玻璃基板均勻蝕刻裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型的玻璃基板均勻蝕刻裝置包括蝕刻槽、第一卡閘樞接部、第二卡閘樞接部以及玻璃基板卡閘，第一卡閘樞接部及第二卡閘樞接部分別設(shè)置于蝕刻槽相對(duì)的兩個(gè)內(nèi)壁面；玻璃基板卡閘包括第一樞軸與第二樞軸，分別可分離地軸設(shè)于第一卡閘樞接部和第二卡閘樞接部，并通過驅(qū)動(dòng)組帶動(dòng)第一樞軸使玻璃基板卡閘在蝕刻槽中旋轉(zhuǎn)。借此，便于將玻璃基板安置于玻璃基板卡閘中，且使玻璃基板的各處皆均勻蝕刻，以達(dá)到增進(jìn)玻璃基板的蝕刻制程良率的效果。
【專利說明】玻璃基板均勻蝕刻裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種玻璃基板蝕刻裝置，尤其涉及一種玻璃基板均勻蝕刻裝置，以使蝕刻液均勻蝕刻多個(gè)玻璃基板。

【背景技術(shù)】
[0002]隨著經(jīng)濟(jì)的快速成長，具有顯示屏幕的電子裝置已成為每一個(gè)人生活上不可或缺的產(chǎn)品，例如智能型手機(jī)、液晶電視及筆記本電腦等。然而，在上述產(chǎn)品的顯示屏幕中，玻璃基板是其中不可或缺的組成組件之一。為了使玻璃基板配合各種形式的顯示屏幕，常通過蝕刻方式來使玻璃基板符合各式顯示屏幕的所需規(guī)格。
[0003]然而，現(xiàn)有的蝕刻方式是將玻璃基板放置在具有蝕刻液的蝕刻槽中進(jìn)行蝕刻作業(yè)，但當(dāng)玻璃基板在蝕刻槽中靜置一段時(shí)間后，蝕刻液中的化學(xué)成分往往會(huì)發(fā)生沉淀現(xiàn)象而使蝕刻液濃度不均，造成單一玻璃基板各處的蝕刻程度會(huì)有不一致的情形發(fā)生，進(jìn)而使得玻璃基板的蝕刻制程良率下降。因此，如何創(chuàng)作出一種玻璃基板均勻蝕刻裝置，以均勻地蝕刻玻璃基板，增進(jìn)玻璃基板的蝕刻制程良率，將是本實(shí)用新型所想要積極揭露的地方。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型的目的提供一種具有高蝕刻制程良率的玻璃基板均勻蝕刻裝置。
[0005]為達(dá)上述目的和其他目的，本實(shí)用新型的玻璃基板均勻蝕刻裝置包括蝕刻槽、第一卡閘樞接部、第二卡閘樞接部以及玻璃基板卡閘，其中，該第一卡閘樞接部設(shè)置于該蝕刻槽的內(nèi)壁面；該第二卡閘樞接部設(shè)置于該蝕刻槽且相對(duì)于該第一卡閘樞接部另一側(cè)的內(nèi)壁面；以及該玻璃基板卡閘包括第一樞軸與第二樞軸，分別可分離地軸設(shè)于該第一卡閘樞接部和該第二卡閘樞接部；其中，該第一卡閘樞接部、該第一樞軸、該第二樞軸和該第二卡閘樞接部設(shè)于同一軸線，且通過驅(qū)動(dòng)組帶動(dòng)該第一樞軸使該玻璃基板卡閘旋轉(zhuǎn)。
[0006]在實(shí)施例中，該驅(qū)動(dòng)組包括驅(qū)動(dòng)馬達(dá)以及驅(qū)動(dòng)桿。其中，該驅(qū)動(dòng)桿包括第一端部與第二端部，該第一端部與該驅(qū)動(dòng)馬達(dá)相連接，而該第二端部與該第一卡閘樞接部相連接，該驅(qū)動(dòng)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)該驅(qū)動(dòng)桿來帶動(dòng)該第一樞軸，以使該玻璃基板卡閘旋轉(zhuǎn)。
