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      一種TFT基板上陣列檢查測試方塊的連接測試方法與流程

      文檔序號:12274832閱讀:912來源:國知局
      一種TFT基板上陣列檢查測試方塊的連接測試方法與流程

      本發(fā)明涉及一種陣列檢查設(shè)備,具體涉及一種陣列檢查測試方塊。



      背景技術(shù):

      在陣列廠,如需對TFT基板的電性進行測試,陣列檢查設(shè)備一般通過Probe探針對基板進行加電,為確認基板是否能夠加電,測試時需要先確認測試探針與TFT基板上的陣列檢查測試方塊間的接觸狀況,進行接觸測試。

      目前8.5代線TFT基板上的陣列檢查測試方塊通常采用24個通道,方塊與方塊之間完全不連接。機種接觸測試均為單探針測試(通常測試基板產(chǎn)品Gate與COM間的電阻,電阻較為穩(wěn)定在10K內(nèi),目前參數(shù)閾值設(shè)定為100K),超過設(shè)定閾值則表明方塊與探針接觸異常,面板無法加電,設(shè)備端會報警。

      采用上述測試方式經(jīng)常會發(fā)生因TFT基板上的陣列檢查測試方塊異?;蚧瀹a(chǎn)品Gate與COM間電阻太高(超過100K),導致接觸測試電阻超過閾值,設(shè)備端報警,影響設(shè)備稼動率。此外,因部分產(chǎn)品會只存在某個方塊區(qū)域存在異常,導致設(shè)備無法對畫素區(qū)域進行加電,設(shè)備端會判定產(chǎn)品不合格,但實際產(chǎn)品在模組測試時無異常(TFT基板上的陣列檢查測試方塊會在模組被切除),這樣導致產(chǎn)品良率受損。



      技術(shù)實現(xiàn)要素:

      發(fā)明目的:本發(fā)明的目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種TFT基板上陣列檢查測試方塊的連接測試方法,降低產(chǎn)品問題對設(shè)備稼動的影響,減小因單個PAD異常造成設(shè)備對產(chǎn)品的誤判。

      技術(shù)方案:一種TFT基板上陣列檢查測試方塊的連接測試方法,若給基板畫素加電所需的信號通道數(shù)量不大于12個,將基板的測試方塊以兩個為一組連接起來;接觸測試時,測量每組兩個測試方塊之間的電阻;加電測試時,每組兩個測試方塊同時給畫素加電;

      若給基板畫素加電所需的信號通道數(shù)量大于12但不大于20個,將位于首部的兩個測試方塊進行連接,同時連接尾部的兩個測試方塊;接觸測試時,測量首尾兩組中兩個測試方塊之間的電阻;加電測試時,每組兩個測試方塊同時給畫素加電,未連接的測試方塊單獨對畫素加電。

      為了進行接觸測試,需要一個測試探針發(fā)出信號,另一個測試探針接收信號,因基板信號線設(shè)計的排列需要,當給基板畫素加電所需的信號通道數(shù)量不大于12個時,進行連接的兩個測試方塊為順序相鄰的。

      為了保證兩個測試方塊之間有充分的導電性,所述測試方塊進行連接的部位為金屬層。

      進一步,所述測試方塊之間選擇導電率較優(yōu)的金屬導線進行連接。

      有益效果:本發(fā)明對基板的測試方塊進行了連接,在接觸測試時只需測量連接的兩個方塊之間的電阻即可滿足要求,降低了因某方塊異?;虍a(chǎn)品G-C間電阻異常問題導致的設(shè)備報警,提高設(shè)備稼動,進行加電測試時對于只存在某個方塊區(qū)域存在異常的產(chǎn)品能通過另一測試方塊進行正常的加電測試,不影響產(chǎn)品的判定以及后流。

      附圖說明

      圖1為實施例1測試方塊的連接結(jié)構(gòu);

      圖2為實施例2測試方塊的連接結(jié)構(gòu);

      圖3為測試方塊的剖面圖;

