本實(shí)用新型涉及泛半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種水洗尾氣處理器。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體、液晶面板、光伏太陽(yáng)能等泛半導(dǎo)體制造行業(yè)，在產(chǎn)品生產(chǎn)制造過(guò)程中，會(huì)產(chǎn)生多種溶于水的有毒有害工業(yè)廢氣，目前通常是通過(guò)水洗尾氣處理器來(lái)處理此類(lèi)廢氣，使氣體中的大氣污染物濃度值滿(mǎn)足相關(guān)法律法規(guī)的要求，然后再排放到大氣。

一種典型的水洗尾氣處理器中，包括多層水洗倉(cāng)，能夠進(jìn)行多次清洗，然而，此種水洗尾氣處理器的氣體通道是直的，可以設(shè)置的水洗倉(cāng)的層數(shù)會(huì)受到空間限制。

因此，如何在保證水洗效果的同時(shí)減小水洗尾氣處理器受到的空間限制，是本領(lǐng)域技術(shù)人員目前需要解決的技術(shù)問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本實(shí)用新型的目的是提供一種水洗尾氣處理器，能夠在保證水洗效果的同時(shí)減小水洗尾氣處理器受到的空間限制。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

一種水洗尾氣處理器，包括設(shè)于殼體內(nèi)的倉(cāng)室，所述倉(cāng)室為至少三個(gè)，所述倉(cāng)室之間設(shè)有隔板，所述隔板形成折返的氣體通道并依次連通所述倉(cāng)室，第一個(gè)所述倉(cāng)室為進(jìn)氣倉(cāng)，其余所述倉(cāng)室為水洗倉(cāng)，每個(gè)所述水洗倉(cāng)的上側(cè)設(shè)有噴淋裝置，每個(gè)所述水洗倉(cāng)內(nèi)設(shè)有填料。

優(yōu)選地，所述倉(cāng)室按預(yù)設(shè)方向依次設(shè)置，且所述氣體通道為上下折返氣體通道。

優(yōu)選地，所述水洗倉(cāng)包括一級(jí)水洗倉(cāng)和二級(jí)水洗倉(cāng)，所述一級(jí)水洗倉(cāng)設(shè)于所述進(jìn)氣倉(cāng)與所述二級(jí)水洗倉(cāng)之間，所述一級(jí)水洗倉(cāng)的所述噴淋裝置接通用于接入外界水源的進(jìn)水管，所述水洗倉(cāng)的下側(cè)設(shè)有用于儲(chǔ)存所述一級(jí)水洗倉(cāng)水洗氣體后的水的儲(chǔ)水倉(cāng)，所述儲(chǔ)水倉(cāng)內(nèi)設(shè)有用于將所述儲(chǔ)水倉(cāng)中的水抽至所述二級(jí)水洗倉(cāng)的所述噴淋裝置的循環(huán)泵。

優(yōu)選地，所述二級(jí)水洗倉(cāng)包括至少三個(gè)所述水洗倉(cāng)。

優(yōu)選地，所述進(jìn)水管上設(shè)有流量開(kāi)關(guān)，所述流量開(kāi)關(guān)連接用于提示無(wú)進(jìn)水或進(jìn)水量不足的報(bào)警裝置。

優(yōu)選地，最后一個(gè)所述水洗倉(cāng)還連接有干燥倉(cāng)，排氣口設(shè)于所述干燥倉(cāng)，所述干燥倉(cāng)中設(shè)有填料。

優(yōu)選地，進(jìn)氣口和所述排氣口均設(shè)有負(fù)壓表。

優(yōu)選地，所述進(jìn)氣倉(cāng)上設(shè)有用于氮?dú)膺M(jìn)入的進(jìn)氮?dú)饪?，所述進(jìn)氮?dú)饪谠O(shè)有用于殼體內(nèi)惰性保護(hù)的浮子流量計(jì)。

優(yōu)選地，所述殼體的底部設(shè)有用于液體泄漏報(bào)警的接近開(kāi)關(guān)。

優(yōu)選地，所述填料為鮑爾環(huán)。

本實(shí)用新型提供的水洗尾氣處理器包括設(shè)于殼體內(nèi)的倉(cāng)室，倉(cāng)室為至少三個(gè)，倉(cāng)室之間設(shè)有隔板，隔板形成折返的氣體通道并依次連通倉(cāng)室，第一個(gè)倉(cāng)室為進(jìn)氣倉(cāng)，其余倉(cāng)室為水洗倉(cāng)，每個(gè)水洗倉(cāng)的上側(cè)設(shè)有噴淋裝置，每個(gè)水洗倉(cāng)內(nèi)設(shè)有填料。