[0007]在實(shí)施例中，該驅(qū)動(dòng)組還包括連動(dòng)臂組，包括第一連動(dòng)部與第二連動(dòng)部，該第一連動(dòng)部與該驅(qū)動(dòng)馬達(dá)相連接，該第二連動(dòng)部與該第二卡閘樞接部相連接，該驅(qū)動(dòng)馬達(dá)同步驅(qū)動(dòng)該驅(qū)動(dòng)桿與該連動(dòng)臂組，以使該第一樞軸與該第二樞軸同步帶動(dòng)該玻璃基板卡閘旋轉(zhuǎn)。
[0008]在實(shí)施例中，該玻璃基板卡閘的第二樞軸還包括軸承。
[0009]在實(shí)施例中，該玻璃基板卡閘還包括吊掛部。
[0010]借此，本實(shí)用新型的玻璃基板均勻蝕刻裝置通過該驅(qū)動(dòng)組帶動(dòng)該玻璃基板卡閘以使該玻璃基板卡閘在該蝕刻槽內(nèi)旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而帶動(dòng)于該蝕刻槽內(nèi)的蝕刻液流動(dòng)，使該蝕刻槽內(nèi)各處的蝕刻液濃度更佳均勻；并且通過該玻璃基板卡閘的轉(zhuǎn)動(dòng)，使該玻璃基板卡閘內(nèi)的玻璃基板可與該蝕刻槽內(nèi)不同深度的蝕刻液接觸進(jìn)而使玻璃基板均勻蝕刻，以達(dá)到增進(jìn)玻璃基板的蝕刻制程良率的效果。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的玻璃基板均勻蝕刻裝置的立體圖；
[0012]圖2為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的玻璃基板均勻蝕刻裝置的俯視圖；
[0013]圖3為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的玻璃基板均勻蝕刻裝置的使用狀態(tài)圖；
[0014]圖4為本實(shí)用新型第二實(shí)施例的玻璃基板均勻蝕刻裝置的立體圖；
[0015]圖5為本實(shí)用新型第二實(shí)施例的玻璃基板均勻蝕刻裝置的俯視圖；
[0016]圖6為本實(shí)用新型第三實(shí)施例的玻璃基板均勻蝕刻裝置的示意圖。
[0017]【符號(hào)說明】
[0018]1,2,3玻璃基板均勻蝕刻裝置
[0019]10蝕刻槽
[0020]20第一卡閘樞接部
[0021]30第二卡閘樞接部
[0022]40玻璃基板卡閘
[0023]41第一樞軸
[0024]42第二樞軸
[0025]43吊掛部
[0026]50驅(qū)動(dòng)組
[0027]51驅(qū)動(dòng)馬達(dá)
[0028]52驅(qū)動(dòng)桿
[0029]521 第一端部
[0030]522 第二端部
[0031]53連動(dòng)臂組
[0032]531第一連動(dòng)部
[0033]532第二連動(dòng)部
[0034]60玻璃基板

【具體實(shí)施方式】
[0035]為充分了解本實(shí)用新型的目的、特征和效果，現(xiàn)通過下述具體的實(shí)施例，并配合附圖，對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)說明，說明如下:
[0036]首先，如圖1和圖2所示，其示為本實(shí)用新型中第一實(shí)施例的玻璃基板均勻蝕刻裝置I的立體圖與俯視圖。該玻璃基板均勻蝕刻裝置I包括蝕刻槽10、第一卡閘樞接部20、第二卡閘樞接部30、玻璃基板卡閘40以及驅(qū)動(dòng)組50。
