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      OLED顯示屏及其光學(xué)補(bǔ)償層的制作方法與流程

      文檔序號(hào):11252827閱讀:1520來(lái)源:國(guó)知局
      OLED顯示屏及其光學(xué)補(bǔ)償層的制作方法與流程

      本發(fā)明涉及oled顯示技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種oled顯示屏及其光學(xué)補(bǔ)償層的制作方法。



      背景技術(shù):

      oled是下一代新型顯示技術(shù)和照明技術(shù),應(yīng)用前景巨大。

      在amoled顯示屏的像素結(jié)構(gòu)中,每個(gè)子像素都依次包括陽(yáng)極層、空穴注入層、空穴傳輸層、發(fā)光層、電子傳輸層、電子注入層以及陰極層。為簡(jiǎn)單起見(jiàn),oled器件結(jié)構(gòu)如圖3給出。根據(jù)頂發(fā)光或底發(fā)光的要求,可以使用電子傳輸層(etl)或空穴傳輸層(htl)或空穴注入層(hil)作為光學(xué)補(bǔ)償層,用來(lái)調(diào)節(jié)微腔效應(yīng)、提高器件效率。定義紅色子像素的光學(xué)補(bǔ)償層的厚度為rh、綠色子像素的光學(xué)補(bǔ)償層的厚度gh、藍(lán)色子像素的光學(xué)補(bǔ)償層的厚度為bh。

      一般地,要求rh>gh>bh。

      傳統(tǒng)的已經(jīng)量產(chǎn)的中小尺寸amoled采用“紅色子像素、綠色子像素和藍(lán)色子像素依次相鄰”(rgbsidebyside)的蒸鍍技術(shù)。以下結(jié)構(gòu)以頂發(fā)光的amoled顯示屏為例進(jìn)行說(shuō)明,假設(shè)采用空穴傳輸層(htl)作為光學(xué)補(bǔ)償層。參考圖1,為了給這種像素排列結(jié)構(gòu)蒸鍍光學(xué)補(bǔ)償層,通常是采用如下的方法。

      首先,采用共通金屬掩膜板(commonmetalmask,cmm)蒸鍍厚度為a+c的第一層光學(xué)補(bǔ)償層材料。該第一層光學(xué)補(bǔ)償層材料同時(shí)覆蓋紅色子像素、綠色子像素和藍(lán)色子像素。

      接著,采用精細(xì)金屬掩膜板(finemetalmask,fmm)蒸鍍厚度為b的第二層光學(xué)補(bǔ)償層材料。該第二層光學(xué)補(bǔ)償層材料僅覆蓋紅色子像素。

      最后,采用精細(xì)金屬掩膜板(finemetalmask,fmm)蒸鍍厚度為b-a的第三層光學(xué)補(bǔ)償層材料。該第三層光學(xué)補(bǔ)償層材料僅覆蓋綠色子像素。

      上述方法形成的光學(xué)補(bǔ)償層中:紅色子像素的發(fā)光材料層上覆蓋的厚度為a+b+c、綠色子像素的發(fā)光材料層上覆蓋的厚度為b+c、藍(lán)色子像素的發(fā)光材料 層上覆蓋的厚度為a+c。這里要求b>a。這樣就滿足了上述rh>gh>bh的要求。

      可以看到,在上述方法的后兩個(gè)步驟中,每一次蒸鍍都是采用精細(xì)金屬掩膜板對(duì)一個(gè)子像素進(jìn)行蒸鍍。那么精細(xì)金屬掩膜板的開(kāi)孔大小就是與子像素的蒸鍍面積大小相同。當(dāng)需要為更高分辨率的顯示屏制作光學(xué)補(bǔ)償層時(shí),精細(xì)金屬掩膜板的開(kāi)孔就更小。

      然而,隨著精細(xì)金屬掩膜板開(kāi)孔的變小,其對(duì)有機(jī)材料浪費(fèi)率越來(lái)越大,不利于amoled顯示屏成本的降低。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      基于此,有必要提供一種oled顯示屏的光學(xué)補(bǔ)償層的制作方法,其能夠提高材料利用率。

