技術總結
本發(fā)明提供一種用于相變存儲器的相變材料及其制備方法，用于相變存儲器的相變材料的化學通式為Sc100-x-y-zGexSbyTez，其中，0≤x≤60，0≤y≤90，0＜z≤65，0＜100-x-y-z＜100。本發(fā)明的可用于相變存儲的相變材料，具有反復相變的能力；Sc100-x-y-zGexSbyTez具有高阻和低阻兩種不同阻值的狀態(tài)，且高阻值態(tài)與低阻值態(tài)之間可以通過施加脈沖電信號實現(xiàn)可逆轉換，滿足相變存儲器存儲材料的基本要求，是一種新型的存儲材料；材料的熱穩(wěn)定性、相變速度以及疲勞循環(huán)特性得到了提高；可采用脈沖電壓或脈沖激光驅動相變材料在不同的結構狀態(tài)之間發(fā)生可逆轉變，同時使相變材料的性能發(fā)生可逆變化，從而實現(xiàn)相變存儲器的信息存儲。

技術研發(fā)人員：丁科元;饒峰;王勇;宋志棠
受保護的技術使用者：中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所
文檔號碼：201510697470
技術研發(fā)日：2015.10.23
技術公布日：2017.05.03