本發(fā)明涉及太陽(yáng)能電池、電子設(shè)備及太陽(yáng)能電池的制造方法。

背景技術(shù)：

使用激光切斷金屬等板的激光加工已被廣泛使用。激光加工具備使聚光照射激光的部位和被加工物的板移動(dòng)的XY平臺(tái)。通過(guò)提高XY平臺(tái)的位置精度而能提高加工精度。并且，與蝕刻法相比，無(wú)需排液設(shè)備，不易污染環(huán)境。與沖壓機(jī)相比，無(wú)需制造模具，從而能進(jìn)行多品種的少量生產(chǎn)。

專(zhuān)利文獻(xiàn)1中公開(kāi)了使用激光形成太陽(yáng)能電池的外形的方法。根據(jù)其記載，太陽(yáng)能電池在基板上設(shè)有發(fā)電膜及透明導(dǎo)電膜。并且，對(duì)太陽(yáng)能電池的外周部照射200W以上輸出的激光，從而將外周部切斷并去除。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2010-087041號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題

當(dāng)向太陽(yáng)能電池照射激光時(shí)，太陽(yáng)能電池的原材料熔融而變成小片飛起。飛起的小片會(huì)落在太陽(yáng)能電池上。該小片因激光而變?yōu)楦邷?，因此，在其落下的地方的溫度上升而施加熱?yīng)力。當(dāng)透明導(dǎo)電膜、發(fā)電膜由于該熱而受到損傷時(shí)，太陽(yáng)能電池的性能下降。因此，希望有一種即使飛起的原材料落在太陽(yáng)能電池上也能防止發(fā)電膜及透明導(dǎo)電膜因熱受損的太陽(yáng)能電池的制造方法。

用于解決技術(shù)問(wèn)題的方案

本發(fā)明是為了解決上述技術(shù)問(wèn)題而作出，可通過(guò)以下的方式或應(yīng)用例而實(shí)現(xiàn)。

[應(yīng)用例1]

本應(yīng)用例涉及的太陽(yáng)能電池的制造方法，其特征在于，在基板上設(shè)置發(fā)電膜，在所述發(fā)電膜上重疊設(shè)置透明導(dǎo)電膜，在所述透明導(dǎo)電膜上設(shè)置厚度為1μm以上的保護(hù)膜，將激光聚光照射于所述基板并噴吹氣體而將所述基板形成為規(guī)定形狀。

根據(jù)本應(yīng)用例，在基板上設(shè)置發(fā)電膜，并在發(fā)電膜上重疊設(shè)置透明導(dǎo)電膜。并且，在透明導(dǎo)電膜上設(shè)置1μm以上的保護(hù)膜。將激光聚光照射于基板并噴吹氣體而將基板形成為規(guī)定形狀。此時(shí)，基板的原材料被激光加熱而熔解。并且，熔解的原材料因噴吹的氣體而飛起。飛起的原材料被加熱而成為熔點(diǎn)以上的溫度。當(dāng)高溫的原材料落于透明導(dǎo)電膜上時(shí)，透明導(dǎo)電膜及發(fā)電膜會(huì)受損，導(dǎo)致發(fā)電效率下降。在透明導(dǎo)電膜上設(shè)置厚度為1μm以上的保護(hù)膜。因此，即使飛起的原材料落于保護(hù)膜上，也能防止發(fā)電膜和透明導(dǎo)電膜因熱受損。

[應(yīng)用例2]

本應(yīng)用例涉及的太陽(yáng)能電池，其特征在于，具有：基板，具有熔融后固化的側(cè)面；發(fā)電膜，設(shè)置于所述基板上；透明導(dǎo)電膜，設(shè)置于所述發(fā)電膜上；以及保護(hù)膜，設(shè)置于所述透明導(dǎo)電膜上，具有1μm以上的厚度。

根據(jù)本應(yīng)用例，發(fā)電膜、透明導(dǎo)電膜及保護(hù)膜依次重疊設(shè)置于基板上。基板具有熔融后固化的側(cè)面。即，基板的形狀通過(guò)熔融基板的原材料并切斷而形成。此時(shí)，熔融的基板的原材料飛起的可能性大。飛起的原材料被加熱而成為熔點(diǎn)以上的溫度。當(dāng)高溫的原材料落于透明導(dǎo)電膜上時(shí)，透明導(dǎo)電膜及發(fā)電膜會(huì)受損，導(dǎo)致發(fā)電效率下降。在透明導(dǎo)電膜上設(shè)置有厚度為1μm以上的保護(hù)膜。因此，即使飛起的原材料落于保護(hù)膜上，也能防止透明導(dǎo)電膜因熱受損。

[應(yīng)用例3]

在上述應(yīng)用例涉及的太陽(yáng)能電池中，其特征在于，所述保護(hù)膜具有透光性。

根據(jù)本應(yīng)用例，保護(hù)膜具有透光性。因此，在形成基板的形狀后不將保護(hù)膜剝離而是保留，能夠?qū)⑵浠钣脼楸Ｗo(hù)透明導(dǎo)電膜的膜。

[應(yīng)用例4]

在上述應(yīng)用例涉及的太陽(yáng)能電池中，其特征在于，所述保護(hù)膜具有導(dǎo)電性保護(hù)膜及絕緣性保護(hù)膜。

根據(jù)本應(yīng)用例，保護(hù)膜由導(dǎo)電性保護(hù)膜及絕緣性保護(hù)膜構(gòu)成。通過(guò)將布線設(shè)置于導(dǎo)電性保護(hù)膜，從而能夠與透明導(dǎo)電膜導(dǎo)通。并且，可通過(guò)絕緣性保護(hù)膜防止靜電進(jìn)入透明導(dǎo)電膜。

[應(yīng)用例5]

在上述應(yīng)用例涉及的太陽(yáng)能電池中，其特征在于，所述絕緣性保護(hù)膜使所述透明導(dǎo)電膜的一部分露出。

根據(jù)本應(yīng)用例，絕緣性保護(hù)膜配置成使透明導(dǎo)電膜的一部分露出。因此，能夠從透明導(dǎo)電膜設(shè)置導(dǎo)電性保護(hù)膜及布線而從透明導(dǎo)電膜取電。

[應(yīng)用例6]

本應(yīng)用例涉及的電子設(shè)備具備太陽(yáng)能電池，所述太陽(yáng)能電池具有：基板，具有熔融后固化的側(cè)面；發(fā)電膜，設(shè)置于所述基板上；透明導(dǎo)電膜，設(shè)置于所述發(fā)電膜上；以及保護(hù)膜，設(shè)置于所述透明導(dǎo)電膜上，具有1μm以上的厚度。