      此外,也提供一種oled顯示屏的制作方法。

      一種oled顯示屏的光學(xué)補(bǔ)償層的制作方法,用于以下像素結(jié)構(gòu):每個(gè)像素單元中的綠色子像素和藍(lán)色子像素均與紅色子像素相鄰;所述方法包括如下步驟:

      采用共通金屬掩膜板蒸鍍厚度為c的第一層光學(xué)補(bǔ)償層材料;所述第一層光學(xué)補(bǔ)償層材料同時(shí)覆蓋紅色子像素、綠色子像素和藍(lán)色子像素的發(fā)光區(qū)域;

      采用精細(xì)金屬掩膜板蒸鍍厚度為b的第二層光學(xué)補(bǔ)償層材料;所述第二層光學(xué)補(bǔ)償層材料同時(shí)覆蓋紅色子像素和綠色子像素的發(fā)光區(qū)域;

      采用精細(xì)金屬掩膜板蒸鍍厚度為a的第三層光學(xué)補(bǔ)償層材料;所述第三層光學(xué)補(bǔ)償層材料同時(shí)覆蓋紅色子像素和藍(lán)色子像素的發(fā)光區(qū)域;

      其中,蒸鍍第一層光學(xué)補(bǔ)償層材料、第二層光學(xué)補(bǔ)償層材料以及第三層光學(xué)補(bǔ)償層材料的順序?yàn)槿我忭樞颉?/p>

      在其中一個(gè)實(shí)施例中,每個(gè)像素單元中的綠色子像素、紅色子像素、藍(lán)色子像素均為條形,且依次并列排列。

      在其中一個(gè)實(shí)施例中,每個(gè)像素單元中的綠色子像素、紅色子像素、藍(lán)色子像素均為塊狀,且綠色子像素和紅色子像素在第一方向上并列排列、紅色子像素和藍(lán)色子像素在第二方向上并列排列。所述第一方向和第二方向垂直。

      在其中一個(gè)實(shí)施例中,當(dāng)蒸鍍第二層光學(xué)補(bǔ)償層材料先于蒸鍍第三層光學(xué)補(bǔ)償層材料時(shí),b>a;當(dāng)蒸鍍第三層光學(xué)補(bǔ)償層材料先于蒸鍍第二層光學(xué)補(bǔ)償層材料時(shí),a>b。

      一種oled顯示屏的光學(xué)補(bǔ)償層的制作方法,用于以下像素結(jié)構(gòu):每個(gè)像素單元中的綠色子像素、紅色子像素、藍(lán)色子像素均為條形,且依次并列排列;相鄰像素單元的同色子像素相鄰;所述方法包括如下步驟:

      采用共通金屬掩膜板蒸鍍厚度為c的第一層光學(xué)補(bǔ)償層材料;所述第一層光學(xué)補(bǔ)償層材料同時(shí)覆蓋每個(gè)像素單元中的紅色子像素、綠色子像素和藍(lán)色子像素的發(fā)光區(qū)域;

      采用精細(xì)金屬掩膜板蒸鍍厚度為b的第二層光學(xué)補(bǔ)償層材料;所述第二層光學(xué)補(bǔ)償層材料同時(shí)覆蓋相鄰兩個(gè)像素單元中的紅色子像素和綠色子像素的發(fā)光區(qū)域;

      采用精細(xì)金屬掩膜板蒸鍍厚度為a的第三層光學(xué)補(bǔ)償層材料;所述第三層光學(xué)補(bǔ)償層材料同時(shí)覆蓋相鄰兩個(gè)像素單元中的紅色子像素和藍(lán)色子像素的發(fā)光區(qū)域。

