本發(fā)明涉及用于制造熱電模塊的裝置，且更具體地，涉及一種用于制造確保結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性和功率穩(wěn)定性的熱電模塊的裝置。

背景技術(shù)：

通常，熱電模塊可構(gòu)造成包括一對熱電元件。例如，上部電極連接至熱電元件的上部，下部電極連接至熱電元件的下部，上部基板支承上部電極，并且下部基板支承下部電極?，F(xiàn)有的用于制造熱電模塊的方法將一對熱電元件設(shè)置在下部基板的下部電極與上部基板的上部電極之間。當(dāng)結(jié)合材料(例如，釬料)置于熱電元件的下端與下部電極之間以及熱電元件的上端與上部電極之間時(shí)，在加熱爐內(nèi)高溫加熱結(jié)合材料。

然而，現(xiàn)有的用于制造熱電模塊的方法具有的缺點(diǎn)在于當(dāng)所使用的釬料在熔點(diǎn)以上的溫度下經(jīng)歷從固體到液體的相變時(shí)，相應(yīng)地，熱電元件移動并因此不能穩(wěn)定地保持在固定的位置。具體地，不能順利地進(jìn)行熱電元件與電極之間的連接。換言之，熱電元件與電極之間的結(jié)合性能較弱，因而制造出具有質(zhì)量缺陷的熱電模塊。此外，現(xiàn)有的用于制造熱電模塊的方法的缺點(diǎn)包括對基板或熱電元件本身以及熱電元件與電極之間的結(jié)合部施加熱量。即，由于熱沖擊在基板或熱電元件內(nèi)發(fā)生裂痕，從而降低了熱電模塊的功率穩(wěn)定性。此外，熱電元件暴露于爐內(nèi)的高溫，并且由于高溫氧化使熱電模塊的功率性能以及熱電元件與電極之間的結(jié)合性能降低。

在本部分中公開的上述信息僅是為了增強(qiáng)對本發(fā)明背景的理解，因此其可能包含不構(gòu)成本國內(nèi)本領(lǐng)域普通技術(shù)人員已知的現(xiàn)有技術(shù)的信息。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明提供一種用于制造熱電模塊的裝置，通過設(shè)置熱電元件相對于下部電極和上部電極的位置，使熱電模塊具有改善的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性和功率穩(wěn)定性。另外，可更穩(wěn)定地保持熱電元件的位置，并可提高熱電元件與電極之間的結(jié)合性能。

根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例，一種用于制造熱電模塊的裝置，在熱電模塊中熱電元件可設(shè)置在設(shè)有下部電極的下部基板與設(shè)有上部電極的上部基板之間，該裝置可包括：可構(gòu)造成支承下部基板的第一塊體；可構(gòu)造成相對于第一塊體上下移動并且支承上部基板的第二塊體；以及可構(gòu)造成與上部電極和下部電極相關(guān)聯(lián)地定位熱電元件的夾具。

具體地，夾具可包括構(gòu)造成容納熱電元件的狹槽。夾具可包括在上下方向排列的多個(gè)夾具，并且多個(gè)夾具的狹槽可排列成以預(yù)定角度相互交叉，因此狹槽可具有相互重疊的區(qū)域。第一塊體可包括構(gòu)造成容納下部基板的安置槽。另外，第一塊體可具有構(gòu)造成在安置槽周圍引導(dǎo)夾具的安裝位置的導(dǎo)向部。第二塊體可具有構(gòu)造成容納上部基板的安置槽。

第一塊體的內(nèi)部可包括第一加熱器，并且第一加熱器可構(gòu)造成對設(shè)置在下部電極與熱電元件的下端之間的結(jié)合材料施加熱量。第二塊體的內(nèi)部可包括第二加熱器，并且第二加熱器可構(gòu)造成對置于上部電極與熱電元件的上端之間的結(jié)合材料施加熱量?？稍诘谝粔K體與第二塊體之間安裝構(gòu)造成引導(dǎo)第二塊體的上下移動的導(dǎo)向結(jié)構(gòu)。導(dǎo)向結(jié)構(gòu)可包括從第一塊體沿上下方向(例如，向上)延伸的導(dǎo)向桿和形成在第二塊體中的導(dǎo)向孔。

