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      一種減少微系統(tǒng)金屬界面封裝鍵合缺陷的方法與流程

      文檔序號:11100850閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.一種減少微系統(tǒng)金屬界面封裝鍵合缺陷的方法,其特征在于,包括以下步驟:

      A)向兩個器件間的金屬鍵合層施加力載荷,同時,在所述金屬鍵合層的界面間連接周期性脈沖電流,且每個周期包括兩個同幅反向電流脈沖,持續(xù)一定時間后斷開電流;

      B)改變施加于所述金屬鍵合層的力載荷的方向,同時,在所述金屬鍵合層的界面間連接周期性脈沖電流,且每個周期包括兩個同幅反向電流脈沖,持續(xù)一定時間后斷開電流;

      C)重復步驟B)。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,在步驟A)或步驟B)中,所述力載荷與所述金屬鍵合層的夾角為30°~90°,所述力載荷的大小為0.5~3Mpa。

      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,在步驟A)或步驟B)中,所述施加力載荷的時間為60~120s,所述連接周期性脈沖電流的時間為2~5s。

      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,在步驟A)或步驟B)中,所述周期性脈沖電流幅值為10~100安培,脈寬為1~2毫秒,頻率大于50赫茲。

      5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,重復步驟B)的次數(shù)為2-10次。

      6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述改變施加于所述鍵合層的力載荷的方向的角度變化不小于15°。

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