[0037]該蝕刻槽10于蝕刻作業(yè)中會(huì)放置用于蝕刻玻璃基板的蝕刻液。該第一卡閘樞接部20與該第二卡閘樞接部30分別設(shè)置于該蝕刻槽10的相對(duì)的兩個(gè)內(nèi)側(cè)壁上。該玻璃基板卡閘40包括第一樞軸41與第二樞軸42，該第一樞軸41與該第二樞軸42分別可分離地軸設(shè)于該第一卡閘樞接部20和該第二卡閘樞接部30。其中，該第一卡閘樞接部20、該第一樞軸41、該第二樞軸42和該第二卡閘樞接部30設(shè)于同一軸線，且通過該驅(qū)動(dòng)組50所產(chǎn)生的驅(qū)動(dòng)力，會(huì)帶動(dòng)該第一樞軸41而使該玻璃基板卡閘40旋轉(zhuǎn)。在本實(shí)施例中，該驅(qū)動(dòng)組50包括驅(qū)動(dòng)馬達(dá)51以及驅(qū)動(dòng)桿52，該驅(qū)動(dòng)桿52包括第一端部521與第二端部522，該第一端部521與該驅(qū)動(dòng)馬達(dá)51相連接，而該第二端部522與該第一^^閘樞接部20相連接。
[0038]通過上述設(shè)置方式，當(dāng)使用者想利用該玻璃基板均勻蝕刻裝置I進(jìn)行復(fù)數(shù)玻璃基板60的蝕刻作業(yè)時(shí)，先將上述玻璃基板60安置并固定于該玻璃基板卡閘40后，通過該玻璃基板卡閘40的第一樞軸41與第二樞軸42分別軸設(shè)于該第一卡閘樞接部20和該第二卡閘樞接部30，以將該玻璃基板卡閘40設(shè)置于該蝕刻槽10中；接著，在該蝕刻槽10中注入蝕刻液；最后，通過該驅(qū)動(dòng)組50的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)51所產(chǎn)生的驅(qū)動(dòng)力驅(qū)動(dòng)該驅(qū)動(dòng)桿52，通過該驅(qū)動(dòng)桿52帶動(dòng)該第一卡閘樞接部20進(jìn)而使該第一樞軸41旋轉(zhuǎn)，讓該玻璃基板卡閘40能于具有蝕刻液的蝕刻槽10內(nèi)旋轉(zhuǎn)，以進(jìn)行蝕刻作業(yè)。應(yīng)注意的是，為使該玻璃基板卡閘40的轉(zhuǎn)動(dòng)更為順暢，該玻璃基板卡閘40的第二樞軸42還可包括軸承(圖中未示)，以減少該第二樞軸42于該第二卡閘樞接部30旋轉(zhuǎn)時(shí)所產(chǎn)生的摩擦力。
[0039]如圖3所示，其示為本實(shí)用新型中第一實(shí)施例的玻璃基板均勻蝕刻裝置I的使用狀態(tài)圖。通過該第一卡閘樞接部20、該第二卡閘樞接部30、該第一樞軸41和該第二樞軸42的設(shè)置關(guān)系，使用者可先在該蝕刻槽10的外部將上述玻璃基板60安置并固定于該玻璃基板卡閘40內(nèi)，再通過人力將該玻璃基板卡閘40放置入該蝕刻槽10中，以進(jìn)行上述的蝕刻作業(yè)。
[0040]綜上所述，本實(shí)用新型第一實(shí)施例的玻璃基板均勻蝕刻裝置通過上述的設(shè)置，便于讓使用者在蝕刻槽外將多個(gè)玻璃基板安置并固定于該玻璃基板卡閘中；此外，該玻璃基板卡閘于蝕刻槽內(nèi)旋轉(zhuǎn)時(shí)帶動(dòng)蝕刻液，來使蝕刻槽內(nèi)各處的蝕刻液濃度更佳均勻，因此，該玻璃基板卡閘內(nèi)的玻璃基板可與蝕刻槽內(nèi)不同深度的蝕刻液接觸進(jìn)而均勻蝕刻，以達(dá)到增進(jìn)玻璃基板的蝕刻制程良率的效果。
[0041]如圖4和圖5所示，其示為本實(shí)用新型中第二實(shí)施例的玻璃基板均勻蝕刻裝置2的立體圖和俯視圖。該玻璃基板均勻蝕刻裝置2與該玻璃基板均勻蝕刻裝置I不同的是，該玻璃基板均勻蝕刻裝置2的驅(qū)動(dòng)組50還包括連動(dòng)臂組53。