根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實(shí)施例，一種用于制造具有下部基板、下部電極、熱電元件、上部電極和上部基板的熱電模塊的裝置可包括：構(gòu)造成支承下部基板的第一塊體；與第一塊體的上部間隔開并且構(gòu)造成將上部基板壓向下部基板的第二塊體；可構(gòu)造成在第一塊體與第二塊體之間定位熱電元件并可保持其定位狀態(tài)的夾具；可安裝在第一塊體內(nèi)的第一加熱器；以及可安裝在第二塊體內(nèi)的第二加熱器。

夾具可包括具有沿第一方向延伸的第一狹槽的第一夾具和具有沿第二方向延伸的第二狹槽的第二夾具。第一夾具和第二夾具可排列成使第一狹槽和第二狹槽以預(yù)定角度相互交叉。第一夾具的兩端可包括可構(gòu)造成插入第二夾具的邊緣的一對第一臺階。第二夾具的兩端可包括可構(gòu)造成插入第一夾具的邊緣的一對第二臺階。

附圖說明

本發(fā)明的上述和其它目的、特征和優(yōu)點(diǎn)通過以下結(jié)合附圖進(jìn)行的詳細(xì)說明將更加顯而易見，其中：

圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的用于制造熱電模塊的裝置的示例性剖視圖；

圖2是根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的圖1的箭頭部分a的示例性放大圖；

圖3是示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的用于制造熱電模塊的裝置的夾具的示例性透視圖；

圖4是示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的用于制造熱電模塊的裝置的第一塊體的示例性透視圖；

圖5是示出已安裝下部電極的下部基板與下部電極一起安置在根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的用于制造熱電模塊的裝置的第一塊體中的狀態(tài)的示例性視圖；

圖6是示出在根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的用于制造熱電模塊的裝置中熱電元件設(shè)置在由第一塊體支承的下部基板的下部電極中的狀態(tài)的示例性視圖；

圖7是示出由根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的用于制造熱電模塊的裝置的第一夾具設(shè)置熱電元件的狀態(tài)的示例性視圖；

圖8是示出在根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的用于制造熱電模塊的裝置中由相互交叉層疊的第一夾具和第二夾具設(shè)置熱電元件的狀態(tài)的示例性視圖；

圖9是示出在根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的用于制造熱電模塊的裝置中將已安裝上部電極的上部基板安置在熱電元件的上端的過程的示例性視圖；

圖10是示出在根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的用于制造熱電模塊的裝置中安裝第二塊體的狀態(tài)的示例性透視圖；并且

圖11是示出根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實(shí)施例的用于制造熱電模塊的裝置的示例性剖視圖。

附圖中各元件的附圖標(biāo)記

10：第一塊體

11：安置槽

13：第一加熱器

18：導(dǎo)向部

20：第二塊體

21：安置槽

23：第二加熱器

25：配重

31：第一夾具

32：第二夾具

31a：第一狹槽

32a：第二狹槽

應(yīng)當(dāng)理解的是，附圖不一定按比例繪制，而是呈現(xiàn)出說明本發(fā)明的基本原理的各種示例性特征的某種簡化表示。如本文所公開的包括例如具體尺寸、方向、位置和形狀的本發(fā)明的具體設(shè)計(jì)特征，將部分地由具體期望的應(yīng)用和使用環(huán)境來確定。在附圖中，貫穿附圖的若干幅圖中，相同的附圖標(biāo)記指代本發(fā)明的相同或等效的部分。

具體實(shí)施方式

在下文中，將參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的示例性實(shí)施例。作為參考，為了說明本發(fā)明的示例性實(shí)施例而參照的附圖中所示的部件的尺寸、線條的粗細(xì)等為了便于理解可略微夸大。此外，用于說明本發(fā)明的術(shù)語是考慮到在本發(fā)明中的功能而定義的，因此可根據(jù)使用者、操作者的意圖、習(xí)慣等而改變。因此，這些術(shù)語的定義應(yīng)當(dāng)基于整個(gè)說明書的內(nèi)容來解釋。

根據(jù)本發(fā)明的各種示例性實(shí)施例的用于制造熱電模塊的裝置可構(gòu)造成制造具有改善的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性和功率穩(wěn)定性的熱電模塊1。