根據(jù)本應(yīng)用例，電子設(shè)備具備太陽(yáng)能電池。發(fā)電膜、透明導(dǎo)電膜及保護(hù)膜依次重疊設(shè)置于該太陽(yáng)能電池的基板上?；寰哂腥廴诤蠊袒膫?cè)面。即，基板的形狀通過(guò)熔融基板的原材料并切斷而形成。此時(shí)，熔融的基板的原材料飛起的可能性大。飛起的原材料被加熱而成為熔點(diǎn)以上的溫度。當(dāng)高溫的原材料落于透明導(dǎo)電膜上時(shí)，透明導(dǎo)電膜及發(fā)電膜會(huì)受損，導(dǎo)致發(fā)電效率下降。在透明導(dǎo)電膜上設(shè)置有厚度為1μm以上的保護(hù)膜。因此，即使飛起的原材料落于保護(hù)膜上，也能防止透明導(dǎo)電膜因熱受損。 其結(jié)果，能夠使電子設(shè)備形成為具備可防止透明導(dǎo)電膜因熱受損的太陽(yáng)能電池的設(shè)備。

附圖說(shuō)明

圖1涉及第一實(shí)施方式，(a)為示出太陽(yáng)能電池的結(jié)構(gòu)的概略立體圖，(b)為太陽(yáng)能電池的電路圖，(c)為示出發(fā)電膜的結(jié)構(gòu)的主要部分的示意性側(cè)截面圖。

圖2的(a)為示出發(fā)電膜、透明導(dǎo)電膜、第一絕緣膜及導(dǎo)電膏的結(jié)構(gòu)的示意性俯視圖，圖2的(b)為示出發(fā)電膜、透明導(dǎo)電膜、第一絕緣膜的結(jié)構(gòu)的示意性側(cè)截面圖。

圖3為太陽(yáng)能電池的制造方法的流程圖。

圖4的(a)～(d)為用于說(shuō)明太陽(yáng)能電池的制造方法的示意圖。

圖5的(a)～(c)為用于說(shuō)明太陽(yáng)能電池的制造方法的示意圖。

圖6為用于說(shuō)明太陽(yáng)能電池的制造方法的示意圖。

圖7的(a)和(b)為用于說(shuō)明太陽(yáng)能電池的制造方法的示意圖。

圖8的(a)～(d)為用于說(shuō)明太陽(yáng)能電池的制造方法的示意圖。

圖9的(a)～(c)為用于說(shuō)明太陽(yáng)能電池的制造方法的示意圖。

圖10涉及第二實(shí)施方式，(a)為示出鐘表的結(jié)構(gòu)的示意性側(cè)面圖，(b)為示出太陽(yáng)能電池的結(jié)構(gòu)的示意性俯視圖。

圖11為太陽(yáng)能電池集合基板的示意性俯視圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明

2基板；3發(fā)電膜；4透明導(dǎo)電膜；5作為保護(hù)膜及絕緣性保護(hù)膜的第一絕緣膜；6作為導(dǎo)電性保護(hù)膜的導(dǎo)電膏；24激光；55氣體；65作為電子設(shè)備的鐘表；76太陽(yáng)能電池

具體實(shí)施方式

在本實(shí)施方式中，根據(jù)附圖來(lái)說(shuō)明太陽(yáng)能電池和太陽(yáng)能電池的制造方法的特征性示例。需要說(shuō)明的是，為了使各附圖中的各部件在各圖上為能夠識(shí)別程度的大小，使各部件的縮尺不同來(lái)加以圖示。

(第一實(shí)施方式)

根據(jù)圖1～圖9，對(duì)第一實(shí)施方式涉及的太陽(yáng)能電池進(jìn)行說(shuō)明。圖1的(a)為示出太陽(yáng)能電池的結(jié)構(gòu)的概略立體圖。如圖1的(a)所示，太陽(yáng)能電池1具備四邊形的基板2?；?為具有導(dǎo)電性的板部件即可，可以使用各種金屬板。在本實(shí)施方式中，例如，可以將不銹鋼板用于基板2。由于不銹鋼板的耐腐蝕性優(yōu)異，因此，基板2在制造工序所使用的環(huán)境中不易氧化。將基板2的厚度方向設(shè)為Z方向，將基板2的正交的兩條邊的延伸方向設(shè)為X方向及Y方向。基板2的側(cè)面為熔融后固化的面。

在基板2的+Z方向側(cè)的面依次重疊地設(shè)有發(fā)電膜3、透明導(dǎo)電膜4、作為保護(hù)膜及絕緣性保護(hù)膜的第一絕緣膜5。發(fā)電膜3為接收光而使電流流動(dòng)的具有電動(dòng)勢(shì)的膜。透明導(dǎo)電膜4為具有透光性及導(dǎo)電性的膜。透明導(dǎo)電膜4的種類(lèi)沒(méi)有特別的限定，例如，可以使用IGO(Indium-gallium oxide：銦鎵氧化物)、ITO(Indium-Tin oxide：銦錫氧化物)、ICO(Indium-cerium oxide：銦鈰氧化物)。在本實(shí)施方式中，例如，可以將ITO用于透明導(dǎo)電膜4。第一絕緣膜5為透光性的膜，其為保護(hù)透明導(dǎo)電膜4并電絕緣的膜。第一絕緣膜5的種類(lèi)沒(méi)有特別的限定，例如，可以使用丙烯酸樹(shù)脂等樹(shù)脂膜。

第一絕緣膜5由有效區(qū)域絕緣膜5a及無(wú)效區(qū)域絕緣膜5b構(gòu)成。在從Z方向觀察的俯視觀察中，有效區(qū)域絕緣膜5a位于中央，大致為四邊形。無(wú)效區(qū)域絕緣膜5b包圍有效區(qū)域絕緣膜5a而設(shè)置，為四邊形的框形狀。有效區(qū)域絕緣膜5a和無(wú)效區(qū)域絕緣膜5b之間設(shè)有規(guī)定間隔的槽部5c。第一絕緣膜5的在X方向且在-Y方向的角成為四邊形上缺口的缺口部5d。在缺口部5d處，透明導(dǎo)電膜4未被有效區(qū)域絕緣膜5a覆蓋而成為露出的形式。并且，在缺口部5d處，作為導(dǎo)電性保護(hù)膜的導(dǎo)電膏6及各向異性導(dǎo)電膜7重疊設(shè)置于透明導(dǎo)電膜4上，在各向異性導(dǎo)電膜7上設(shè)有布線部件8。在從Z方向觀察的俯視觀察中，導(dǎo)電膏6與有效區(qū)域絕緣膜5a相接配置。

導(dǎo)電膏6是使導(dǎo)電性粒子分散于樹(shù)脂材料而成的，通過(guò)使樹(shù)脂材料固化而被使用。導(dǎo)電膏的導(dǎo)電性粒子的材料沒(méi)有特別的限定，除了銀、銅等金屬之外，還可以使用被稱(chēng)為碳黑的碳粒子等。在本實(shí)施方式中，例如，將碳粒子用于導(dǎo)電膏的導(dǎo)電性粒子的材料。