在進(jìn)行水洗時(shí)，尾氣由進(jìn)氣倉(cāng)進(jìn)入，按照氣體通道依次經(jīng)過(guò)每一個(gè)水洗倉(cāng)，噴淋裝置進(jìn)行噴水，以便對(duì)尾氣進(jìn)行水洗凈化，同時(shí)，被水淋濕的填料可以有效增大氣液接觸面積，使尾氣中的有害氣體溶解在水里。

可見(jiàn)，此種水洗尾氣處理器通過(guò)折返的氣體通道的設(shè)置，充分利用了殼體內(nèi)的空間，使有限空間中用于水洗的氣體通道最長(zhǎng)化，即使在殼體較小時(shí)也可對(duì)尾氣進(jìn)行充分連續(xù)水洗凈化，減小了水洗尾氣處理器受到的空間限制；同時(shí)，至少三個(gè)倉(cāng)室之間的折返通道以及填料的設(shè)置可以保證水與尾氣的接觸時(shí)間較久，尾氣中的有害氣體能夠較充分地溶解，以保證水洗凈化的效果。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實(shí)用新型所提供水洗尾氣處理器具體實(shí)施例的剖視圖；

圖2為本實(shí)用新型所提供水洗尾氣處理器具體實(shí)施例的俯視圖。

圖1至圖2中，1為進(jìn)氣口，2為隔板，3為四次水洗倉(cāng)，4為三次水洗倉(cāng)，5為補(bǔ)氣控制閥，6為二次水洗倉(cāng)，7為一次水洗倉(cāng)，8為進(jìn)氣倉(cāng)，9為補(bǔ)氣管路，10為檢修口，11為殼體，12為液位開(kāi)關(guān)，13為流量開(kāi)關(guān)，14為填料，15為干燥倉(cāng)，16為噴淋裝置，17為補(bǔ)氣球閥，18為排氣口，19為循環(huán)泵，20為負(fù)壓壓力傳感器。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

本實(shí)用新型的核心是提供一種水洗尾氣處理器，能夠在保證水洗效果的同時(shí)減小水洗尾氣處理器受到的空間限制。

請(qǐng)參考圖1和圖2，圖1為本實(shí)用新型所提供水洗尾氣處理器具體實(shí)施例的剖視圖；圖2為本實(shí)用新型所提供水洗尾氣處理器具體實(shí)施例的俯視圖。

本實(shí)用新型所提供水洗尾氣處理器的一種具體實(shí)施例中，包括設(shè)于殼體11內(nèi)的倉(cāng)室，倉(cāng)室為至少三個(gè)，倉(cāng)室之間設(shè)有隔板2，隔板2形成折返的氣體通道并依次連通倉(cāng)室，即一個(gè)倉(cāng)室內(nèi)氣體的流動(dòng)方向與前一個(gè)或后一個(gè)倉(cāng)室內(nèi)氣體的流動(dòng)方向相反，且一個(gè)倉(cāng)室的進(jìn)氣側(cè)只連通一個(gè)倉(cāng)室，而出氣側(cè)也只連通一個(gè)倉(cāng)室，其中，第一個(gè)倉(cāng)室為進(jìn)氣倉(cāng)8，而其余的倉(cāng)室為水洗倉(cāng)，每個(gè)水洗倉(cāng)的上側(cè)設(shè)有噴淋裝置16，每個(gè)水洗倉(cāng)內(nèi)設(shè)有填料14。其中，第一個(gè)倉(cāng)室指的是氣體最先進(jìn)入的倉(cāng)室。

在進(jìn)行水洗時(shí)，尾氣由進(jìn)氣倉(cāng)8進(jìn)入，按照氣體通道依次經(jīng)過(guò)每一個(gè)水洗倉(cāng)，噴淋裝置16進(jìn)行噴水，以便對(duì)尾氣進(jìn)行水洗凈化，同時(shí)，被水淋濕的填料14可以有效增大氣液接觸面積，使尾氣中的有害氣體溶解在水里。

可見(jiàn)，此種水洗尾氣處理器通過(guò)折返的氣體通道的設(shè)置，充分利用了殼體11內(nèi)的空間，使有限空間中用于水洗的氣體通道最長(zhǎng)化，即使在殼體11較小時(shí)也可對(duì)尾氣進(jìn)行充分連續(xù)水洗凈化，減小了水洗尾氣處理器受到的空間限制；同時(shí)，至少三個(gè)倉(cāng)室之間的折返通道以及填料14的設(shè)置可以保證水與尾氣的接觸時(shí)間較久，尾氣中的有害氣體能夠較充分地溶解，以保證水洗凈化的效果。

