(gè)豎向直線型溝槽102和與其首端、尾端相連的兩個(gè)半圓弧形溝槽形成“S”型。
[0029]多個(gè)“S”型的溝槽組合并排設(shè)置，所述第一個(gè)溝槽組合與最后一個(gè)溝槽組合的兩根豎向直線型溝槽102相連。第一個(gè)溝槽組合與最后一個(gè)溝槽組合的兩根豎向直線型溝槽102之間設(shè)置有兩根1/4圓弧形溝槽終端103和橫向直線型溝槽104。1/4圓弧形溝槽終端103的半徑為相鄰兩個(gè)豎向直線型溝槽102外側(cè)間距加上相鄰兩個(gè)豎向直線型溝槽102內(nèi)側(cè)間距的一半。兩根1/4圓弧形溝槽終端103、橫向直線型溝槽104、豎向直線型溝槽102首端相連的半圓弧形溝槽終端101之間的區(qū)域?yàn)榉腔钚詤^(qū)202。相鄰豎向直線型溝槽102之間的區(qū)域?yàn)榛钚詤^(qū)201。半圓弧形溝槽終端101的圓心在與其相連的兩個(gè)豎向直線型溝槽102對(duì)的首端中點(diǎn)位置。半圓弧形溝槽終端101的內(nèi)徑為相鄰豎向直線型溝槽102之間內(nèi)側(cè)的間距，所述半圓弧形溝槽終端101的的外徑為相鄰豎向直線型溝槽102之間外側(cè)的間距。一個(gè)半圓弧形溝槽終端101和與其相連的兩個(gè)豎向直線型溝槽102形成“U”型結(jié)構(gòu)。
[0030]實(shí)施例3
[0031]S型圓弧形終端溝槽結(jié)構(gòu)包括多個(gè)豎向直線型溝槽102和多個(gè)半圓弧形溝槽終端101，所述豎向直線型溝槽102并排布置，所述一條豎向直線型溝槽102的首端與一個(gè)半圓弧形溝槽終端101 —端相連，與其相鄰的另一個(gè)豎向直線型溝槽102首端與所述半圓弧形溝槽終端101的另一端相連；所述的兩個(gè)豎向直線型溝槽102和一個(gè)半圓弧形溝槽形成獨(dú)立的溝槽組合，所述每個(gè)溝槽組合的兩條豎向直線型溝槽102尾端分別通過(guò)一個(gè)半圓弧形溝槽與其相鄰的豎向直線型溝槽102相連；每一個(gè)豎向直線型溝槽102和與其首端、尾端相連的兩個(gè)半圓弧形溝槽形成“S”型。
[0032]多個(gè)“S”型的溝槽組合并排設(shè)置，所述第一個(gè)溝槽組合與最后一個(gè)溝槽組合的兩根豎向直線型溝槽102相連。第一個(gè)溝槽組合與最后一個(gè)溝槽組合的兩根豎向直線型溝槽102之間設(shè)置有兩根1/4圓弧形溝槽終端103和橫向直線型溝槽104。1/4圓弧形溝槽終端103的半徑為相鄰兩個(gè)豎向直線型溝槽102外側(cè)間距加上相鄰兩個(gè)豎向直線型溝槽102內(nèi)側(cè)間距的一半。兩根1/4圓弧形溝槽終端103、橫向直線型溝槽104、豎向直線型溝槽102首端相連的半圓弧形溝槽終端101之間的區(qū)域?yàn)榉腔钚詤^(qū)202。相鄰豎向直線型溝槽102之間的區(qū)域?yàn)榛钚詤^(qū)201。半圓弧形溝槽終端101的圓心在與其相連的兩個(gè)豎向直線型溝槽102對(duì)的首端中點(diǎn)位置。半圓弧形溝槽終端101的內(nèi)徑為相鄰豎向直線型溝槽102之間內(nèi)側(cè)的間距，所述半圓弧形溝槽終端101的的外徑為相鄰豎向直線型溝槽102之間外側(cè)的間距。一個(gè)半圓弧形溝槽終端101和與其相連的兩個(gè)豎向直線型溝槽102形成“U”型結(jié)構(gòu)。
[0033]所述豎向直線型溝槽102的寬度為0.2um-2um。所述各豎向直線型溝槽102的內(nèi)側(cè)之間的間為lum-10um。所述各個(gè)溝槽縱向刻蝕深度為2um_8um。
[0034]實(shí)施例4
[0035]S型圓弧形終端溝槽結(jié)構(gòu)包括多個(gè)豎向直線型溝槽102和多個(gè)半圓弧形溝槽終端101，所述豎向直線型溝槽102并排布置，所述一條豎向直線型溝槽102的首端與一個(gè)半圓弧形溝槽終端101 —端相連，與其相鄰的另一個(gè)豎向直線型溝槽102首端與所述半圓弧形溝槽終端101的另一端相連；所述的兩個(gè)豎向直線型溝槽102和一個(gè)半圓弧形溝槽形成獨(dú)立的溝槽組合，所述每個(gè)溝槽組合的兩條豎向直線型溝槽102尾端分別通過(guò)一個(gè)半圓弧形溝槽與其相鄰的豎向直線型溝槽102相連；每一個(gè)豎向直線型溝槽102和與其首端、尾端相連的兩個(gè)半圓弧形溝槽形成“S”型。