本文所使用的術(shù)語僅用于說明特定實(shí)施例的目的，而非旨在限制本發(fā)明。如本文所使用的，單數(shù)形式“一個(gè)”、“一種”和“該”旨在也包括復(fù)數(shù)形式，除非上下文另外明確指出。還將理解的是，詞語“包括”和/或“包含”，當(dāng)在本說明書中使用時(shí)，規(guī)定所述特征、整數(shù)、步驟、操作、元件和/或部件的存在，但不排除一個(gè)或多個(gè)其它特征、整數(shù)、步驟、操作、元件、部件和/或其群組的存在或添加。如本文所使用的，詞語“和/或”包括一個(gè)或多個(gè)相關(guān)列出項(xiàng)的任何和所有組合。例如，為了使本發(fā)明的說明清楚，無關(guān)的部分未示出，并且為了清楚，層和區(qū)域的厚度被夸大。此外，當(dāng)記載一層位于另一層或基板“上”時(shí)，該層可直接位于另一層或基板上，或者第三層可置于兩者之間。

可以理解的是，如本文所使用的術(shù)語“車輛”或“車輛的”或者其他類似術(shù)語包括一般的機(jī)動車輛，例如包括運(yùn)動型多功能車(suv)、公共汽車、卡車、各種商用車輛在內(nèi)的載客車輛，包括各種艇和船在內(nèi)的水運(yùn)工具，航空器等，并且包括混合動力車輛、電動車輛、內(nèi)燃車輛、插電式混合電動車輛、氫動力車輛和其它替代燃料車輛(例如，從石油以外的資源取得的燃料)。

圖1示出熱電模塊1的示例性實(shí)施例。熱電模塊1可包括下部基板2、設(shè)置在下部基板2的頂面的下部電極3、上部基板4、設(shè)置在上部基板4的底面的上部電極5，以及可在下部電極3與上部電極5之間交替連接的至少一對熱電元件6、7。該對熱電元件6、7可由彼此極性相反的n型半導(dǎo)體和p型半導(dǎo)體構(gòu)成。參照圖1，根據(jù)本發(fā)明的各種示例性實(shí)施例的用于制造熱電模塊的裝置可包括第一塊體10，構(gòu)造成相對于第一塊體10上下移動的第二塊體20，以及構(gòu)造成相對于下部電極3和上部電極5定位熱電元件6、7并保持其定位狀態(tài)的夾具31、32。

第一塊體10可構(gòu)造成向上支承下部基板2。特別地，如圖1和圖4中所示，第一塊體10的頂面可形成有安置槽11。如圖5中所示，第一塊體10的安置槽11可安置下部基板2以穩(wěn)定地支承下部基板2。具體地，下部基板2的頂面可通過粘接劑等預(yù)先結(jié)合至下部電極3。由此，下部基板2可具有下部電極3一體地形成在下部基板2的頂面上的結(jié)構(gòu)。

替代性地，第一塊體10的安置槽11可安置下部基板2。之后，下部基板2的頂面可通過粘接劑等結(jié)合至下部電極3。當(dāng)下部基板2安置在第一塊體10的安置槽11中時(shí)，下部基板2可支承于第一塊體10，并且熱電元件6、7可定位在下部基板2的下部電極3中。具體地，結(jié)合材料可置于下部電極3與熱電元件6、7的下端之間。接著，上部基板4可設(shè)置并一體地形成在上部電極5上。具體地，結(jié)合材料可置于上部電極5與熱電元件6、7的上端之間。因此，一對熱電元件6、7可定位在下部電極3與上部電極5之間。例如，上部電極5可與上部基板4預(yù)先結(jié)合。此外，上部基板4可形成為底面一體地設(shè)置有上部電極5的結(jié)構(gòu)。

此外，下部電極3可包括具有與熱電元件6、7的下端對應(yīng)的形狀的槽部3a。熱電元件6、7的下端可構(gòu)造成嵌入下部電極3的槽部3a。上部電極5可包括具有與熱電元件6、7的上端對應(yīng)的形狀的槽部5a。熱電元件6、7的上端可嵌入上部電極5的槽部5a。熱電元件6、7可由下部電極3的槽部3a和上部電極5的槽部5a定位。

此外，釬料等結(jié)合材料可預(yù)先涂布于下部電極3的槽部3a和上部電極5的槽部5a。熱電元件6、7的下端和上端可通過結(jié)合材料結(jié)合至下部電極3的槽部3a和上部電極5的槽部5a。