上述實(shí)施例中，倉(cāng)室可以按預(yù)設(shè)方向依次設(shè)置，預(yù)設(shè)方向可以為殼體11的長(zhǎng)度方向、殼體11的寬度方向或者其他方向，且氣體通道為上下折返氣體通道。也就是說(shuō)，一個(gè)倉(cāng)室通過(guò)一個(gè)上邊緣、左邊緣和右邊緣均與殼體11密封且下邊緣與殼體11隔斷的隔板2形成下側(cè)氣體通道，且通過(guò)另一個(gè)下邊緣、左邊緣和右邊緣均與殼體11密封且上邊緣與殼體11隔斷的隔板2形成上側(cè)氣體通道，在水洗時(shí)，一個(gè)水洗倉(cāng)中的氣體流向與水流方向相同，相鄰的上一個(gè)或者下一個(gè)水洗倉(cāng)中的氣體流向與水流方向相反，有利于提高水洗效果。當(dāng)然，氣體通道也可以設(shè)置為左右折返氣體通道，即一個(gè)倉(cāng)室通過(guò)一個(gè)上邊緣、下邊緣以及上下邊緣之間的右邊緣均與殼體11密封連接而左邊緣與殼體11隔斷的隔板2形成左側(cè)氣體通道，而通過(guò)一個(gè)上邊緣、下邊緣以及上下邊緣之間的左邊緣均與殼體11密封連接而右邊緣與殼體11隔斷的隔板2形成右側(cè)氣體通道，以實(shí)現(xiàn)氣體折返流動(dòng)，當(dāng)然，折返氣體通道的設(shè)置方式不限于此。

上述各個(gè)實(shí)施例中，水洗倉(cāng)具體可以包括設(shè)于一級(jí)水洗倉(cāng)和二級(jí)水洗倉(cāng)，一級(jí)、二級(jí)是根據(jù)噴淋裝置16的水源而定的，每級(jí)水洗倉(cāng)的數(shù)量可以根據(jù)需要設(shè)定，一級(jí)水洗倉(cāng)設(shè)于進(jìn)氣倉(cāng)8與二級(jí)水洗倉(cāng)之間，一級(jí)水洗倉(cāng)的噴淋裝置16接通用于接入外界水源的進(jìn)水管，水洗倉(cāng)的下側(cè)設(shè)有用于儲(chǔ)存一級(jí)水洗倉(cāng)水洗氣體后的水的儲(chǔ)水倉(cāng)，儲(chǔ)水倉(cāng)內(nèi)設(shè)有用于將儲(chǔ)水倉(cāng)中的水抽至二級(jí)水洗倉(cāng)的噴淋裝置16的循環(huán)泵19，循環(huán)泵19可以使儲(chǔ)水倉(cāng)中的水循環(huán)流動(dòng)。尾氣由進(jìn)氣倉(cāng)8依次流經(jīng)一級(jí)水洗倉(cāng)和二級(jí)水洗倉(cāng)，在一級(jí)水洗倉(cāng)中進(jìn)行第一級(jí)預(yù)處理，水流向儲(chǔ)水倉(cāng)，儲(chǔ)水倉(cāng)將儲(chǔ)存的水通過(guò)循環(huán)泵19輸送至每個(gè)二級(jí)水洗倉(cāng)的噴頭，并在二級(jí)水洗倉(cāng)中進(jìn)行至少一次水洗，有利于充分利用水資源，減少水用量。當(dāng)然，噴淋裝置16的水源設(shè)置不限于此。

上述各個(gè)實(shí)施例中，二級(jí)水洗倉(cāng)具體可以包括至少三個(gè)水洗倉(cāng)，每個(gè)二級(jí)水洗倉(cāng)的水均來(lái)自?xún)?chǔ)水倉(cāng)，尾氣可以依次經(jīng)過(guò)每個(gè)水洗倉(cāng)進(jìn)行多次水洗，使流經(jīng)的工藝尾氣和水充分接觸溶解，有效去除尾氣中溶于水的有害氣體，有利于徹底水洗凈化尾氣。以設(shè)置一個(gè)一級(jí)水洗倉(cāng)、三個(gè)二級(jí)水洗倉(cāng)為例，一級(jí)水洗倉(cāng)為一次水洗倉(cāng)7，二級(jí)水洗倉(cāng)依次為二次水洗倉(cāng)6、三次水洗倉(cāng)4和四次水洗倉(cāng)3，尾氣依次經(jīng)過(guò)一次水洗倉(cāng)7、二次水洗倉(cāng)6、三次水洗倉(cāng)4和四次水洗倉(cāng)3進(jìn)行四次水洗。當(dāng)然，二級(jí)水洗倉(cāng)的數(shù)量設(shè)置不限于此。