各向異性導(dǎo)電膜7為各向異性導(dǎo)電膜。各向異性導(dǎo)電膜7是使導(dǎo)電性粒子分散于由樹(shù)脂材料構(gòu)成的粘接材料而成的，通過(guò)使樹(shù)脂材料固化而被使用。各向異性導(dǎo)電膜7的導(dǎo)電性粒子沒(méi)有特別的限定，例如，可以使用在聚苯乙烯等樹(shù)脂的球體上從內(nèi)側(cè)重疊有鎳層、鍍金層的直徑為3μm～5μm的球體。除此之外，還可以使用金屬粒子。

布線部件8在可撓性基板8a上設(shè)有金屬膜8b，金屬膜8b與各向異性導(dǎo)電膜7連接?？蓳闲曰?a為薄膜狀的絕緣體，可以使用被稱(chēng)為覆蓋層(カバーレイ)的聚酰亞胺膜或光阻焊膜(フォトソルダーレジスト膜)、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)等。金屬膜8b為銅箔等金屬箔，與可撓性基板8a粘接。除此之外，可以將使碳漿、銀漿等固化而成的導(dǎo)電膜用于金屬膜8b。

在基板2的-Z方向側(cè)的面設(shè)有第二絕緣膜9。第二絕緣膜9具有絕緣性即可，沒(méi)有特別的限定，可以使用樹(shù)脂材料。在本實(shí)施方式中，例如將聚酯膜用于第二絕緣膜9。

第一絕緣膜5及導(dǎo)電膏6的厚度優(yōu)選為1μm以上、50μm以下。第一絕緣膜5及導(dǎo)電膏6的厚度為1μm以上時(shí)，第一絕緣膜5及導(dǎo)電膏6作為保護(hù)發(fā)電膜3及透明導(dǎo)電膜4的保護(hù)膜而發(fā)揮作用。第一絕緣膜5及導(dǎo)電膏6的厚度為50μm以下時(shí)，能夠通過(guò)絲網(wǎng)印刷等各種印刷方法容易地設(shè)置第一絕緣膜5及導(dǎo)電膏6。其它部件的厚度沒(méi)有特別的限定，在本實(shí)施方式中，例如為以下厚度。基板2的厚度為50μm～200μm、發(fā)電膜3的厚度為300nm～700nm。透明導(dǎo)電膜4的厚度為40nm～100nm。

圖1的(b)為太陽(yáng)能電池的電路圖。如圖1的(b)所示，太陽(yáng)能電池1中，布線部件8為(+)極，基板2為(-)極。布線部件8與蓄電池10的(+)極連接?；?經(jīng)由防逆流二極管11與蓄電池10的(-)極連 接。防逆流二極管11沒(méi)有特別的限定，在本實(shí)施方式中，例如使用肖特基勢(shì)壘二極管。

蓄電池10的(+)極經(jīng)由開(kāi)關(guān)12而與負(fù)載電路13連接，蓄電池10的(-)極也與負(fù)載電路13連接。當(dāng)閉合開(kāi)關(guān)12時(shí)，電路成為向負(fù)載電路13通電的電路。

圖1的(c)為示出發(fā)電膜3的結(jié)構(gòu)的主要部分的示意性側(cè)截面圖。如圖1的(c)所示，發(fā)電膜3采用從基板2側(cè)起依次層疊有鋁層14(Al層)、氧化鋅層15(ZnO層)、半導(dǎo)體層16的結(jié)構(gòu)。光從透明導(dǎo)電膜4側(cè)(+Z側(cè))射入太陽(yáng)能電池1。透明導(dǎo)電膜4作為正極發(fā)揮作用。基板2作為負(fù)極發(fā)揮作用。

鋁層14的表面形成有凹凸，鋁層14是使從透明導(dǎo)電膜4側(cè)射入的光中的透過(guò)半導(dǎo)體層16及氧化鋅層15的光散射并反射的層。氧化鋅層15為調(diào)整半導(dǎo)體層16與鋁層14之間的光的折射率的層。

半導(dǎo)體層16沒(méi)有特別的限定，在本實(shí)施方式中，例如為3層結(jié)構(gòu)的多結(jié)型(多接合型)發(fā)電層。將該結(jié)構(gòu)稱(chēng)為三結(jié)(トリプルジャンクション)結(jié)構(gòu)。半導(dǎo)體層16采用從氧化鋅層15側(cè)起依次層疊有第一非晶鍺硅層17、第二非晶鍺硅層18、非晶硅層21的結(jié)構(gòu)。

第一非晶鍺硅層17及第二非晶鍺硅層18通過(guò)在非晶硅中摻雜鍺而形成。摻雜于第一非晶鍺硅層17和第二非晶鍺硅層18的鍺的量不同。第一非晶鍺硅層17的摻雜量比第二非晶鍺硅層18的摻雜量多。第一非晶鍺硅層17、第二非晶鍺硅層18及非晶硅層21被設(shè)定成吸收波長(zhǎng)區(qū)域各不相同。

圖2的(a)為示出發(fā)電膜、透明導(dǎo)電膜、第一絕緣膜及導(dǎo)電膏的結(jié)構(gòu)的示意性俯視圖。圖2的(b)為示出發(fā)電膜、透明導(dǎo)電膜、第一絕緣膜的結(jié)構(gòu)的示意性側(cè)截面圖。如圖2所示，透明導(dǎo)電膜4具備位于中央的四邊形的有效區(qū)域4a。在有效區(qū)域4a的周?chē)O(shè)置有槽部4c，發(fā)電膜3在槽部4c露出。在槽部4c的周?chē)O(shè)有無(wú)效區(qū)域4b。并且，無(wú)效區(qū)域4b的外形形狀和發(fā)電膜3的外形形狀與基板2的外形形狀為相同形狀。

有效區(qū)域4a被有效區(qū)域絕緣膜5a及導(dǎo)電膏6覆蓋。并且，有效區(qū)域4a的平面形狀與有效區(qū)域絕緣膜5a加上導(dǎo)電膏6的形狀為相同形狀。無(wú)效區(qū)域4b與無(wú)效區(qū)域絕緣膜5b為相同形狀，槽部4c與槽部5c為相同形狀。有效區(qū)域絕緣膜5a、無(wú)效區(qū)域絕緣膜5b及導(dǎo)電膏6為保護(hù)透明導(dǎo)電膜4的保護(hù)膜。并且，有效區(qū)域絕緣膜5a、無(wú)效區(qū)域絕緣膜5b為絕緣性保護(hù)膜，導(dǎo)電膏6為導(dǎo)電性保護(hù)膜。從而，保護(hù)膜具有絕緣性保護(hù)膜及導(dǎo)電性保護(hù)膜。