[0036]多個(gè)“S”型的溝槽組合并排設(shè)置，所述第一個(gè)溝槽組合與最后一個(gè)溝槽組合的兩根豎向直線型溝槽102相連。第一個(gè)溝槽組合與最后一個(gè)溝槽組合的兩根豎向直線型溝槽102之間設(shè)置有兩根1/4圓弧形溝槽終端103和橫向直線型溝槽104。1/4圓弧形溝槽終端103的半徑為相鄰兩個(gè)豎向直線型溝槽102外側(cè)間距加上相鄰兩個(gè)豎向直線型溝槽102內(nèi)側(cè)間距的一半。兩根1/4圓弧形溝槽終端103、橫向直線型溝槽104、豎向直線型溝槽102首端相連的半圓弧形溝槽終端101之間的區(qū)域?yàn)榉腔钚詤^(qū)202。相鄰豎向直線型溝槽102之間的區(qū)域?yàn)榛钚詤^(qū)201。半圓弧形溝槽終端101的圓心在與其相連的兩個(gè)豎向直線型溝槽102對(duì)的首端中點(diǎn)位置。半圓弧形溝槽終端101的內(nèi)徑為相鄰豎向直線型溝槽102之間內(nèi)側(cè)的間距，所述半圓弧形溝槽終端101的的外徑為相鄰豎向直線型溝槽102之間外側(cè)的間距。一個(gè)半圓弧形溝槽終端101和與其相連的兩個(gè)豎向直線型溝槽102形成“U”型結(jié)構(gòu)。
[0037]所述豎向直線型溝槽102的寬度為2um。所述各豎向直線型溝槽102的內(nèi)側(cè)之間的間為lum。所述各個(gè)溝槽縱向刻蝕深度為8um。
[0038]實(shí)施例5
[0039]S型圓弧形終端溝槽結(jié)構(gòu)包括多個(gè)豎向直線型溝槽102和多個(gè)半圓弧形溝槽終端101，所述豎向直線型溝槽102并排布置，所述一條豎向直線型溝槽102的首端與一個(gè)半圓弧形溝槽終端101 —端相連，與其相鄰的另一個(gè)豎向直線型溝槽102首端與所述半圓弧形溝槽終端101的另一端相連；所述的兩個(gè)豎向直線型溝槽102和一個(gè)半圓弧形溝槽形成獨(dú)立的溝槽組合，所述每個(gè)溝槽組合的兩條豎向直線型溝槽102尾端分別通過(guò)一個(gè)半圓弧形溝槽與其相鄰的豎向直線型溝槽102相連；每一個(gè)豎向直線型溝槽102和與其首端、尾端相連的兩個(gè)半圓弧形溝槽形成“S”型。
[0040]多個(gè)“S”型的溝槽組合并排設(shè)置，所述第一個(gè)溝槽組合與最后一個(gè)溝槽組合的兩根豎向直線型溝槽102相連。第一個(gè)溝槽組合與最后一個(gè)溝槽組合的兩根豎向直線型溝槽102之間設(shè)置有兩根1/4圓弧形溝槽終端103和橫向直線型溝槽104。1/4圓弧形溝槽終端103的半徑為相鄰兩個(gè)豎向直線型溝槽102外側(cè)間距加上相鄰兩個(gè)豎向直線型溝槽102內(nèi)側(cè)間距的一半。兩根1/4圓弧形溝槽終端103、橫向直線型溝槽104、豎向直線型溝槽102首端相連的半圓弧形溝槽終端101之間的區(qū)域?yàn)榉腔钚詤^(qū)202。相鄰豎向直線型溝槽102之間的區(qū)域?yàn)榛钚詤^(qū)201。半圓弧形溝槽終端101的圓心在與其相連的兩個(gè)豎向直線型溝槽102對(duì)的首端中點(diǎn)位置。半圓弧形溝槽終端101的內(nèi)徑為相鄰豎向直線型溝槽102之間內(nèi)側(cè)的間距，所述半圓弧形溝槽終端101的的外徑為相鄰豎向直線型溝槽102之間外側(cè)的間距。一個(gè)半圓弧形溝槽終端101和與其相連的兩個(gè)豎向直線型溝槽102形成“U”型結(jié)構(gòu)。
[0041]所述豎向直線型溝槽102的寬度為0.2um。所述各豎向直線型溝槽102的內(nèi)側(cè)之間的間為10um。所述各個(gè)溝槽縱向刻蝕深度為2um。
[0042]實(shí)施例6