上述各個(gè)實(shí)施例中，進(jìn)水管上可以設(shè)有流量開(kāi)關(guān)13，流量開(kāi)關(guān)13連接用于提示無(wú)進(jìn)水或進(jìn)水量不足的報(bào)警裝置，當(dāng)無(wú)進(jìn)水或進(jìn)水量不足時(shí)給出報(bào)警信號(hào)，使進(jìn)水量達(dá)到要求，保證噴淋裝置16的噴淋全覆蓋。具體地，進(jìn)水管上可以設(shè)置浮子流量計(jì)來(lái)調(diào)節(jié)水量，設(shè)置方便且價(jià)格低廉。

上述各個(gè)實(shí)施例中，最后一個(gè)水洗倉(cāng)還連接有干燥倉(cāng)15，水洗后的尾氣從最后一個(gè)水洗倉(cāng)流出后進(jìn)入干燥倉(cāng)15干燥，排氣口18設(shè)于干燥倉(cāng)15，干燥倉(cāng)15中設(shè)有填料14，使粘附在氣體表面的水霧微粒在通過(guò)填料14縫隙時(shí)被截留下來(lái)，從而保證排出殼體11的尾氣較干燥，以降低對(duì)水洗尾氣處理器后面的排風(fēng)管道的影響。

上述各個(gè)實(shí)施例中，殼體11的進(jìn)氣口1的排氣口18可以均設(shè)有負(fù)壓表，從而可以實(shí)時(shí)顯示進(jìn)氣口1和排氣口18的壓力差，便于控制。

上述各個(gè)實(shí)施例中，進(jìn)氣倉(cāng)8上可以設(shè)有用于氮?dú)膺M(jìn)入的進(jìn)氮?dú)饪?，進(jìn)氮?dú)饪谠O(shè)有用于殼體11內(nèi)惰性保護(hù)的浮子流量計(jì)。根據(jù)進(jìn)氣口1的負(fù)壓表顯示值，控制浮子流量計(jì)并調(diào)節(jié)進(jìn)入進(jìn)氣倉(cāng)8的氮?dú)饬髁?，從而?duì)殼體11內(nèi)的空氣進(jìn)行有效置換，確保殼體11內(nèi)惰性環(huán)境，使殼體11中反應(yīng)安全；同時(shí)，氮?dú)獾耐ㄈ肟梢詫?duì)工藝尾氣進(jìn)行適量稀釋和吹掃，并根據(jù)進(jìn)氣倉(cāng)8安裝的負(fù)壓壓力傳感器20的負(fù)壓值來(lái)自動(dòng)控制氮?dú)膺M(jìn)氣閥的啟閉。

上述各個(gè)實(shí)施例中，殼體11的底部可以設(shè)置有用于液體泄漏報(bào)警的接近開(kāi)關(guān)，以保證水洗的安全性，便于及時(shí)維修。

上述各個(gè)實(shí)施例中，填料14具體可以為鮑爾環(huán)，應(yīng)用較廣，便于選用。當(dāng)然，填料14也可以為階梯環(huán)或者其他填料14。

上述各個(gè)實(shí)施例中，儲(chǔ)水倉(cāng)可以安裝三個(gè)液位開(kāi)關(guān)12，通過(guò)殼體11內(nèi)部的出水口以及底部的自動(dòng)排水閥，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)儲(chǔ)水倉(cāng)的液位的有效控制。

上述各個(gè)實(shí)施例中，殼體11中可以設(shè)置補(bǔ)氣控制閥5、補(bǔ)氣管路9以及補(bǔ)氣球閥17來(lái)對(duì)殼體11內(nèi)的氣體進(jìn)行調(diào)控。

上述各個(gè)實(shí)施例中，可以上還可以設(shè)置檢修口10，便于殼體11內(nèi)部各個(gè)部件的維修。

需要說(shuō)明的是，在本實(shí)用新型的描述中，上、下、左、右等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。

本說(shuō)明書(shū)中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說(shuō)明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見(jiàn)即可。

以上對(duì)本實(shí)用新型所提供的水洗尾氣處理器進(jìn)行了詳細(xì)介紹。本文中應(yīng)用了具體個(gè)例對(duì)本實(shí)用新型的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述，以上實(shí)施例的說(shuō)明只是用于幫助理解本實(shí)用新型的方法及其核心思想。應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行若干改進(jìn)和修飾，這些改進(jìn)和修飾也落入本實(shí)用新型權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。