有效區(qū)域4a為作為太陽(yáng)能電池1的(+)極電極發(fā)揮作用的部分。無(wú)效區(qū)域4b有可能與基板2局部接觸，無(wú)效區(qū)域4b的電位與基板2相同或?yàn)楦?dòng)電位。槽部4c及無(wú)效區(qū)域4b的寬度沒(méi)有特別的限定，在本實(shí)施方式中，例如，槽部4c的寬度為50μm～200μm，無(wú)效區(qū)域4b的寬度為100μm～600μm。

在基板2中，將設(shè)有發(fā)電膜3的面設(shè)為第一面2a，將設(shè)有第二絕緣膜9的面設(shè)為第二面2b。第二面2b為作為太陽(yáng)能電池1的(-)極電極發(fā)揮作用的部分。

下面，參照?qǐng)D3～圖9說(shuō)明上述的太陽(yáng)能電池1的制造方法。圖3為太陽(yáng)能電池的制造方法的流程圖，圖4～圖9為用于說(shuō)明太陽(yáng)能電池的制造方法的示意圖。在圖3的流程圖中，步驟S1相當(dāng)于發(fā)電膜設(shè)置工序。該工序是將發(fā)電膜3設(shè)置于基板2上的工序。然后，轉(zhuǎn)移至步驟S2。步驟S2相當(dāng)于導(dǎo)電膜設(shè)置工序。該工序是將透明導(dǎo)電膜4設(shè)置于發(fā)電膜3上的工序。然后，轉(zhuǎn)移至步驟S3。步驟S3相當(dāng)于抗蝕膜設(shè)置工序。該工序是將第一絕緣膜5設(shè)置于透明導(dǎo)電膜4上并將第一絕緣膜5圖案化為規(guī)定形狀的工序。然后，轉(zhuǎn)移至步驟S4。步驟S4相當(dāng)于導(dǎo)電膏設(shè)置工序。該工序是將導(dǎo)電膏6設(shè)置于缺口部5d處的透明導(dǎo)電膜4上的工序。然后，轉(zhuǎn)移至步驟S5。步驟S5相當(dāng)于導(dǎo)電膜圖案化工序。該工序是將透明導(dǎo)電膜4圖案化為規(guī)定形狀的工序。然后，轉(zhuǎn)移至步驟S6。

步驟S6相當(dāng)于激光切割工序。該工序是通過(guò)激光將基板2、發(fā)電膜3、透明導(dǎo)電膜4及第一絕緣膜5切斷為規(guī)定形狀的工序。然后，轉(zhuǎn)移至步驟 S7。步驟S7相當(dāng)于絕緣膜設(shè)置工序。該工序是將第二絕緣膜9設(shè)置于基板2上的工序。然后，轉(zhuǎn)移至步驟S8。步驟S8相當(dāng)于單片化工序。該工序是將基板2分離而進(jìn)行單片化的工序。然后，轉(zhuǎn)移至步驟S9。步驟S9相當(dāng)于布線部件設(shè)置工序。該工序是將布線部件8設(shè)置于設(shè)置有導(dǎo)電膏6處的工序。通過(guò)以上工序，完成制造太陽(yáng)能電池1的工序。

下面，使用圖4～圖9，與圖3所示的步驟相對(duì)應(yīng)地詳細(xì)說(shuō)明制造方法。

圖4的(a)為與步驟S1的發(fā)電膜設(shè)置工序相對(duì)應(yīng)的圖。如圖4的(a)所示，在基板2上設(shè)置發(fā)電膜3。首先，使用鋁，使鋁層14成膜于基板2上。調(diào)整成膜條件，在鋁層14的表面形成凹凸。然后，使氧化鋅層15成膜于鋁層14上。

然后，使摻雜有鍺的非晶硅的膜成膜于氧化鋅層15上。從而，形成第一非晶鍺硅層17。進(jìn)而，將摻雜有鍺的非晶硅的膜成膜于第一非晶鍺硅層17上。從而，形成第二非晶鍺硅層18。在形成第二非晶鍺硅層18時(shí)，與第一非晶鍺硅層17相比，減少鍺的摻雜量。

然后，使非晶硅的膜成膜于第二非晶鍺硅層18上，形成非晶硅層21。通過(guò)以上而成膜發(fā)電膜3。各層的膜可使用化學(xué)氣相沉積法、或蒸鍍法、濺射法等物理氣相沉積法等來(lái)進(jìn)行制造。

圖4的(b)為與步驟S2的導(dǎo)電膜設(shè)置工序相對(duì)應(yīng)的圖。如圖4的(b)所示，在步驟S2中，在發(fā)電膜3上設(shè)置透明導(dǎo)電膜4。透明導(dǎo)電膜4由ITO構(gòu)成，將ITO的膜重疊成膜于發(fā)電膜3。ITO的膜可使用化學(xué)氣相沉積法、或蒸鍍法、濺射法等物理氣相沉積法等來(lái)進(jìn)行制造。

圖4的(c)及圖4的(d)為與步驟S3的抗蝕膜設(shè)置工序相對(duì)應(yīng)的圖。如圖4的(c)所示，在透明導(dǎo)電膜4上設(shè)置第一絕緣膜5。第一絕緣膜5使用絲網(wǎng)印刷等各種印刷方法來(lái)設(shè)定。第一絕緣膜5可以使用透光性的樹(shù)脂材料。樹(shù)脂材料包含使之為光固化性或者熱固化性的添加劑。使用光固化性的樹(shù)脂材料時(shí)，在印刷后照射光而使其固化。使用熱固化性的樹(shù)脂材料時(shí)，在印刷后加熱而使其固化。

圖4的(d)為第一絕緣膜5的圖案。在第一絕緣膜5上設(shè)置有效區(qū)域絕緣膜5a、無(wú)效區(qū)域絕緣膜5b、槽部5c及無(wú)效區(qū)域外框膜5e。無(wú)效區(qū)域外框膜5e為沿槽部5c的部位成為無(wú)效區(qū)域絕緣膜5b的膜。并且，無(wú)效區(qū)域外框膜5e包含在外周側(cè)成為框的部分。在有效區(qū)域絕緣膜5a的在X側(cè)且在-Y側(cè)的角設(shè)置缺口部5d。

圖5的(a)及圖5的(b)為與步驟S4的導(dǎo)電膏設(shè)置工序及步驟S5的導(dǎo)電膜圖案化工序相對(duì)應(yīng)的圖。如圖5的(a)及圖5的(b)所示，在步驟S4中，在位于有效區(qū)域絕緣膜5a的1個(gè)角的缺口部5d處設(shè)置導(dǎo)電膏6。導(dǎo)電膏6可以通過(guò)各種印刷方法設(shè)置，印刷方法沒(méi)有特別的限定。在本實(shí)施方式中，例如，使用絲網(wǎng)印刷法設(shè)置導(dǎo)電膏6。然后，加熱干燥導(dǎo)電膏6而使其固化。加熱溫度及干燥時(shí)間沒(méi)有特別的限定，在本實(shí)施方式中，例如，加熱溫度約為150℃，干燥時(shí)間約為30分鐘。

