1.一種晶圓自動化涂源裝置，其特征在于：包括放片裝置、輸送帶、噴霧裝置、烘干器和收片裝置，所述放片裝置設置在輸送帶的輸入端，輸送帶上方沿輸送方向依次設有噴霧裝置和烘干器，收片裝置設置在輸送帶的輸出端，所述噴霧裝置中裝有擴散源。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種晶圓自動化涂源裝置，其特征在于：所述噴霧裝置設有一排噴嘴，所述噴嘴與輸送帶之間有夾角。
3.根據(jù)權利要求2所述的一種晶圓自動化涂源裝置，其特征在于：所述噴嘴之間間隔5mm，所述夾角為60度。
4.根據(jù)權利要求1所述的一種晶圓自動化涂源裝置，其特征在于：所述擴散源采用鉑、金液態(tài)擴散源。
5.根據(jù)權利要求1所述的一種晶圓自動化涂源裝置，其特征在于：所述烘干器采用帶強制排風的紅外線烘干器。