本實(shí)用新型涉及硅片插片清洗用裝置領(lǐng)域，具體涉及一種帶有銷柱張緊機(jī)構(gòu)的清洗花籃。

背景技術(shù)：

硅片在現(xiàn)在的芯片制作上可以算是最佳的材料，然而半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中硅片須經(jīng)嚴(yán)格的清洗。微量污染也會(huì)導(dǎo)致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì)，包括有機(jī)物和無機(jī)物。在硅片插片清洗加工過程中，硅片插入花籃后進(jìn)入清洗工段，清洗工段部分槽體內(nèi)水溫較高，同時(shí)清洗完成后需經(jīng)過高溫烘干槽，花籃上的銷柱長(zhǎng)期反復(fù)熱脹冷縮之后會(huì)有輕微變形，造成花籃左右插齒錯(cuò)位，無法進(jìn)行正常插片作業(yè)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)不足，本實(shí)用新型提供了一種帶有銷柱張緊機(jī)構(gòu)的清洗花籃，在花籃銷柱變形時(shí)可保證正常進(jìn)行插片作業(yè)。

本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問題采用的技術(shù)方案為：一種帶有銷柱張緊機(jī)構(gòu)的清洗花籃，包括置于兩個(gè)平行設(shè)置的側(cè)板之間的不銹鋼桿和銷柱，其特征在于：所述不銹鋼桿兩端固定于側(cè)板上，所述銷柱套設(shè)在不銹鋼桿上，一端固定于不銹鋼桿端部，另一端通過彈簧張緊機(jī)構(gòu)連接固定于不銹鋼桿的另一端部。

進(jìn)一步地，所述銷柱為表面等距離分布有齒溝的柱形結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步地，所述不銹鋼桿的數(shù)量為四根，對(duì)稱固定于側(cè)板之間。

進(jìn)一步地，所述側(cè)板外部設(shè)置花籃固定桿。

銷柱在使用過程中會(huì)有變形，但同一個(gè)花籃四根桿子上的銷柱由于使用壞境及頻率一致，所以各自的變形量基本相同，利用這一特性，將原有的不銹鋼桿直徑變小，可以讓銷柱自由滑動(dòng)，同時(shí)在側(cè)板一側(cè)裝上銷柱張緊用彈簧，保證銷柱變形后能將其壓向一側(cè)；另外，為保證花籃批次間的差異，花籃使用前需經(jīng)過特殊工藝烘烤，保證使用過程中的變形量最小化。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具備的優(yōu)點(diǎn)為：

1、方便銷柱更換；

2、保證了左右不會(huì)錯(cuò)齒；

3、提高設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定連續(xù)性；

4、可與自動(dòng)插片機(jī)配合使用，在保證花籃無異常的情況下，實(shí)現(xiàn)了全自動(dòng)插片功能，滿足了現(xiàn)有的公司全面擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃；

5、減少因錯(cuò)齒造成的硅片破損。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的說明。如圖1所示的一種帶有銷柱張緊機(jī)構(gòu)的清洗花籃，包括置于兩個(gè)平行設(shè)置的側(cè)板1、2之間的不銹鋼桿4和銷柱5，所述不銹鋼桿4兩端固定于側(cè)板1、2上，所述銷柱5一端固定于不銹鋼桿4端部，另一端通過彈簧張緊機(jī)構(gòu)3連接固定于不銹鋼桿4的另一端部；所述銷柱5為套設(shè)在不銹鋼桿4上的表面等距離分布有齒溝的柱形結(jié)構(gòu)；所述不銹鋼桿4的數(shù)量為四根，對(duì)稱固定于側(cè)板1、2之間；所述側(cè)板1、2外部設(shè)置花籃固定桿6。

本實(shí)用新型在原有花籃的基礎(chǔ)上，通過減少原有不銹鋼桿的直徑，使銷柱5能自由滑動(dòng)，在此基礎(chǔ)上，在四根不銹鋼桿4一端裝上彈簧張緊機(jī)構(gòu)3，銷柱5在熱脹冷縮之后即使有變形，都可以通過彈簧的張緊力使四根不銹鋼桿4上的銷柱5同時(shí)壓向另一側(cè)，保證了左右銷柱5間齒溝不錯(cuò)位。

除上述實(shí)施例外，本實(shí)用新型還可以有其他實(shí)施方式，凡采用等同替換或等效變換形成的技術(shù)方案，均落在本實(shí)用新型要求的保護(hù)范圍。