      在其中一個(gè)實(shí)施例中,當(dāng)蒸鍍第二層光學(xué)補(bǔ)償層材料先于蒸鍍第三層光學(xué)補(bǔ)償層材料時(shí),b>a;當(dāng)蒸鍍第三層光學(xué)補(bǔ)償層材料先于蒸鍍第二層光學(xué)補(bǔ)償層材料時(shí),a>b。

      一種oled顯示屏的制作方法,包括形成光學(xué)補(bǔ)償層的步驟,所述形成光學(xué)補(bǔ)償層的步驟采用上述的光學(xué)補(bǔ)償層的制作方法。

      在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述顯示屏為頂發(fā)光結(jié)構(gòu)或底發(fā)光結(jié)構(gòu)。在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述光學(xué)補(bǔ)償層為空穴傳輸層、電子傳輸層或空穴注入層。

      上述oled顯示屏及其光學(xué)補(bǔ)償層的制作方法,采用精細(xì)金屬掩膜板來(lái)蒸鍍光學(xué)補(bǔ)償層時(shí),由于掩膜板的開(kāi)孔是每個(gè)子像素寬度的兩倍以上。在制作相同分辨率的oled顯示屏?xí)r,當(dāng)涉及光學(xué)補(bǔ)償層的制作,其比傳統(tǒng)方法的材料利用率更高,更節(jié)省材料。

      附圖說(shuō)明

      圖1為傳統(tǒng)的光學(xué)補(bǔ)償層的層狀結(jié)構(gòu)圖;

      圖2為oled顯示器中單個(gè)子像素的剖面圖;

      圖3為發(fā)光層的層狀結(jié)構(gòu)圖;

      圖4a為一種子像素排布結(jié)構(gòu);

      圖4b為另一種子像素排布結(jié)構(gòu);

      圖5a為第一實(shí)施例的方法中形成第一層光學(xué)補(bǔ)償層材料后的層狀圖;

      圖5b為第一實(shí)施例的方法中形成第二層光學(xué)補(bǔ)償層材料后的層狀圖;

      圖5c為第一實(shí)施例的方法中形成第三層光學(xué)補(bǔ)償層材料后的層狀圖;

      圖5d為采用圖4b的像素排布結(jié)構(gòu)形成第二層、第三層光學(xué)補(bǔ)償層材料的位置和方向示意圖;

      圖6為第二實(shí)施例的方法所采用的像素結(jié)構(gòu);

      圖7a為第二實(shí)施例的方法中形成第一層光學(xué)補(bǔ)償層材料后的層狀圖;

      圖7b為第二實(shí)施例的方法中形成第二層光學(xué)補(bǔ)償層材料后的層狀圖;

      圖7c為第二實(shí)施例的方法中形成第三層光學(xué)補(bǔ)償層材料后的層狀圖。

      具體實(shí)施方式

      以下結(jié)合附圖和實(shí)施例進(jìn)行進(jìn)一步說(shuō)明。

      首先結(jié)合圖2簡(jiǎn)單說(shuō)明oled顯示器的顯示原理。

      圖2示出了oled顯示器10的縱向剖面圖。該oled顯示器10包括基板11、驅(qū)動(dòng)層20、第一絕緣層30、第一電極40、發(fā)光層50、第二電極60以及第二絕緣層70。驅(qū)動(dòng)層20包括柵電極21、柵極絕緣層22、半導(dǎo)體層23、層間絕緣層24和引線導(dǎo)電層25。該oled顯示器10是頂發(fā)光顯示裝置,即光從第二電極60處射出。第一電極40通過(guò)設(shè)于第一絕緣層30上的通孔與引線導(dǎo)電層25電連接。第二絕緣層70上與發(fā)光層50對(duì)應(yīng)的位置設(shè)有開(kāi)口,發(fā)光層50發(fā)射的光線可透過(guò)第二電極60射出。