      圖4為畫素區(qū)信號線連接示意圖;

      圖5為加電用測試信號示意圖。

      具體實施方式

      下面對本發(fā)明技術(shù)方案進行詳細說明,但是本發(fā)明的保護范圍不局限于所述實施例。

      實施例:

      實施例1:TFT基板上的測試方塊總共有24塊,若給基板的畫素進行加電所需的信號通道數(shù)量不大于12個,將順序相鄰的兩個方塊作為一組進行連接,如圖1所示,方塊可劃分到12個通道。連接時,選擇將方塊由下至上的第一金屬層1或第二金屬層2通過銅線進行相互連接,而不選擇ITO半導體層3進行連接,如圖3所示。

      首先,接觸測試一般通過測試兩個方塊間電阻,一個測試探針發(fā)出信號,另一個測試探針接收信號,根據(jù)兩個探針間電阻確認探針與方塊間接觸是否良好,電阻超出規(guī)格則設(shè)備報警,產(chǎn)品判定不合格。未按本實施例進行連接的方塊只能通過測試阻抗穩(wěn)定的兩個方塊間電阻進行接觸測試(一般為G-C間,電阻100K內(nèi)),如果某一個方塊異常,或者G-C間因產(chǎn)品問題導致阻抗異常都會導致設(shè)備報警,整個產(chǎn)品判定不合格。本實施例連接后的方塊,正常連接后電阻理論上都在100歐姆內(nèi),通過測試短路連接的一組方塊間電阻可以不用測試G-C間電阻(G-C間電阻沒有短路連接穩(wěn)定),降低設(shè)備報警的頻率。

      進行加電測試一般通過向測試方塊施加電壓從而對畫素進行充電,將所有的信號線通過金屬線在外圍連接到相應TFT基板上的陣列檢查測試方塊上。圖4示意了給畫素區(qū)充電的信號線,橫軸為Gate線即開關(guān)線,縱軸為Data線即信號線,圖中方塊為各個畫素。圖中所有的奇數(shù)條開關(guān)線會連接到測試方塊GE,所有的偶數(shù)條開關(guān)線會連接到測試方塊GO,所有的奇數(shù)條信號線會連接到測試方塊DE,所有的偶數(shù)條信號線會連接到測試方塊DO,其他COM、CS信號同樣會在外圍連接到測試方塊上。

      加電參考用測試信號如圖5所示,圖中橫坐標為加電時間,縱坐標為電壓,Gate_Even、Gate_Odd、Data_Even、Data_Odd為施加的測試信號名稱,Vgh分別對應為Gate高電壓及Data高電壓,Vgl為Gate低電壓電壓,Vref為0V電壓。當基板電壓圖像為綠色時,表示畫素區(qū)電壓為正常電壓8~10V。當電壓圖像為紅綠間隔時,表示外圍的測試信號無法施加到畫素區(qū)域,可能原因為外圍線路區(qū)域的信號線存在異常,基板是不合格的。

      未進行連接的方塊只能通過每個獨立的方塊給畫素加電,方塊有異常,導致畫素無法加電則基板會被判定不合格。按本實施例結(jié)構(gòu)進行連接的兩個方塊會同時給畫素加電,即使某一個方塊有異常,還可以通過另一個方塊給畫素正常加電,不會影響設(shè)備對基板的判定。

      實施例2:若給基板的畫素進行加電所需的信號通道數(shù)量大于12但不大于20個,將位于首部的兩個方塊進行短路連接,同時尾部的兩個方塊進行短路連接,如圖2所示,頭尾兩組劃分到兩個信號通道,其余單個未連接測試方塊各自占據(jù)一個信號通道。接觸測試時只需對頭尾兩組的方塊分別測量電阻即可;加電測試時,進行連接的頭尾兩組方塊可組合其他未短路連接的方塊給畫素加電,進行連接的頭尾兩組中,即使某一個方塊有異常,還可以通過另一個方塊給畫素正常加電,而位于中間位置的單個方塊按普通方式單獨對畫素加電。

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