第二塊體20可構(gòu)造成在第一塊體10的上方上下移動，以向下支承上部基板4。如圖1中所示，第二塊體20的底面可包括安置槽21。因此，如圖1中所示，第二塊體20的安置槽21可安置上部基板4。例如，上部基板4和上部電極5可由第二塊體20更穩(wěn)定地支承。特別地，第二塊體20可構(gòu)造成向下朝向第一塊體10移動，因此第二塊體20可構(gòu)造成將上部基板4壓向下部基板2。

根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例，外力可施加于第二塊體20并且因此第二塊體20可構(gòu)造成按壓上部基板4。例如，具有預(yù)定重量的配重25可設(shè)置在第二塊體20的頂面上。第二塊體20可構(gòu)造成通過配重25的重量將上部基板4壓向下部基板2，以便通過結(jié)合材料將熱電元件6、7的上端和下端結(jié)合至上部電極5和下部電極3。即，熱電模塊1可確保結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性和功率穩(wěn)定性。

根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實(shí)施例，第二塊體20的自重可形成為將上部基板4壓向下部基板2，而無需單獨(dú)的配重。導(dǎo)向結(jié)構(gòu)17、27可構(gòu)造成穩(wěn)定地引導(dǎo)第二塊體20相對于第一塊體10的上下移動。導(dǎo)向結(jié)構(gòu)17、27可包括在第一塊體10中向上延伸的至少一個(gè)導(dǎo)向桿17和形成于第二塊體20中的導(dǎo)向孔27。因此，當(dāng)?shù)诙K體20相對于第一塊體10上下移動時(shí)，第二塊體20的導(dǎo)向孔27可沿第一塊體10的導(dǎo)向桿17被引導(dǎo)，并可更穩(wěn)定地引導(dǎo)其上下移動。

釬料等結(jié)合材料可置于熱電元件6、7的下端與下部電極3之間以及熱電元件6、7的上端與上部電極5之間。結(jié)合材料可被加熱至熔化，以便將熱電元件6、7的上端結(jié)合至上部電極5，同時(shí)將熱電元件6、7的下端結(jié)合至下部電極3。

第一塊體10的內(nèi)部可包括第一加熱器13，其可鄰近于安置下部基板2的第一塊體10的頂面設(shè)置。由此，熱量可施加至置于下部基板2的下部電極3與熱電元件6、7的下端之間的結(jié)合材料。因此，第一加熱器13可集中地加熱置于下部基板2的下部電極3與熱電元件6、7的下端之間的結(jié)合材料。由此可提高熱電元件6、7的下端與下部電極3之間的結(jié)合性能，并可最小化其余部分的高溫氧化。

第二塊體20的內(nèi)部可包括第二加熱器23。第二加熱器23可鄰近于安置上部基板4的第二塊體20的底面設(shè)置，并可構(gòu)造成將熱量施加至置于上部基板4的上部電極5與熱電元件6、7的上端之間的結(jié)合材料。因此，第二加熱器23可構(gòu)造成集中地加熱置于上部基板4的上部電極5與熱電元件6、7的上端之間的結(jié)合材料。由此，可提高熱電元件6、7的上端與上部電極5之間的結(jié)合性能，并可最小化其余部分的高溫氧化。

夾具31、32可構(gòu)造成將熱電元件6、7定位在第一塊體10與第二塊體20之間并保持其定位狀態(tài)。此外，夾具31、32可由陶瓷等絕緣材料制成。根據(jù)本發(fā)明的各種示例性實(shí)施例，夾具31、32可具有用于定位和保持熱電元件6、7的至少一個(gè)狹槽31a、32a。這些狹槽31a、32a可具有適當(dāng)?shù)膶挾群烷L度，以容納一對熱電元件6、7。狹槽31a、32a可形成為其第一端開放并且其第二端封閉的結(jié)構(gòu)。熱電元件6、7可在容納在夾具31、32的狹槽31a、32a內(nèi)的同時(shí)被定位和保持。例如，通過定位和保持夾具31、32，熱電元件6、7的上端可結(jié)合至上部電極5，并且熱電元件6、7的下端可結(jié)合至下部電極3。即，熱電元件6、7可連接至上部電極5和下部電極3。

