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      一種應(yīng)用于高頻聲表面波器件劃片工藝的靜電消除結(jié)構(gòu)的制作方法

      文檔序號:7095505閱讀:256來源:國知局
      一種應(yīng)用于高頻聲表面波器件劃片工藝的靜電消除結(jié)構(gòu)的制作方法
      【專利摘要】本實(shí)用新型提供的應(yīng)用于高頻聲表面波器件劃片工藝的靜電消除結(jié)構(gòu),包括晶圓和若干個(gè)高頻聲表面波器件;高頻聲表面波器件包括正電荷匯流條和負(fù)電荷匯流條,高頻聲表面波器件并排相鄰設(shè)置在該晶圓上,相鄰的兩個(gè)高頻聲表面波器件中,一高頻聲表面波器件的正電荷匯流條與另一高頻聲表面波器件的負(fù)電荷匯流條相鄰設(shè)置,且該正電荷匯流條與該負(fù)電荷匯流條之間連接第一金屬導(dǎo)線;最左端和最優(yōu)端的兩個(gè)高頻聲表面波器件分別用第一金屬導(dǎo)線連接其高頻聲表面波器件內(nèi)的正電荷匯流條與負(fù)電荷匯流條。能有效地消除高頻聲表面波器件產(chǎn)生的靜電,解決現(xiàn)有技術(shù)中缺乏解決高頻聲表面波器件中靜電燒傷問題結(jié)構(gòu)的缺陷。
      【專利說明】一種應(yīng)用于高頻聲表面波器件劃片工藝的靜電消除結(jié)構(gòu)

      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本實(shí)用新型屬于聲表面波器件的封裝領(lǐng)域,尤其涉及一種應(yīng)用于高頻聲表面波器件劃片工藝的靜電消除結(jié)構(gòu)。

      【背景技術(shù)】
      [0002]目前,高頻聲表面波器件的基體常采用壓電材料制成,這種特殊的聲表面波器件的基體材料,在溫度沖擊和壓力沖擊的情況下會產(chǎn)生很大的靜電積累。現(xiàn)有的高頻聲表面波器件是設(shè)置在晶圓上的,高頻聲表面波器件在金屬化以后(前工序完成),由于運(yùn)輸存儲等原因會產(chǎn)生一定的靜電積累。同時(shí),高頻聲表面波器件在劃片工序切割過程中產(chǎn)生了巨大的機(jī)械和熱沖擊,靜電無處釋放,會在高頻聲表器件的指條間形成電容效應(yīng),一旦釋放則可以燒毀器件,也就是俗稱的靜電燒傷問題。目前根據(jù)統(tǒng)計(jì),高頻聲表面波器件在生產(chǎn)過程中,由于靜電燒傷問題損壞的器件占所有損壞器件的30%以上,已成為高頻聲表面波器件生產(chǎn)過程中亟待解決的問題。但是目前還沒有解決高頻聲表面波器件中靜電燒傷問題的現(xiàn)有技術(shù)。
      實(shí)用新型內(nèi)容
      [0003]針對上述現(xiàn)有技術(shù)的不足,本實(shí)用新型所解決的技術(shù)問題是怎樣提供一種應(yīng)用于高頻聲表面波器件劃片工藝的靜電消除結(jié)構(gòu),能有效地消除高頻聲表面波器件產(chǎn)生的靜電,用于解決現(xiàn)有技術(shù)中缺乏解決高頻聲表面波器件中靜電燒傷問題結(jié)構(gòu)的缺陷。
      [0004]為了解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型采用了如下的技術(shù)方案:
      [0005]一種應(yīng)用于高頻聲表面波器件劃片工藝的靜電消除結(jié)構(gòu),包括晶圓和若干個(gè)高頻聲表面波器件;高頻聲表面波器件包括正電荷匯流條和負(fù)電荷匯流條,高頻聲表面波器件并排相鄰設(shè)置在該晶圓上,相鄰的兩個(gè)高頻聲表面波器件中,一高頻聲表面波器件的正電荷匯流條與另一高頻聲表面波器件的負(fù)電荷匯流條相鄰設(shè)置,且該正電荷匯流條與該負(fù)電荷匯流條之間連接第一金屬導(dǎo)線;最左端和最右端的兩個(gè)高頻聲表面波器件分別用第一金屬導(dǎo)線連接其高頻聲表面波器件內(nèi)的正電荷匯流條與負(fù)電荷匯流條。
      [0006]進(jìn)一步,所述第一金屬導(dǎo)線設(shè)置在晶圓的表面,晶圓上劃片街區(qū)的劃片標(biāo)志的第二金屬導(dǎo)線匯集形成連接線,連接線延伸至與第一金屬導(dǎo)線連接。
      [0007]相對于現(xiàn)有技術(shù),本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn):
      [0008]本實(shí)用新型提供的靜電消除結(jié)構(gòu),能有效地消除高頻聲表面波器件產(chǎn)生的靜電,解決現(xiàn)有技術(shù)中缺乏解決高頻聲表面波器件中靜電燒傷問題結(jié)構(gòu)的缺陷。

      【專利附圖】

      【附圖說明】
      [0009]圖1為本實(shí)用新型提供的靜電消除結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。

