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      一種平坦的LED倒裝高壓芯片的制作方法

      文檔序號(hào):12474035閱讀:443來源:國(guó)知局
      一種平坦的LED倒裝高壓芯片的制作方法與工藝

      本發(fā)明涉及LED芯片領(lǐng)域,具體涉及一種平坦的LED倒裝高壓芯片。



      背景技術(shù):

      目前,隨著科技的發(fā)展,LED芯片應(yīng)用越來越廣泛,其中倒裝的LED芯片由于可避免對(duì)發(fā)光造成干擾,愈來愈受到人們的青睞,但是,LED倒裝高壓芯片由于其結(jié)構(gòu)中包括多個(gè)串聯(lián)連接的芯片單元,制作時(shí)需在芯片單元間做深刻蝕,而做了深刻蝕以后,LED倒裝高壓芯片表面存在深達(dá)6-7um的高度差,這對(duì)錫膏焊來說極易產(chǎn)生焊接缺陷。所以急需一種方法使LED倒裝高壓芯片制備成為一種表面平坦的芯片。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      為此,本發(fā)明提出一種平坦的LED倒裝高壓芯片。

      本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:

      一種平坦的LED倒裝高壓芯片,包括襯底,所述襯底上表面設(shè)置有多個(gè)間隔設(shè)置的芯片單元,所述芯片單元上部設(shè)置有電極,所述芯片單元之間的電極通過第一金屬層串聯(lián)連接,所述LED倒裝高壓芯片上還設(shè)置有用于引出電極的第二金屬層,所述LED倒裝高壓芯片上設(shè)置有由流質(zhì)固化而成的平坦化絕緣層。

      進(jìn)一步的,所述平坦化絕緣層設(shè)置在襯底與第一金屬層之間。

      進(jìn)一步的,所述平坦化絕緣層設(shè)置在第一金屬層與第二金屬層之間。

      進(jìn)一步的,所述平坦化絕緣層同時(shí)設(shè)置在襯底與第一金屬層之間、第一金屬層與第二金屬層之間。

      進(jìn)一步的,所述平坦化絕緣層為樹脂、光刻膠、旋圖玻璃、無機(jī)透明氧化物。

      進(jìn)一步的,所述無機(jī)透明氧化物為SiO2、Al2O3、Si3N4。

      本發(fā)明的有益效果是:對(duì)比現(xiàn)有技術(shù),本發(fā)明的LED倒裝高壓芯片通過由流質(zhì)固化而成的平坦化絕緣層,平坦芯片表面高度差,增加焊接良率;同時(shí)由于對(duì)LED倒裝高壓芯片平坦化,深刻蝕角度可以做成直角,減少被刻蝕外延面積,增大發(fā)光有效面積;另外平坦化的LED倒裝高壓芯片可以不用考慮之前深刻蝕處絕緣性能不良導(dǎo)致的漏電問題,以及斜坡處的電極厚度過薄造成的電壓高等問題。

      附圖說明

      下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說明。

      圖1是本發(fā)明現(xiàn)有技術(shù)倒裝高壓芯片的結(jié)構(gòu)示意圖;

      圖2是本發(fā)明實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)示意圖;

      圖3是本發(fā)明實(shí)施例二的結(jié)構(gòu)示意圖

      圖4是本發(fā)明實(shí)施例三的結(jié)構(gòu)示意圖。

      具體實(shí)施方式

      下面結(jié)合圖1至圖4,分別對(duì)本發(fā)明的三個(gè)實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)的介紹。

      圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的一種LED倒裝高壓芯片。參照?qǐng)D1,現(xiàn)有的LED倒裝高壓芯片包括襯底1,所述襯底1上依次設(shè)置有外延層、反射層,所述外延層和反射層通過刻蝕形成多個(gè)獨(dú)立的芯片單元2,所述芯片單元2上分別設(shè)置有電極21。刻蝕后的LED倒裝高壓芯片表面凹凸不平,存在6-7um的高度差,LED倒裝高壓芯片表面再通過蒸鍍工藝依次設(shè)置有第一絕緣層4、第一金屬層22、第二絕緣層5和第二金屬層23,其中,芯片單元2上的電極通過第一金屬層21串聯(lián)連接,第二金屬層23為L(zhǎng)ED倒裝高壓芯片的引出電極。但是,通過蒸鍍工藝設(shè)置的絕緣層或金屬層無法消除LED倒裝高壓芯片表面的高度差問題,這對(duì)錫膏焊來說極易產(chǎn)生焊接缺陷,同時(shí),由于高度差的存在也影響作為電極的金屬層的性能,容易造成漏電或電壓高等問題。