      當(dāng)?shù)谝浑姌O40被驅(qū)動(dòng)層20驅(qū)動(dòng)獲得正電壓時(shí),發(fā)光層50在第一電極40和第二電極60之間的部分會(huì)因?yàn)榈谝浑姌O40和第二電極60之間的電壓而激發(fā)產(chǎn)生可見(jiàn)光,根據(jù)電壓的大小,光有不同的亮度。根據(jù)發(fā)光材料的不同,光會(huì) 有不同的顏色。

      參考圖3,發(fā)光層50包括與第一電極40相鄰的空穴傳輸層41、與第二電極60相鄰的電子傳輸層61以及空穴傳輸層41和電子傳輸層61之間的發(fā)光材料層51。在頂發(fā)光結(jié)構(gòu)中,以空穴傳輸層41作為光學(xué)補(bǔ)償層,以提高出光效率。

      圖2中的結(jié)構(gòu)發(fā)出一個(gè)子像素的光。一個(gè)紅色子像素、一個(gè)綠色子像素和一個(gè)藍(lán)色子像素組成一個(gè)像素單元。

      以下提供第一實(shí)施例的光補(bǔ)償層的制作方法。該方法用于以下像素結(jié)構(gòu):每個(gè)像素單元中的綠色子像素和藍(lán)色子像素均與紅色子像素相鄰。

      該像素結(jié)構(gòu)既可以是如圖4a所示的,每個(gè)像素單元中的綠色子像素、紅色子像素、藍(lán)色子像素均為條形,且依次并列排列。

      該像素結(jié)構(gòu)也可以是如圖4b所示的,每個(gè)像素單元中的綠色子像素、紅色子像素、藍(lán)色子像素均為塊狀,且綠色子像素和紅色子像素在第一方向上并列排列、紅色子像素和藍(lán)色子像素在第二方向上并列排列。所述第一方向和第二方向可以是垂直。

      第一實(shí)施例的方法對(duì)每個(gè)像素的處理都完全相同,因此以下過(guò)程著眼于單個(gè)像素的處理過(guò)程,全部的像素在同一階段所進(jìn)行的處理都相同。并且下述過(guò)程是以圖4a所示的像素結(jié)構(gòu)為例進(jìn)行說(shuō)明。

      步驟s110:采用共通金屬掩膜板蒸鍍厚度為c的第一層光學(xué)補(bǔ)償層材料;所述第一層光學(xué)補(bǔ)償層材料同時(shí)覆蓋紅色子像素、綠色子像素和藍(lán)色子像素的發(fā)光區(qū)域。共通金屬掩膜板是開(kāi)孔較大的掩膜板,一般一個(gè)開(kāi)孔可以覆蓋3個(gè)子像素的發(fā)光區(qū)域。若設(shè)每個(gè)子像素的寬度為w,則共通金屬掩膜板是開(kāi)孔寬度為3w。經(jīng)過(guò)本步驟處理后,光學(xué)補(bǔ)償層的結(jié)構(gòu)如圖5a所示。

      步驟s120:采用精細(xì)金屬掩膜板蒸鍍厚度為b的第二層光學(xué)補(bǔ)償層材料;所述第二層光學(xué)補(bǔ)償層材料同時(shí)覆蓋紅色子像素和綠色子像素的發(fā)光區(qū)域。由于第二層光學(xué)補(bǔ)償層材料同時(shí)覆蓋兩個(gè)子像素。則采用的精細(xì)金屬掩膜板的開(kāi)孔寬度為2w。經(jīng)過(guò)本步驟處理后,光學(xué)補(bǔ)償層的結(jié)構(gòu)如圖5b所示。

      步驟s130:采用精細(xì)金屬掩膜板蒸鍍厚度為a的第三層光學(xué)補(bǔ)償層材料; 所述第三層光學(xué)補(bǔ)償層材料同時(shí)覆蓋紅色子像素和藍(lán)色子像素的發(fā)光區(qū)域。由于第三層光學(xué)補(bǔ)償層材料同時(shí)覆蓋兩個(gè)子像素。則采用的精細(xì)金屬掩膜板的開(kāi)孔寬度為2w。經(jīng)過(guò)本步驟處理后,光學(xué)補(bǔ)償層的結(jié)構(gòu)如圖5c所示。