      【具體實(shí)施方式】
      [0010]高頻聲表面波器件采用的壓電材料在受到機(jī)械和熱沖擊的情況下,其晶體結(jié)構(gòu)會發(fā)生變化,導(dǎo)致表面電荷的產(chǎn)生,這也正是聲表面波器件的工作原理之一。
      [0011]在高頻聲表面波器件的劃片工藝中,常使用砂輪劃片機(jī)對晶圓進(jìn)行切割,這樣砂輪劃片機(jī)的刀片會與晶圓進(jìn)行接觸,產(chǎn)生了巨大的機(jī)械沖擊,同時(shí)也伴有熱沖擊。這樣一來,在芯片圖形的周圍就會產(chǎn)生靜電荷。由于高頻聲表面波器件是金屬圖形,則金屬圖形將會聚集這些電荷,在指條間出現(xiàn)類似于電容的電場分布,正負(fù)電荷成對出現(xiàn)。
      [0012]下面結(jié)合實(shí)施例及附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的描述,但本實(shí)用新型的實(shí)施方式不限于此。
      [0013]實(shí)施例:
      [0014]一種應(yīng)用于高頻聲表面波器件劃片工藝的靜電消除結(jié)構(gòu),如圖1所示,包括晶圓和若干個(gè)高頻聲表面波器件;高頻聲表面波器件包括正電荷匯流條和負(fù)電荷匯流條,高頻聲表面波器件并排相鄰設(shè)置在該晶圓上,相鄰的兩個(gè)高頻聲表面波器件中,一高頻聲表面波器件的正電荷匯流條與另一高頻聲表面波器件的負(fù)電荷匯流條相鄰設(shè)置,且該正電荷匯流條與該負(fù)電荷匯流條之間連接第一金屬導(dǎo)線;最左端和最右端的兩個(gè)高頻聲表面波器件分別用第一金屬導(dǎo)線連接其高頻聲表面波器件內(nèi)的正電荷匯流條與負(fù)電荷匯流條。
      [0015]本實(shí)用新型,在正電荷匯流條與負(fù)電荷匯流條之間連接的第一金屬導(dǎo)線可以很好的對高頻聲表面波器件由于靜電累計(jì)的正負(fù)電荷進(jìn)行中和,這樣就不會形成靜電積累,也不會形成靜電燒傷的情況。將相鄰的兩個(gè)高頻聲表面波器件中,一高頻聲表面波器件的正電荷匯流條與另一高頻聲表面波器件的負(fù)電荷匯流條相鄰設(shè)置,這樣,方便第一金屬導(dǎo)線走線,且使用到的金屬走線較短。
      [0016]所述第一金屬導(dǎo)線設(shè)置在晶圓的表面,晶圓上劃片街區(qū)的劃片標(biāo)志的第二金屬導(dǎo)線匯集形成連接線,連接線延伸至與第一金屬導(dǎo)線連接。晶圓上劃片街區(qū)的劃片標(biāo)志是用來指示砂輪劃片機(jī)進(jìn)行劃片的,具體實(shí)施時(shí),在器件設(shè)計(jì)版圖的同時(shí),將劃片標(biāo)記進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì),在通過涂膠,顯影,鍍膜,剝離等工藝,將第一金屬導(dǎo)線設(shè)置于晶圓的表面,將原來只作為劃片標(biāo)記的第二金屬線進(jìn)行延伸,全部匯集形成連接線,并與第一金屬導(dǎo)線連接連完全連接,在進(jìn)行劃片標(biāo)記的同時(shí),也增加了靜電消除的功能。該圖形結(jié)構(gòu)可以通過單次光刻與器件光刻同時(shí)完成,也可以采用套刻的方式后添加在器件圖形上。
      [0017]最后說明的是,以上實(shí)施例僅用以說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案而非限制,盡管參照較佳實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)說明,本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解,可以對本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行修改或者等同替換,而不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的宗旨和范圍,其均應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的權(quán)利要求范圍當(dāng)中。
      【權(quán)利要求】
      1.一種應(yīng)用于高頻聲表面波器件劃片工藝的靜電消除結(jié)構(gòu),其特征在于,包括晶圓和若干個(gè)高頻聲表面波器件;高頻聲表面波器件包括正電荷匯流條和負(fù)電荷匯流條,高頻聲表面波器件并排相鄰設(shè)置在該晶圓上,相鄰的兩個(gè)高頻聲表面波器件中,一高頻聲表面波器件的正電荷匯流條與另一高頻聲表面波器件的負(fù)電荷匯流條相鄰設(shè)置,且該正電荷匯流條與該負(fù)電荷匯流條之間連接第一金屬導(dǎo)線;最左端和最右端的兩個(gè)高頻聲表面波器件分別用第一金屬導(dǎo)線連接其高頻聲表面波器件內(nèi)的正電荷匯流條與負(fù)電荷匯流條。
      2.如權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于高頻聲表面波器件劃片工藝的靜電消除結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第一金屬導(dǎo)線設(shè)置在晶圓的表面,晶圓上劃片街區(qū)的劃片標(biāo)志的第二金屬導(dǎo)線匯集形成連接線,連接線延伸至與第一金屬導(dǎo)線連接。
      【文檔編號】H01L41/053GK204155930SQ201420700143
      【公開日】2015年2月11日 申請日期:2014年11月20日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月20日
      【發(fā)明者】金中, 李磊, 李燕, 楊正兵, 劉婭, 何西良, 曾祥君, 唐代華, 曹亮 申請人:中國電子科技集團(tuán)公司第二十六研究所
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