技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開一種基板移送裝置及基板移送方法。利用包括通過噴射氣體浮起基板的基板浮起工作臺(tái)、配置于所述基板浮起工作臺(tái)的兩側(cè)部的導(dǎo)軌及把持所述基板的第一側(cè)部及第二側(cè)部且沿所述導(dǎo)軌移動(dòng)的基板把持部件的基板移送裝置，并且所述基板把持部件具有分別將所述基板的第一側(cè)部及第二側(cè)部分為兩個(gè)以上部分把持的多個(gè)基板把持部分的情況下，所述基板把持部分能夠以預(yù)定的時(shí)間間隔把持所述基板的第一側(cè)部及第二側(cè)部的部分。本發(fā)明的基板移送裝置及基板移送方法能夠防止所述基板在基板浮起移送期間發(fā)生彎曲。

技術(shù)研發(fā)人員：具世薰;李正洙;吳昌石
受保護(hù)的技術(shù)使用者：細(xì)美事有限公司
文檔號(hào)碼：201610587450
技術(shù)研發(fā)日：2016.07.22
技術(shù)公布日：2017.02.15