然后，在步驟S5中，蝕刻透明導(dǎo)電膜4。當(dāng)透明導(dǎo)電膜4為ITO或IGO時(shí)，使用草酸類(lèi)蝕刻液蝕刻透明導(dǎo)電膜4。需要說(shuō)明的是，當(dāng)基板2的第二面2b會(huì)被透明導(dǎo)電膜4用的蝕刻液腐蝕時(shí)，也可以將保護(hù)膜貼于第二面2b。然后，在蝕刻后除去保護(hù)膜。

第一絕緣膜5及導(dǎo)電膏6作為抗蝕劑發(fā)揮作用，透明導(dǎo)電膜4被蝕刻。由此，在透明導(dǎo)電膜4上形成槽部4c。并且，有效區(qū)域4a與無(wú)效區(qū)域4b及無(wú)效區(qū)域外框部4e被槽部4c分離。無(wú)效區(qū)域外框部4e是沿槽部4c的部位成為無(wú)效區(qū)域4b的部分。導(dǎo)電膏6和有效區(qū)域絕緣膜5a接觸配置。由此，透明導(dǎo)電膜4成為與導(dǎo)電膏6相對(duì)的部位和與有效區(qū)域絕緣膜5a相對(duì)的部位為一體的膜。

圖5的(c)～圖8的(b)為與步驟S6的激光切割工序?qū)?yīng)的圖。如圖5的(c)所示，在步驟S6中，設(shè)置預(yù)定切斷線22。預(yù)定切斷線22是沿?zé)o效區(qū)域4b及無(wú)效區(qū)域絕緣膜5b的外周的線。進(jìn)一步地，預(yù)定切斷線22包括用于形成定位孔的線。

圖6為示出在步驟S6使用的激光切割裝置的結(jié)構(gòu)的框圖。如圖6所示，激光切割裝置23主要由射出激光24的激光光源25、將射出的激光 24照射至工件的光學(xué)路徑部26、使工件相對(duì)于光學(xué)路徑部26相對(duì)移動(dòng)的工作臺(tái)部27、和控制動(dòng)作的控制裝置28構(gòu)成。

激光光源25為能使射出的激光24聚光于加工對(duì)象物而切斷加工對(duì)象物的光源即可。例如，在本實(shí)施方式中，采用碳酸氣的激光器作為激光光源25。激光切割裝置23能夠射出大約20W輸出的激光24。

光學(xué)路徑部26具備半反射鏡29。半反射鏡29配置于從激光光源25照射的激光24的光軸24a上。半反射鏡29反射從激光光源25照射的激光24，向光軸24b改變行進(jìn)方向。在被半反射鏡29反射的激光24所通過(guò)的光軸24b上配置有聚光部30。聚光部30在其內(nèi)部具備作為凸透鏡的聚光透鏡30a，能夠?qū)⒓す?4聚光于聚光部位24c。

聚光部30通過(guò)透鏡支撐部31而被支撐于透鏡移動(dòng)機(jī)構(gòu)32。透鏡移動(dòng)機(jī)構(gòu)32具有未圖示的直線移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使聚光部30在光軸24b方向(圖中的Z方向)上移動(dòng)，并使通過(guò)了聚光部30的激光24所聚光的聚光部位24c移動(dòng)。

直線移動(dòng)機(jī)構(gòu)例如是具備沿Z方向延伸的螺旋軸(驅(qū)動(dòng)軸)和與該螺旋軸螺合的滾珠螺母的螺旋式直線移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其驅(qū)動(dòng)軸與接收規(guī)定的脈沖信號(hào)而以規(guī)定的步(step)為單位進(jìn)行正反旋轉(zhuǎn)的未圖示的Z軸電機(jī)連結(jié)。并且，當(dāng)相當(dāng)于規(guī)定步數(shù)的驅(qū)動(dòng)信號(hào)被輸入Z軸電機(jī)時(shí)，Z軸電機(jī)進(jìn)行正轉(zhuǎn)或者反轉(zhuǎn)，透鏡移動(dòng)機(jī)構(gòu)32沿光軸24b方向前進(jìn)或者后退移動(dòng)相當(dāng)于該步數(shù)的量。

在通過(guò)聚光部30和半反射鏡29的光軸24b的延長(zhǎng)線上隔著半反射鏡29而與聚光部30相反的一側(cè)具備攝像裝置33。攝像裝置33例如組裝有未圖示的同軸落射型光源和CCD(Charge Coupled Device：電荷耦合裝置)。從該同軸落射型光源射出的可見(jiàn)光透過(guò)聚光部30而照射在工件44上。攝像裝置33可通過(guò)聚光部30和半反射鏡29而對(duì)工件44進(jìn)行攝像。

激光切割裝置23具備氣體供給裝置34。氣體供給裝置34通過(guò)配管而與噴嘴35連接。氣體供給裝置34向噴嘴35供給氮?dú)?，從噴?5將氮?dú)? 噴射于聚光部位24c。噴射的氣壓沒(méi)有特別的限定，在本實(shí)施方式中，例如約為0.4MPa。

工作臺(tái)部27具備基臺(tái)38。在基臺(tái)38的光學(xué)路徑部26側(cè)凸設(shè)有軌道39而配置，在軌道39上配置有X軸滑動(dòng)件40。X軸滑動(dòng)件40具備未圖示的直線移動(dòng)機(jī)構(gòu)，能夠沿X方向在軌道39上移動(dòng)。X軸滑動(dòng)件40的直線移動(dòng)機(jī)構(gòu)與透鏡移動(dòng)機(jī)構(gòu)32所具備的直線移動(dòng)機(jī)構(gòu)為同樣的機(jī)構(gòu)。響應(yīng)于相當(dāng)于規(guī)定步數(shù)的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，X軸滑動(dòng)件40沿X方向前進(jìn)或者后退移動(dòng)相當(dāng)于該步數(shù)的量。

軌道41凸設(shè)于X軸滑動(dòng)件40的光學(xué)路徑部26側(cè)而配置，在軌道41上配置有Y軸滑動(dòng)件42。Y軸滑動(dòng)件42具備與X軸滑動(dòng)件40同樣的直線移動(dòng)機(jī)構(gòu)，在軌道41上沿Y方向移動(dòng)。

在Y軸滑動(dòng)件42的光學(xué)路徑部26側(cè)配置有平臺(tái)43，在平臺(tái)43的上表面設(shè)置有未圖示的吸引式的夾具機(jī)構(gòu)。于是，當(dāng)載置工件44時(shí)，工件44通過(guò)夾具機(jī)構(gòu)而被定位于平臺(tái)43上表面的規(guī)定位置并被固定。