[0042]在本實(shí)施例中，該連動(dòng)臂組53由兩個(gè)連動(dòng)桿通過傘形齒輪彼此嚙合連接而形成的“L”型連動(dòng)臂組，該連動(dòng)臂組53包括第一連動(dòng)部531與第二連動(dòng)部532，該第一連動(dòng)部531與該驅(qū)動(dòng)馬達(dá)51相連接，而該第二連動(dòng)部532與該第二卡閘樞接部30相連接。當(dāng)該驅(qū)動(dòng)馬達(dá)51作動(dòng)時(shí)，該連動(dòng)臂組53可通過該驅(qū)動(dòng)馬達(dá)51的驅(qū)動(dòng)，使該連動(dòng)臂組53與該驅(qū)動(dòng)桿52可以同步旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而使該第一樞軸41與該第二樞軸42同步旋轉(zhuǎn)，再通過該第一樞軸41與該第二樞軸42的旋轉(zhuǎn)以帶動(dòng)該玻璃基板卡閘40旋轉(zhuǎn)。
[0043]綜上所述，第二實(shí)施例的玻璃基板均勻蝕刻裝置除了可以達(dá)到第一實(shí)施例的玻璃基板均勻蝕刻裝置的效果外，還通過該連動(dòng)臂組的設(shè)置，使該第一樞軸與該第二樞軸同步帶動(dòng)玻璃基板卡閘旋轉(zhuǎn)，當(dāng)使用者選用玻璃基板搭載容量更多的玻璃基板卡閘或是整體重量更重的玻璃基板卡閘時(shí)，通過第一樞軸與第二樞軸同步旋轉(zhuǎn)的設(shè)計(jì)可增加轉(zhuǎn)動(dòng)扭力，讓玻璃基板卡閘仍可順暢的在蝕刻槽中旋轉(zhuǎn)。
[0044]如圖6所示，其示為本實(shí)用新型中第三實(shí)施例的玻璃基板均勻蝕刻裝置3的示意圖。該玻璃基板均勻蝕刻裝置3與該玻璃基板均勻蝕刻裝置I以及該玻璃基板均勻蝕刻裝置2不同的是，該玻璃基板均勻蝕刻裝置3的玻璃基板卡閘40還包括吊掛部43。
[0045]該吊掛部43設(shè)置于該玻璃基板卡閘40的頂部，當(dāng)使用者想將該玻璃基板卡閘40由該蝕刻槽10中取出，或是由外部將該玻璃基板卡閘40置入該蝕刻槽10中時(shí)，使用者可利用吊車、天車或是人力來夾持該吊掛部43，以方便移動(dòng)該玻璃基板卡閘40。在本實(shí)施例中，該吊掛部43由兩個(gè)桿件所組成，但不局限于此，該吊掛部43的構(gòu)成組件和設(shè)置位置可依用戶需求有所調(diào)整。
[0046]綜上所述，第三實(shí)施例的玻璃基板均勻蝕刻裝置除了可以達(dá)到第一實(shí)施例與第二實(shí)施例的效果外，通過該吊掛部的設(shè)置，使用者可通過機(jī)具或是人力等方式夾持該吊掛部，以便于移動(dòng)該玻璃基板卡閘。
[0047]應(yīng)注意的是，本實(shí)用新型中所述的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)、驅(qū)動(dòng)桿、卡閘樞接部和樞軸之間的連接方式可通過齒輪彼此嚙合連接，但不局限于此，凡是可使上述部件彼此配合連動(dòng)的連接方式均適用于本實(shí)用新型。
[0048]借此，本實(shí)用新型的玻璃基板均勻蝕刻裝置通過驅(qū)動(dòng)組帶動(dòng)玻璃基板卡閘以使玻璃基板卡閘在蝕刻槽內(nèi)旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而帶動(dòng)蝕刻槽內(nèi)的蝕刻液流動(dòng)使蝕刻槽內(nèi)各處的蝕刻液濃度更佳均勻；并且通過玻璃基板卡閘的轉(zhuǎn)動(dòng)，使玻璃基板卡閘內(nèi)的玻璃基板可與蝕刻槽內(nèi)不同深度的蝕刻液接觸進(jìn)而使玻璃基板均勻蝕刻，以達(dá)到增進(jìn)玻璃基板的蝕刻制程良率的效果。