根據(jù)本發(fā)明的各種示例性實(shí)施例，夾具31、32可構(gòu)造成使兩個(gè)夾具31、32排列成上下布置。各夾具31、32的狹槽31a、32a可沿不同方向延伸。因此，兩個(gè)夾具31、32的狹槽31a、32a可布置成以預(yù)定角度相互交叉。具體地，夾具31、32的狹槽31a、32a的一部分可具有相互重疊的區(qū)域。熱電元件6、7可插入各狹槽31a、32a的重疊區(qū)域，以便穩(wěn)定地定位和保持熱電元件6、7。

根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例，如圖3中所示，夾具31、32可包括具有沿第一方向x1延伸的第一狹槽31a的第一夾具31以及具有沿第二方向x2延伸的第二狹槽32a的第二夾具32。第一夾具31和第二夾具32可布置成使第一狹槽31a和第二狹槽32a以預(yù)定角度相互交叉定位，以便穩(wěn)定地定位和保持熱電元件6、7。

第一夾具31的第一狹槽31a與第二夾具32的第二狹槽32a的交叉角度可基于熱電元件6、7的形狀、布置間隔等而不同地改變。例如，如圖3中所示，第一狹槽31a和第二狹槽32a具有長方形結(jié)構(gòu)，并且當(dāng)?shù)谝环较騲1與第二方向x2相互正交時(shí)，第一夾具31的第一狹槽31a與第二夾具32的第二狹槽32a可相互正交。第一狹槽31a和第二狹槽32a可使重疊區(qū)域具有長方形形狀，并可穩(wěn)定地容納具有長方體結(jié)構(gòu)的熱電元件6、7。

同時(shí)，在第一夾具31的兩端可形成插入第二夾具32的邊緣的一對第一臺階33。例如，第一夾具31的第一臺階33可構(gòu)造成插入第二夾具32的邊緣，并且第一夾具31和第二夾具32可在定位成層疊布置時(shí)相互結(jié)合。當(dāng)?shù)谝粖A具31和第二夾具32相互結(jié)合時(shí)，可更穩(wěn)定地形成第一狹槽31a與第二狹槽32a的重疊區(qū)域，以便穩(wěn)定地定位和保持熱電元件6、7。

此外，在第二夾具32的兩端可形成插入第一夾具31的邊緣的一對第二臺階34。第二夾具32的第二臺階34可插入第一夾具31的邊緣。第二夾具32和第一夾具31可在設(shè)置成層疊布置時(shí)牢固地相互嵌合。通過第一夾具31和第二夾具32的嵌合，可更穩(wěn)定地形成第一狹槽31a與第二狹槽32a的重疊區(qū)域，以便穩(wěn)定地定位和保持熱電元件6、7。

特別地，第一臺階33可形成在第一夾具31的兩端，并且第二臺階34可形成在第二夾具32的兩端。第一臺階33和第二臺階34可設(shè)置成相互交叉的布置。當(dāng)?shù)谝粖A具31和第二夾具32設(shè)置成層疊布置時(shí)，第一夾具31的第一臺階33可插入第二夾具32的邊緣，并且第二夾具32的第二臺階34可插入第一夾具31的邊緣，以便提供第一夾具31和第二夾具32在設(shè)置成上下層疊布置時(shí)的相互結(jié)合布置。因此，可更穩(wěn)定地形成第一狹槽31a與第二狹槽32a的重疊區(qū)域并可牢固地保持其形狀。由此，可將插入重疊區(qū)域的熱電元件6、7定位，并可更穩(wěn)定地保持其定位。

此外，如圖7中所示，可在第一塊體10的安置槽11的周圍突出地形成導(dǎo)向部18。第一夾具31和/或第二夾具32相對于第一塊體10的安裝位置可構(gòu)造成由導(dǎo)向部18引導(dǎo)并可穩(wěn)定地保持其安裝位置。當(dāng)?shù)谝粖A具31和/或第二夾具32由導(dǎo)向部18定位時(shí)，可定位并可穩(wěn)定地保持熱電元件6、7。

圖4至圖10是示出使用根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的用于制造熱電模塊的裝置制造熱電模塊的過程的圖。下面將參照圖4至圖10詳細(xì)說明使用根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的用于制造熱電模塊的裝置制造熱電模塊的過程。