控制裝置28具備主計(jì)算機(jī)47。主計(jì)算機(jī)47的內(nèi)部具備未圖示的CPU(Central Processing Unit：中央處理器)、存儲(chǔ)器。CPU按照存儲(chǔ)于存儲(chǔ)器內(nèi)的程序軟件控制激光切割裝置23的動(dòng)作。

主計(jì)算機(jī)47具備未圖示的輸入輸出接口，與輸入裝置48、顯示裝置49、激光控制裝置50、透鏡位置控制裝置51、圖像處理裝置52、平臺(tái)控制裝置53及氣體供給控制裝置54連接。

輸入裝置48為輸入激光加工時(shí)使用的各種加工條件的數(shù)據(jù)的裝置，顯示裝置49為顯示激光加工時(shí)的各種信息的裝置。CPU按照輸入的各種加工條件和程序軟件進(jìn)行激光加工，并將加工情況顯示于顯示裝置49。操作者觀看顯示于顯示裝置49的各種信息，確認(rèn)激光加工情況來(lái)進(jìn)行操作。

激光控制裝置50為控制驅(qū)動(dòng)激光光源25的脈沖信號(hào)的脈沖寬度、脈沖周期、輸出的開(kāi)始和停止等的裝置，受主計(jì)算機(jī)47的控制信號(hào)控制。需要說(shuō)明的是，激光光源25的振蕩模式既可以為連續(xù)振蕩，也可以為脈沖振蕩。振蕩條件也沒(méi)有特別的限定。

透鏡位置控制裝置51為控制透鏡移動(dòng)機(jī)構(gòu)32的移動(dòng)、停止的裝置。在透鏡移動(dòng)機(jī)構(gòu)32中內(nèi)置有用于檢測(cè)移動(dòng)距離的未圖示的位置傳感器。透鏡位置控制裝置51通過(guò)檢測(cè)位置傳感器的輸出，從而識(shí)別聚光部30的光軸24b方向的位置。透鏡位置控制裝置51能夠向透鏡移動(dòng)機(jī)構(gòu)32發(fā)送脈沖信號(hào)，使透鏡移動(dòng)機(jī)構(gòu)32移動(dòng)至希望的位置。

圖像處理裝置52具備對(duì)從攝像裝置33輸出的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行運(yùn)算的功能。圖像處理裝置52運(yùn)算所拍攝的圖像的對(duì)比度，將對(duì)比度數(shù)據(jù)發(fā)送至主計(jì)算機(jī)47。主計(jì)算機(jī)47使聚光部30在光軸24b的方向上移動(dòng)，通過(guò)內(nèi)置的位置傳感器檢測(cè)攝像裝置33所拍攝的圖像變鮮明時(shí)的聚光部30的位置。由此，主計(jì)算機(jī)47檢測(cè)對(duì)焦位置。于是，控制裝置28照射聚光于聚光部位24c的激光24。

平臺(tái)控制裝置53進(jìn)行X軸滑動(dòng)件40和Y軸滑動(dòng)件42的位置信息的取得和移動(dòng)控制。X軸滑動(dòng)件40和Y軸滑動(dòng)件42中內(nèi)置有未圖示的位置傳感器，平臺(tái)控制裝置53通過(guò)檢測(cè)位置傳感器的輸出來(lái)檢測(cè)X軸滑動(dòng)件40和Y軸滑動(dòng)件42的位置。平臺(tái)控制裝置53取得X軸滑動(dòng)件40和Y軸滑動(dòng)件42的位置信息，并與從主計(jì)算機(jī)47指示的位置信息相比較，對(duì)應(yīng)于相當(dāng)于差的距離來(lái)驅(qū)動(dòng)X軸滑動(dòng)件40和Y軸滑動(dòng)件42移動(dòng)。平臺(tái)控制裝置53能夠驅(qū)動(dòng)X軸滑動(dòng)件40和Y軸滑動(dòng)件42，使工件44移動(dòng)至希望的位置。

平臺(tái)控制裝置53在XY方向上移動(dòng)工件44，以控制激光24照射至工件44的部位位置。圖像處理裝置52檢測(cè)聚光部30與工件44的距離?；跈z測(cè)的距離，透鏡位置控制裝置51控制聚光部30與工件44的距離。接著，激光控制裝置50控制激光光源25而發(fā)出激光24。發(fā)出的激光24通過(guò)光學(xué)路徑部26而照射在工件44上。通過(guò)進(jìn)行上述的控制，能夠使激光24聚光照射于希望的位置。

從噴嘴35噴射氮?dú)獾臍怏w55。在聚光部位24c處，工件44被加熱而熔融。于是，熔融的工件44的部件被氣體55吹起。并且，在聚光部位24c處，工件44的部件被除去而形成孔。然后，通過(guò)驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)部27而使工 件44移動(dòng)，從而能夠切斷工件44。在本實(shí)施方式中，例如，能夠通過(guò)激光切割裝置23以1m/min的加工速度切斷基板2。

如圖7的(a)所示，從第一絕緣膜5側(cè)向基板2照射激光24。由此，基板2、發(fā)電膜3、透明導(dǎo)電膜4及第一絕緣膜5熔融，熔融物56被氣體55吹起。熔融物56以熔點(diǎn)以上的溫度飛起。并且，熔融物56的一部分降落在第一絕緣膜5上。此時(shí)，第一絕緣膜5及導(dǎo)電膏6成為保護(hù)膜，保護(hù)透明導(dǎo)電膜4及發(fā)電膜3免受熔融物56破壞。第一絕緣膜5及導(dǎo)電膏6的厚度為1μm以上，因此，能夠防止透明導(dǎo)電膜4及發(fā)電膜3由于熔融物56的熱而受到損傷。

如圖7的(b)所示，在基板2上形成孔2c之后，氣體55朝向孔2c。將向基板2照射激光24而最先穿透的孔2c稱(chēng)為穿孔(ピアス孔)。由此，熔融物56通過(guò)孔2c而從基板2的第二面2b被吹向-Z方向側(cè)。在不想使熔融物56降落于基板2的-Z方向側(cè)時(shí)，可以在基板2的第二面2b設(shè)置保護(hù)膜。在形成穿孔后，使聚光部位24c沿預(yù)定切斷線22移動(dòng)。

其結(jié)果，如圖8的(a)及圖8的(b)所示，在基板2上沿預(yù)定切斷線22形成分離孔57。分離孔57的槽部5c側(cè)為相當(dāng)于無(wú)效區(qū)域絕緣膜5b及無(wú)效區(qū)域4b的部位。將分離孔57的外周側(cè)作為框體58。框體58與無(wú)效區(qū)域4b通過(guò)連接部59連接。圖中設(shè)置有2個(gè)的無(wú)效區(qū)域4b彼此也通過(guò)連接部59連接。由此，在各無(wú)效區(qū)域4b設(shè)置有4處連接部59。在分離孔57處，基板2的側(cè)面成為熔融后固化的面。