[0049]本實(shí)用新型在上文中已通過較佳實(shí)施例揭露，然而本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)理解的是，該實(shí)施例僅用于描繪本實(shí)用新型，而不應(yīng)解讀為限制本實(shí)用新型的范圍。應(yīng)注意的是，凡是與該實(shí)施例等效的變化與置換，均應(yīng)設(shè)為涵蓋于本實(shí)用新型的范疇內(nèi)。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以權(quán)利要求所界定的范圍為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種玻璃基板均勻蝕刻裝置，其特征在于，包括: 蝕刻槽； 第一卡閘樞接部，設(shè)置于該蝕刻槽的內(nèi)壁面； 第二卡閘樞接部，設(shè)置于該蝕刻槽的另一內(nèi)壁面；以及 玻璃基板卡閘，包括第一樞軸與第二樞軸，分別可分離地軸設(shè)于該第一卡閘樞接部和該第二卡閘樞接部； 其中，該第一卡閘樞接部、該第一樞軸、該第二樞軸和該第二卡閘樞接部設(shè)于同一軸線，且通過驅(qū)動(dòng)組帶動(dòng)該第一樞軸使該玻璃基板卡閘旋轉(zhuǎn)。
2.如權(quán)利要求1所述的玻璃基板均勻蝕刻裝置，其特征在于，該驅(qū)動(dòng)組包括: 驅(qū)動(dòng)馬達(dá)；以及 驅(qū)動(dòng)桿，包括第一端部與第二端部，該第一端部與該驅(qū)動(dòng)馬達(dá)相連接，而該第二端部與該第一卡閘樞接部相連接，該驅(qū)動(dòng)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)該驅(qū)動(dòng)桿來帶動(dòng)該第一樞軸，以使該玻璃基板卡閘旋轉(zhuǎn)。
3.如權(quán)利要求2所述的玻璃基板均勻蝕刻裝置，其特征在于，該驅(qū)動(dòng)組還包括:連動(dòng)臂組，包括第一連動(dòng)部與第二連動(dòng)部，該第一連動(dòng)部與該驅(qū)動(dòng)馬達(dá)相連接，該第二連動(dòng)部與該第二卡閘樞接部相連接，該驅(qū)動(dòng)馬達(dá)同步驅(qū)動(dòng)該驅(qū)動(dòng)桿與該連動(dòng)臂組，以使該第一樞軸與該第二樞軸同步帶動(dòng)該玻璃基板卡閘旋轉(zhuǎn)。
4.如權(quán)利要求3所述的玻璃基板均勻蝕刻裝置，其特征在于，該玻璃基板卡閘還包括吊掛部。
5.如權(quán)利要求1或2中所述的玻璃基板均勻蝕刻裝置，其特征在于，該玻璃基板卡閘的第二樞軸還包括軸承。
6.如權(quán)利要求5所述的玻璃基板均勻蝕刻裝置，其特征在于，該玻璃基板卡閘還包括吊掛部。
【文檔編號(hào)】H01L21/67GK204230213SQ201420687234
【公開日】2015年3月25日 申請(qǐng)日期:2014年11月15日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月15日
【發(fā)明者】胡崑源 申請(qǐng)人:欣弘元科技股份有限公司