      經(jīng)過(guò)上述處理后,紅色子像素的發(fā)光區(qū)域上的光學(xué)補(bǔ)償厚度為a+b+c,綠色子像素的發(fā)光區(qū)域上的光學(xué)補(bǔ)償厚度為b+c,藍(lán)色子像素的發(fā)光區(qū)域上的光學(xué)補(bǔ)償厚度為a+c。由于綠色子像素的光學(xué)補(bǔ)償厚度需要大于藍(lán)色子像素的光學(xué)補(bǔ)償厚度,所以要求b>a。

      上述第一實(shí)施例的方法中,由于在步驟s120和步驟s130中,采用精細(xì)金屬掩膜板來(lái)蒸鍍光學(xué)補(bǔ)償層時(shí),掩膜板的開(kāi)孔均為2w,是每個(gè)子像素寬度w的兩倍。在制作相同分辨率的oled顯示屏?xí)r,當(dāng)涉及光學(xué)補(bǔ)償層的制作,其比傳統(tǒng)方法的材料利用率更高,更節(jié)省材料。

      若采用圖4b的像素結(jié)構(gòu),制作光學(xué)補(bǔ)償層的過(guò)程與采用圖4a的像素結(jié)構(gòu)類似。只是在執(zhí)行步驟s120和步驟s130時(shí),蒸鍍兩個(gè)相鄰子像素的發(fā)光區(qū)域的光學(xué)補(bǔ)償層材料的方向和位置有所差異。參考圖5d。

      上述過(guò)程中,步驟s120和步驟s130的順序也可以更換。當(dāng)蒸鍍第二層光學(xué)補(bǔ)償層材料先于蒸鍍第三層光學(xué)補(bǔ)償層材料時(shí),b>a;當(dāng)蒸鍍第三層光學(xué)補(bǔ)償層材料先于蒸鍍第二層光學(xué)補(bǔ)償層材料時(shí),a>b。

      以下提供第二實(shí)施例的光補(bǔ)償層的制作方法。該方法用于以下像素結(jié)構(gòu):每個(gè)像素單元中的綠色子像素g、紅色子像素r、藍(lán)色子像素b均為條形,且依次并列排列;相鄰像素單元的同色子像素相鄰。如圖6所示,三個(gè)相鄰的像素單元p1、p2、p3的綠色子像素g、紅色子像素r、藍(lán)色子像素b均為條形,且依次并列排列。且像素單元p1和像素單元p2的藍(lán)色子像素b相鄰,像素單元p2和像素單元p3的綠色子像素相鄰。

      第二實(shí)施例的方法對(duì)每個(gè)像素的處理并不完全相同,每次處理中可能會(huì)同時(shí)涉及兩個(gè)相鄰像素。

      步驟s210:采用共通金屬掩膜板蒸鍍厚度為c的第一層光學(xué)補(bǔ)償層材料;所述第一層光學(xué)補(bǔ)償層材料同時(shí)覆蓋每個(gè)像素單元中的紅色子像素、綠色子像 素和藍(lán)色子像素的發(fā)光區(qū)域。共通金屬掩膜板是開(kāi)孔較大的掩膜板,一個(gè)開(kāi)孔可以覆蓋3個(gè)子像素的發(fā)光區(qū)域。若設(shè)每個(gè)子像素的寬度為w,則共通金屬掩膜板是開(kāi)孔寬度為3w。經(jīng)過(guò)本步驟處理后,光學(xué)補(bǔ)償層的結(jié)構(gòu)如圖7a所示。