通過(guò)激光切割裝置23在框體58形成定位孔60。定位孔60相對(duì)于1個(gè)有效區(qū)域絕緣膜5a形成有2個(gè)，以定位孔60為基準(zhǔn)，能夠識(shí)別有效區(qū)域絕緣膜5a及布線部件8的位置。

圖8的(c)及圖8的(d)為與步驟S7的絕緣膜設(shè)置工序相對(duì)應(yīng)的圖。如圖8的(c)及圖8的(d)所示，在步驟S7中，在基板2的第二面2b設(shè)置第二絕緣膜9。第二絕緣膜9的與導(dǎo)電膏6相對(duì)的部位被除去，成為缺口部9a。缺口部9a成為使基板2作為(-)極的接點(diǎn)的部位。第二絕緣膜9以覆蓋缺口部9a以外的基板2的第二面2b的方式而設(shè)置。

第二絕緣膜9為涂布有粘接材料的聚酯膜。以使涂布有粘接材料的面朝向基板2的方式將第二絕緣膜9設(shè)置于基板2上。此時(shí)，使用定位孔60進(jìn)行第二絕緣膜9的位置對(duì)位。壓第二絕緣膜9而粘接第二絕緣膜9和基板2。第二絕緣膜9的粘接材料既可以通過(guò)自然干燥也可以通過(guò)加熱干燥而粘接。

圖9的(a)為與步驟S8的單片化工序相對(duì)應(yīng)的圖。如圖9的(a)所示，在步驟S8中，切斷連接部59，使太陽(yáng)能電池單元61從框體58分離。連接部59的切斷方法沒(méi)有特別的限定，在本實(shí)施方式中，例如使用振動(dòng)切斷機(jī)。通過(guò)振動(dòng)使連接部59產(chǎn)生金屬疲勞而能容易地切斷連接部59。此時(shí)，使用定位孔60識(shí)別連接部59的位置。

圖9的(b)及圖9的(c)為與步驟S9的布線部件設(shè)置工序相對(duì)應(yīng)的圖。如圖9的(b)及圖9的(c)所示，在步驟S9中，對(duì)太陽(yáng)能電池單元61設(shè)置布線部件8。首先，將各向異性導(dǎo)電膜7粘接于布線部件8的金屬膜8b。在該粘接中例如可以使用導(dǎo)電性粘接材料。

然后，在使各向異性導(dǎo)電膜7重疊于導(dǎo)電膏6并壓基板2和布線部件8的狀態(tài)下加熱各向異性導(dǎo)電膜7。在各向異性導(dǎo)電膜7中含有熱固化性的粘接材料，能夠使布線部件8粘接于太陽(yáng)能電池單元61。通過(guò)以上的工序，完成太陽(yáng)能電池1。

如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，具有以下的效果。

(1)根據(jù)本實(shí)施方式，將激光24聚光照射于基板2并噴吹氣體55，從而將基板2形成為規(guī)定的形狀。此時(shí)，基板2的原材料被激光24熔解而成為熔融物56。并且，熔融物56因噴吹的氣體55而飛起。飛起的熔融物56被加熱而成為熔點(diǎn)以上的溫度。當(dāng)高溫的熔融物56落于透明導(dǎo)電膜4上時(shí)，透明導(dǎo)電膜4及發(fā)電膜3會(huì)受損，導(dǎo)致發(fā)電效率下降。在透明導(dǎo)電膜4上設(shè)置有厚度為1μm以上的第一絕緣膜5及導(dǎo)電膏6。因此，即使飛起的原材料落于第一絕緣膜5或?qū)щ姼?上，也能防止透明導(dǎo)電膜4因熱受損。

(2)根據(jù)本實(shí)施方式，第一絕緣膜5具有透光性。因此，在形成基板2的形狀之后，不將第一絕緣膜5剝離而保留，從而能夠?qū)⑵浠钣脼楸Ｗo(hù)透明導(dǎo)電膜4的膜。

(3)根據(jù)本實(shí)施方式，保護(hù)有效區(qū)域4a及發(fā)電膜3的保護(hù)膜由導(dǎo)電膏6及第一絕緣膜5構(gòu)成。通過(guò)將布線部件8設(shè)置于導(dǎo)電膏6，從而能夠與透明導(dǎo)電膜4導(dǎo)通。并且，可通過(guò)第一絕緣膜5防止靜電進(jìn)入透明導(dǎo)電膜4。

(4)根據(jù)本實(shí)施方式，有效區(qū)域絕緣膜5a配置成使透明導(dǎo)電膜4的一部分在缺口部5d處露出。因此，能夠從透明導(dǎo)電膜4設(shè)置導(dǎo)電膏6及布線部件8而從透明導(dǎo)電膜4取電。

(5)根據(jù)本實(shí)施方式，在步驟S5的導(dǎo)電膜圖案化工序中，第一絕緣膜5及導(dǎo)電膏6在蝕刻透明導(dǎo)電膜4時(shí)具有掩模的作用。進(jìn)一步地，在步驟S6的激光切割工序中，第一絕緣膜5及導(dǎo)電膏6具有防止發(fā)電膜3及透明導(dǎo)電膜4由于飛起的熔融物56而受損的作用。因此，與分開(kāi)設(shè)置在步驟S5中使用的膜和在步驟S6中使用的膜的方法相比，能夠高產(chǎn)率地制造太陽(yáng)能電池1。

(6)根據(jù)本實(shí)施方式，太陽(yáng)能電池1通過(guò)激光切割而形成。當(dāng)通過(guò)壓模沖裁時(shí)，如果太陽(yáng)能電池1變大，則形狀精度下降。激光切割時(shí)，由于形狀精度由工作臺(tái)部27的移動(dòng)精度決定，因此，與沖裁相比，能夠高精度地形成形狀。

(第二實(shí)施方式)

下面，使用圖10及圖11說(shuō)明具備太陽(yáng)能電池的鐘表的一實(shí)施方式。圖10的(a)為示出鐘表的結(jié)構(gòu)的示意性側(cè)面圖，圖10的(b)為示出太陽(yáng)能電池的結(jié)構(gòu)的示意性俯視圖。圖10的(a)及圖10的(b)為省略了鐘表的外殼(外裝)的圖。本實(shí)施方式中的鐘表具備與第一實(shí)施方式同樣結(jié)構(gòu)的太陽(yáng)能電池。需要說(shuō)明的是，對(duì)于與第一實(shí)施方式相同的點(diǎn)，省略其說(shuō)明。