[0043]S型圓弧形終端溝槽結(jié)構(gòu)包括多個(gè)豎向直線型溝槽102和多個(gè)半圓弧形溝槽終端101，所述豎向直線型溝槽102并排布置，所述一條豎向直線型溝槽102的首端與一個(gè)半圓弧形溝槽終端101 —端相連，與其相鄰的另一個(gè)豎向直線型溝槽102首端與所述半圓弧形溝槽終端101的另一端相連；所述的兩個(gè)豎向直線型溝槽102和一個(gè)半圓弧形溝槽形成獨(dú)立的溝槽組合，所述每個(gè)溝槽組合的兩條豎向直線型溝槽102尾端分別通過(guò)一個(gè)半圓弧形溝槽與其相鄰的豎向直線型溝槽102相連；每一個(gè)豎向直線型溝槽102和與其首端、尾端相連的兩個(gè)半圓弧形溝槽形成“S”型。
[0044]多個(gè)“S”型的溝槽組合并排設(shè)置，所述第一個(gè)溝槽組合與最后一個(gè)溝槽組合的兩根豎向直線型溝槽102相連。第一個(gè)溝槽組合與最后一個(gè)溝槽組合的兩根豎向直線型溝槽102之間設(shè)置有兩根1/4圓弧形溝槽終端103和橫向直線型溝槽104。1/4圓弧形溝槽終端103的半徑為相鄰兩個(gè)豎向直線型溝槽102外側(cè)間距加上相鄰兩個(gè)豎向直線型溝槽102內(nèi)側(cè)間距的一半。兩根1/4圓弧形溝槽終端103、橫向直線型溝槽104、豎向直線型溝槽102首端相連的半圓弧形溝槽終端101之間的區(qū)域?yàn)榉腔钚詤^(qū)202。相鄰豎向直線型溝槽102之間的區(qū)域?yàn)榛钚詤^(qū)201。半圓弧形溝槽終端101的圓心在與其相連的兩個(gè)豎向直線型溝槽102對(duì)的首端中點(diǎn)位置。半圓弧形溝槽終端101的內(nèi)徑為相鄰豎向直線型溝槽102之間內(nèi)側(cè)的間距，所述半圓弧形溝槽終端101的的外徑為相鄰豎向直線型溝槽102之間外側(cè)的間距。一個(gè)半圓弧形溝槽終端101和與其相連的兩個(gè)豎向直線型溝槽102形成“U”型結(jié)構(gòu)。
[0045]所述豎向直線型溝槽102的寬度為lum。所述各豎向直線型溝槽102的內(nèi)側(cè)之間的間為5um。所述各個(gè)溝槽縱向刻蝕深度為4um。
[0046]實(shí)施例7
[0047]如圖所示，為方便說(shuō)明，將豎向直線型溝槽102分別編號(hào)為“1”，“2”...“!!”，“n+1”...，“η”與“n+1”頂相連，“n+1”與“n+2”尾部相連，從而形成收尾相連的“S”型周期結(jié)構(gòu)。相連處均為半圓弧形溝槽結(jié)構(gòu)。假設(shè)圖案中共有豎向直線型溝槽102數(shù)量為“m”，那么“I”與“m”通過(guò)1/4圓弧形溝槽終端103及橫向直線型溝槽104收尾相連，使得所有溝槽形成閉合。
[0048]值得注意的是，為方便說(shuō)明，本專利所使用圖示中的豎向直線型溝槽102數(shù)量較少，而實(shí)際使用并不限于此。
【權(quán)利要求】
1.一種S型圓弧形終端溝槽結(jié)構(gòu)，其特征在于:包括多個(gè)豎向直線型溝槽(102)和多個(gè)半圓弧形溝槽終端(101)，所述豎向直線型溝槽(102)并排布置，一條豎向直線型溝槽(102)的首端與一個(gè)半圓弧形溝槽終端(101)—端相連，與其相鄰的另一個(gè)豎向直線型溝槽(102)首端與所述半圓弧形溝槽終端(101)的另一端相連；兩個(gè)豎向直線型溝槽(102)和一個(gè)半圓弧形溝槽形成獨(dú)立的溝槽組合，所述每個(gè)溝槽組合的兩條豎向直線型溝槽(102)尾端分別通過(guò)一個(gè)半圓弧形溝槽與其相鄰的豎向直線型溝槽(102)相連；每一個(gè)豎向直線型溝槽(102)和與其首端、尾端相連的兩個(gè)半圓弧形溝槽形成“S”型。