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      一種具有寬譜廣角特性的錯(cuò)位膜層減反結(jié)構(gòu)的制作方法

      文檔序號(hào):11136662閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      1.一種具有寬譜廣角特性的錯(cuò)位膜層減反結(jié)構(gòu),其特征在于:由半導(dǎo)體基底(1)和覆蓋其上的錯(cuò)位膜層組成,所述半導(dǎo)體基底(1)上表面具有凸出的納米柱結(jié)構(gòu),所述納米柱結(jié)構(gòu)的頂部高于所述半導(dǎo)體基底(1)表面,形成錯(cuò)位高度差;所述錯(cuò)位膜層沿所述半導(dǎo)體基底(1)表面和所述納米柱結(jié)構(gòu)頂部鋪設(shè)覆蓋至少一層。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有寬譜廣角特性的錯(cuò)位膜層減反結(jié)構(gòu),其特征在于:所述錯(cuò)位膜層依次由第一錯(cuò)位膜層(2)和第二錯(cuò)位膜層(3)組成,所述第一錯(cuò)位膜層(2)覆蓋在所述半導(dǎo)體基底(1)上方,所述第二錯(cuò)位膜層(3)覆蓋在第一錯(cuò)位膜層(2)上方。

      3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的具有寬譜廣角特性的錯(cuò)位膜層減反結(jié)構(gòu),其特征在于:所述錯(cuò)位膜層的同一層的厚度均勻、材料相同;所述錯(cuò)位膜層相鄰之間各層的材料不同,位于上層的所述錯(cuò)位膜層的折射率小于位于下層的所述錯(cuò)位膜層的折射率。

      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有寬譜廣角特性的錯(cuò)位膜層減反結(jié)構(gòu),其特征在于:所述錯(cuò)位膜層可根據(jù)材料折射率不同而設(shè)置不同的厚度。

      5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有寬譜廣角特性的錯(cuò)位膜層減反結(jié)構(gòu),其特征在于:所述半導(dǎo)體基底(1)及其所具有的納米柱結(jié)構(gòu)的材料相同,均由硅材料制成。

      6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有寬譜廣角特性的錯(cuò)位膜層減反結(jié)構(gòu),其特征在于:所述的半導(dǎo)體基底(1)所具有的納米柱結(jié)構(gòu)具有一定排列方式,可以是六方陣列排列,周期陣列排列或者隨機(jī)排列。

      7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有寬譜廣角特性的錯(cuò)位膜層減反結(jié)構(gòu),其特征在于:所述納米柱結(jié)構(gòu)中的納米柱間距為300~600nm,納米柱直徑與間距的比值為0.5~0.7,納米柱高度與間距的比值為0.5~0.8。

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