即，在本實(shí)施方式中，如圖10所示，作為電子設(shè)備的鐘表65具備機(jī)芯66，機(jī)芯66中設(shè)置有輪列67、驅(qū)動(dòng)電路68、電源部69等。機(jī)芯66表示鐘表65中除外殼及指針等以外的部分。輪列67由多個(gè)齒輪構(gòu)成，各齒輪以不同的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)。秒針軸70、分針軸71、時(shí)針軸72從輪列67突出。秒針73設(shè)置于秒針軸70，分針74設(shè)置于分針軸71。時(shí)針75設(shè)置于時(shí)針軸72。

在機(jī)芯66的時(shí)針75側(cè)，太陽(yáng)能電池76及表盤(pán)77重疊設(shè)置于機(jī)芯66上。表盤(pán)77上設(shè)置有表示時(shí)、分、秒的刻度。表盤(pán)77由透光性的材質(zhì)構(gòu)成，照射在鐘表65上的光照射至太陽(yáng)能電池76。于是，太陽(yáng)能電池76接收光而發(fā)電。太陽(yáng)能電池76通過(guò)未圖示的布線而與驅(qū)動(dòng)電路68連接。

太陽(yáng)能電池76所發(fā)的電通過(guò)驅(qū)動(dòng)電路68而通電至電源部69。電源部69具備蓄電器，電源部69存儲(chǔ)太陽(yáng)能電池76所發(fā)的電。驅(qū)動(dòng)電路68設(shè)置有未圖示的電機(jī)，驅(qū)動(dòng)電路68驅(qū)動(dòng)電機(jī)。此時(shí)，驅(qū)動(dòng)電路68使用存儲(chǔ)于電源部69的電。輪列67內(nèi)的齒輪通過(guò)電機(jī)而旋轉(zhuǎn)，秒針軸70、分針軸71及時(shí)針軸72旋轉(zhuǎn)。其結(jié)果，秒針73、分針74及時(shí)針75旋轉(zhuǎn)。

如圖10的(b)所示，太陽(yáng)能電池76具有第一太陽(yáng)能電池76a及第二太陽(yáng)能電池76b，第一太陽(yáng)能電池76a和第二太陽(yáng)能電池76b通過(guò)布線部件78而串聯(lián)連接。

太陽(yáng)能電池76與第一實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池1為相同結(jié)構(gòu)。太陽(yáng)能電池76具備基板2，在基板2的第一面2a設(shè)置有發(fā)電膜3及透明導(dǎo)電膜4。在基板2設(shè)置有厚度為1μm以上的第一絕緣膜5及導(dǎo)電膏6。

圖11為太陽(yáng)能電池集合基板的示意性俯視圖，其為用于說(shuō)明步驟S6的激光切割工序的示意圖。如圖11所示，太陽(yáng)能電池集合基板79具備框體80。在太陽(yáng)能電池集合基板79上形成有6個(gè)第一太陽(yáng)能電池76a及第二太陽(yáng)能電池76b。第一太陽(yáng)能電池76a通過(guò)連接部81與框體80連接，第二太陽(yáng)能電池76b也通過(guò)連接部81與框體80連接。第一太陽(yáng)能電池76a和第二太陽(yáng)能電池76b彼此通過(guò)連接部81而連接。

太陽(yáng)能電池集合基板79與第一實(shí)施方式同樣地，通過(guò)激光切割裝置23形成孔76c，孔76c形成第一太陽(yáng)能電池76a的外周形狀及第二太陽(yáng)能電池76b的外周形狀。并且，在基板2上設(shè)置有厚度1μm以上的第一絕緣膜5及導(dǎo)電膏6。從而，在被激光24熔融的熔融物56飛起而著落于聚光部位24c的周?chē)鷷r(shí)，發(fā)電膜3及透明導(dǎo)電膜4也不會(huì)受到損傷。因此，太陽(yáng)能電池76成為高品質(zhì)發(fā)電的電池。其結(jié)果，鐘表65可形成為具備能夠防止發(fā)電膜3及透明導(dǎo)電膜4因熱受損的太陽(yáng)能電池76的電子設(shè)備。

需要說(shuō)明的是，本實(shí)施方式不限于上述實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在本發(fā)明技術(shù)思想的范圍內(nèi)實(shí)施各種變更或改良。下面描述變形例。

(變形例1)

在前述第一實(shí)施方式中，由長(zhǎng)方形的基板2形成太陽(yáng)能電池1?；?也可以為長(zhǎng)的卷材。能夠高效地將基板2供給至制造裝置。此外，卷材也稱(chēng)為帶材或者環(huán)形材。

(變形例2)

在前述第一實(shí)施方式中，半導(dǎo)體層16為3層結(jié)構(gòu)的多結(jié)型發(fā)電層。半導(dǎo)體層16是通過(guò)光發(fā)電的層即可，也可以應(yīng)用各種pn結(jié)(接合)、pin結(jié)(接合)。

(變形例3)

在前述第一實(shí)施方式中，在步驟S8的單片化工序之后進(jìn)行步驟S9的布線部件設(shè)置工序。但不限于此，也可以在步驟S9的布線部件設(shè)置工序之后進(jìn)行步驟S8的單片化工序。由于太陽(yáng)能電池單元61連在框體58上，因此，可以不接觸太陽(yáng)能電池單元61而經(jīng)由框體58把持太陽(yáng)能電池單元61來(lái)使其移動(dòng)。

(變形例4)

在前述第一實(shí)施方式中，在通過(guò)槽部4c及槽部5c使發(fā)電膜3露出的狀態(tài)下進(jìn)行步驟S6的激光切割工序。也可以在步驟S5的導(dǎo)電膜圖案化工序與步驟S6的激光切割工序之間用絕緣膜填埋槽部4c及槽部5c。由此，能夠在槽部4c處防止發(fā)電膜3及透明導(dǎo)電膜4受到損傷。

(變形例5)

在前述第二實(shí)施方式中，示出了具備太陽(yáng)能電池76的鐘表65的示例?？梢栽谂鋫涮?yáng)能電池的全部電子設(shè)備中設(shè)置通過(guò)在將第一絕緣膜5及導(dǎo)電膏6設(shè)置于基板2的第一面2a側(cè)的狀態(tài)下進(jìn)行激光切割而形成的太陽(yáng)能電池。其結(jié)果，能夠使電子設(shè)備成為具備高品質(zhì)、高產(chǎn)率地形成的太陽(yáng)能電池的設(shè)備。例如，可以將與上述太陽(yáng)能電池1相同制造方法的太陽(yáng)能電池設(shè)置于便攜電話、萬(wàn)步計(jì)(注冊(cè)商標(biāo))、收音機(jī)、電視、數(shù)碼相機(jī)、攝像機(jī)、溫度計(jì)等電子設(shè)備中。