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的S型圓弧形終端溝槽結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述多個(gè)“S”型的溝槽組合并排設(shè)置，第一個(gè)溝槽組合與最后一個(gè)溝槽組合的兩根豎向直線型溝槽(102)相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的S型圓弧形終端溝槽結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述第一個(gè)溝槽組合與最后一個(gè)溝槽組合的兩根豎向直線型溝槽(102)之間設(shè)置有兩根1/4圓弧形溝槽終端(103)和橫向直線型溝槽(104)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的S型圓弧形終端溝槽結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述1/4圓弧形溝槽終端(103)的半徑為相鄰兩個(gè)豎向直線型溝槽(102)外側(cè)間距加上相鄰兩個(gè)豎向直線型溝槽(102)內(nèi)側(cè)間距的一半。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的S型圓弧形終端溝槽結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述兩根1/4圓弧形溝槽終端(103)、橫向直線型溝槽(104)、豎向直線型溝槽(102)首端相連的半圓弧形溝槽終端(101)之間的區(qū)域?yàn)榉腔钚詤^(qū)(202)，所述相鄰豎向直線型溝槽(102)之間的區(qū)域?yàn)榛钚詤^(qū)(201)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的S型圓弧形終端溝槽結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述半圓弧形溝槽終端(101)的圓心在與其相連的兩個(gè)豎向直線型溝槽(102)的首端中點(diǎn)位置，所述半圓弧形溝槽終端(101)的內(nèi)徑為相鄰豎向直線型溝槽(102 )之間內(nèi)側(cè)的間距，所述半圓弧形溝槽終端(101)的的外徑為相鄰豎向直線型溝槽(102)之間外側(cè)的間距。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的S型圓弧形終端溝槽結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述一個(gè)半圓弧形溝槽終端(101)和與其相連的兩個(gè)豎向直線型溝槽(102)形成“U”型結(jié)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的S型圓弧形終端溝槽結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述豎向直線型溝槽(102)的寬度為0.2um-2um。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的S型圓弧形終端溝槽結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述各豎向直線型溝槽(102)的內(nèi)側(cè)之間的間為lum-10um。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的S型圓弧形終端溝槽結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述各個(gè)溝槽縱向刻蝕深度為2um-8um。
【文檔編號(hào)】H01L29/06GK204230246SQ201420654431
【公開日】2015年3月25日 申請(qǐng)日期:2014年11月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月5日
【發(fā)明者】胡強(qiáng), 王思亮, 張世勇 申請(qǐng)人:中國(guó)東方電氣集團(tuán)有限公司