      圖2為本發(fā)明的實(shí)施例一附圖。參照?qǐng)D2,本發(fā)明的LED倒裝高壓芯片包括襯底1,所述襯底1上表面設(shè)置有多個(gè)間隔設(shè)置的芯片單元2,所述芯片單元2上部設(shè)置有電極21,所述芯片單元2之間的電極通過第一金屬層22串聯(lián)連接,所述LED倒裝高壓芯片上還設(shè)置有用于引出電極的第二金屬層23,在本實(shí)施例中,所述襯底1與第一金屬層22之間、第一金屬層22與第二金屬層23之間分別設(shè)置有由流質(zhì)固化而成的平坦化絕緣層3,取代現(xiàn)有技術(shù)中通過蒸鍍形成的第一絕緣層4和第二絕緣層5,利用液態(tài)材料的流動(dòng)特性填補(bǔ)LED倒裝高壓芯片表面的不平,消除高度差及短路問題。進(jìn)一步的,所述平坦化絕緣層3可以是樹脂、光刻膠、旋圖玻璃、無機(jī)透明氧化物等物質(zhì),其中,所述樹脂不吸光,耐高溫,制備后需做一次光刻做出圖形;所述光刻膠不吸光,耐高溫,形貌為正梯形;所述旋圖玻璃旋圖在芯片表面后,需對(duì)所述旋圖玻璃平坦化后,再對(duì)所述旋圖玻璃做一次光刻做出圖形;所述無機(jī)透明氧化物絕緣性能良好,可以為SiO2、Al2O3、Si3N4,所述無機(jī)透明氧化物,最低厚度需達(dá)到反射層高度,所述無機(jī)透明氧化物制備好后,需對(duì)所述無機(jī)透明氧化物平坦化后,再對(duì)所述無機(jī)透明氧化物做一次光刻做出圖形。

      圖3為本發(fā)明的實(shí)施例二附圖。參照?qǐng)D3,所述LED倒裝芯片包括襯底1,所述襯底1上表面設(shè)置有多個(gè)間隔設(shè)置的芯片單元2,所述芯片單元2上部設(shè)置有電極21,所述芯片單元2之間的電極21通過第一金屬層22串聯(lián)連接,所述LED倒裝高壓芯片上還設(shè)置有用于引出電極21的第二金屬層23,在本實(shí)施例中,所述襯底1與第一金屬層22之間設(shè)置有由流質(zhì)固化而成的平坦化絕緣層3,取代現(xiàn)有技術(shù)中通過蒸鍍形成的第一絕緣層4,利用液態(tài)材料的流動(dòng)特性填補(bǔ)LED倒裝高壓芯片表面的不平,消除第一金屬層22與芯片單元2之間易短路的問題。

      圖4為本發(fā)明的實(shí)施例二附圖。參照?qǐng)D4,所述LED倒裝芯片包括襯底1,所述襯底1上表面設(shè)置有多個(gè)間隔設(shè)置的芯片單元2,所述芯片單元2上部設(shè)置有電極21,所述芯片單元2之間的電極21通過第一金屬層22串聯(lián)連接,所述LED倒裝高壓芯片上還設(shè)置有用于引出電極21的第二金屬層23,在本實(shí)施例中,所述第一金屬層22與第二金屬層23之間設(shè)置有由流質(zhì)固化而成的平坦化絕緣層3,取代現(xiàn)有技術(shù)中通過蒸鍍形成的第二絕緣層5,利用液態(tài)材料的流動(dòng)特性填補(bǔ)LED倒裝高壓芯片表面的不平,消除第一金屬層22與第二金屬層23之間易短路及表面的高度差問題。

      對(duì)比現(xiàn)有技術(shù),本發(fā)明的LED倒裝高壓芯片通過由流質(zhì)固化而成的平坦化絕緣層3,平坦芯片表面高度差,增加焊接良率;同時(shí)由于對(duì)LED倒裝高壓芯片平坦化,深刻蝕角度可以做成直角,減少被刻蝕外延面積,增大發(fā)光有效面積;另外平坦化的LED倒裝高壓芯片可以不用考慮之前深刻蝕處絕緣性能不良導(dǎo)致的漏電問題,以及斜坡處的電極21厚度過薄造成的電壓高等問題。

      本說明書中公開的所有特征,或公開的所有方法或過程中的步驟,除了相互排斥的特征和 / 或步驟以外,均可以以任何方式組合,除非特別敘述,均可被其他等效或具有類似目的的替代特征加以替換,即,除非特別敘述,每個(gè)特征只是一系列等效或類似特征中的一個(gè)實(shí)施例而已。

      以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已,并不用以限制本發(fā)明,凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。

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