首先，如圖4和圖5中所示，下部基板2可設(shè)置在第一塊體10的安置槽11中。下部電極3可預(yù)先結(jié)合至下部基板2，并且當(dāng)下部基板2安置在安置槽11中時(shí)可結(jié)合于其中。接著，如圖6中所示，多個(gè)熱電元件6、7可布置在下部基板2的下部電極3中。例如，釬料等結(jié)合材料可置于下部電極3與熱電元件6、7的下端之間。如圖7中所示，第一夾具31可安裝成配合多個(gè)熱電元件6、7。然后，如圖8中所示，第二夾具32可布置(例如，層疊)在第一夾具31上。具體地，第一夾具31的第一狹槽31a和第二夾具32的第二狹槽32a可設(shè)置成以預(yù)定角度相互交叉，以便通過第一夾具31和第二夾具32保持熱電元件6、7的位置。

相反，第一夾具31和第二夾具32可設(shè)置成層疊布置，使得第一狹槽31a和第二狹槽32a能夠相互交叉以形成第一狹槽31a與第二狹槽32a的重疊區(qū)域。多個(gè)熱電元件6、7可插入重疊區(qū)域，并可定位和保持熱電元件6、7。當(dāng)下部基板2支承于第一塊體10時(shí)，在熱電元件6、7由夾具31、32定位后，如圖9中所示，安裝有上部電極5的上部基板4可設(shè)置在熱電元件6、7的上端。

接著，第二塊體20可安裝在第一塊體10上，然后第二塊體20可構(gòu)造成朝向第一塊體10按壓。置于熱電元件6、7的下端與下部電極3之間的結(jié)合材料以及置于熱電元件6、7的上端與上部電極5之間的結(jié)合材料可分別由第一加熱器13和第二加熱器23加熱。因此，熱電元件6、7可結(jié)合在下部電極3與上部電極5之間。

熱電元件6和7、上部電極5、下部電極3、上部基板4、下部基板2等可由于在制造熱電模塊1的過程中暴露于高溫而經(jīng)歷高溫氧化。因此，根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例，還可設(shè)置防止高溫氧化的抗高溫氧化單元40。

根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例，如圖1中所示，抗高溫氧化單元40可包括將氫氣(h2)、氮?dú)?n2)和氬氣(ar)等抗氧化氣體注入至第一模塊10與第二模塊20之間的腔體內(nèi)的抗氧化氣體注入部45?？寡趸瘹怏w注入部45可連接至連接管42，其中由于連接管42可構(gòu)造成和第一模塊10與第二模塊20之間的腔體連通，因此抗氧化氣體可從抗氧化氣體注入部45通過連接管42注入至第一模塊10與第二模塊20之間的腔體內(nèi)。此外，為了防止抗氧化氣體泄漏至外部，可將屏蔽壁41安裝在第一模塊10和第二模塊20的外側(cè)面上。具體地，屏蔽壁41可安裝成允許第二模塊20的上下移動。

根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實(shí)施例，如圖11中所示，抗高溫氧化單元40可包括真空抽吸部46，用于使第一模塊10與第二模塊20之間的腔體形成為真空氣氛。真空抽吸部46可連接至連接管42，當(dāng)連接管42構(gòu)造成和第一模塊10與第二模塊20之間的腔體連通時(shí)，真空抽吸部46可構(gòu)造成從第一模塊10與第二模塊20之間的腔體通過連接管42抽吸空氣等以使腔體形成為真空氣氛。此外，為了形成真空氣氛，可將屏蔽壁41安裝在第一模塊10和第二模塊20的外側(cè)面上。在這種情況下，屏蔽壁41可安裝成允許第二模塊20的上下移動。

如上所述，根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例，可通過相對于下部電極和上部電極更準(zhǔn)確地定位熱電元件而提高結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性和功率穩(wěn)定性。此外，可在熱電元件結(jié)合至下部電極和上部電極時(shí)穩(wěn)定地保持熱電元件的位置，并且特別地，可提高熱電元件與電極之間的結(jié)合性能。

在上文中，雖然已參照示例性實(shí)施例和附圖說明了本發(fā)明，但是本發(fā)明并不限于此，而是可由本發(fā)明所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員在不脫離所附權(quán)利要求中所要求的本發(fā)明的思想和范圍的前提下進(jìn)行各種修改和改變。