      步驟s220:采用精細(xì)金屬掩膜板蒸鍍厚度為b的第二層光學(xué)補(bǔ)償層材料;所述第二層光學(xué)補(bǔ)償層材料同時(shí)覆蓋相鄰兩個(gè)像素單元中的紅色子像素和綠色子像素的發(fā)光區(qū)域。由于第二層光學(xué)補(bǔ)償層材料同時(shí)覆蓋相鄰兩個(gè)像素單元的四個(gè)子像素。則采用的精細(xì)金屬掩膜板的開(kāi)孔寬度為4w。經(jīng)過(guò)本步驟處理后,光學(xué)補(bǔ)償層的結(jié)構(gòu)如圖7b所示。

      步驟s230:采用精細(xì)金屬掩膜板蒸鍍厚度為a的第三層光學(xué)補(bǔ)償層材料;所述第三層光學(xué)補(bǔ)償層材料同時(shí)覆蓋相鄰兩個(gè)像素單元中的紅色子像素和藍(lán)色子像素的發(fā)光區(qū)域。由于第三層光學(xué)補(bǔ)償層材料同時(shí)覆蓋相鄰兩個(gè)像素單元的四個(gè)子像素。則采用的精細(xì)金屬掩膜板的開(kāi)孔寬度為4w。經(jīng)過(guò)本步驟處理后,光學(xué)補(bǔ)償層的結(jié)構(gòu)如圖7c所示。

      上述第二實(shí)施例的方法中,由于在步驟s220和步驟s230中,采用精細(xì)金屬掩膜板來(lái)蒸鍍光學(xué)補(bǔ)償層時(shí),掩膜板的開(kāi)孔均為4w,是每個(gè)子像素寬度w的四倍。在制作相同分辨率的oled顯示屏?xí)r,當(dāng)涉及光學(xué)補(bǔ)償層的制作,其比傳統(tǒng)方法的材料利用率更高,更節(jié)省材料。

      上述過(guò)程中,步驟s220和步驟s230的順序也可以更換。當(dāng)蒸鍍第二層光學(xué)補(bǔ)償層材料先于蒸鍍第三層光學(xué)補(bǔ)償層材料時(shí),b>a;當(dāng)蒸鍍第三層光學(xué)補(bǔ)償層材料先于蒸鍍第二層光學(xué)補(bǔ)償層材料時(shí),a>b。

      上述實(shí)施例的方法,可以應(yīng)用在具有相應(yīng)的像素結(jié)構(gòu)的oled顯示屏的制作過(guò)程中。結(jié)合圖2,該oled顯示屏的制作過(guò)程包括驅(qū)動(dòng)層20的制作、第一電極40的形成、發(fā)光層50的制作以及第二電極60的形成等。其中驅(qū)動(dòng)層20的制作、第一電極40的形成以及第二電極60的形成與傳統(tǒng)方法相同,在此不贅述。

      在發(fā)光層50的制作過(guò)程中,就包括了空穴傳輸層41、發(fā)光材料層51以及電子傳輸層61的形成。其中,當(dāng)以空穴傳輸層41或電子傳輸層61作為光學(xué)補(bǔ) 償層時(shí),就要采用上述實(shí)施例的光學(xué)補(bǔ)償層的制作方法。

      該oled顯示屏可以為頂發(fā)光結(jié)構(gòu),則所述光學(xué)補(bǔ)償層可以為空穴傳輸層41。

      該oled顯示屏也可以為底發(fā)光結(jié)構(gòu),則所述光學(xué)補(bǔ)償層可以為電子傳輸層61。

      以上所述實(shí)施例的各技術(shù)特征可以進(jìn)行任意的組合,為使描述簡(jiǎn)潔,未對(duì)上述實(shí)施例中的各個(gè)技術(shù)特征所有可能的組合都進(jìn)行描述,然而,只要這些技術(shù)特征的組合不存在矛盾,都應(yīng)當(dāng)認(rèn)為是本說(shuō)明書(shū)記載的范圍。

      以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本發(fā)明的幾種實(shí)施方式,其描述較為具體和詳細(xì),但并不能因此而理解為對(duì)發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是,對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō),在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下,還可以做出若干變形和改進(jìn),這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。因此,本發(fā)明專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。

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