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      一種用于板式PECVD整排手動(dòng)下料裝置的制作方法

      文檔序號(hào):11707582閱讀:280來(lái)源:國(guó)知局
      一種用于板式PECVD整排手動(dòng)下料裝置的制作方法

      本實(shí)用新型涉及一種用于板式PECVD手動(dòng)下料裝置,尤其涉及一種用于板式PECVD整排手動(dòng)下料裝置。



      背景技術(shù):

      板式PECVD是光伏太陽(yáng)能行業(yè)中常用的設(shè)備。如圖1所示,為現(xiàn)有板式PECVD手動(dòng)單片下料裝置結(jié)構(gòu)示意圖,現(xiàn)有單片下料裝置一般包括一個(gè)真空吸盤1,真空吸盤1上連接有真空氣管2,真空氣管2上連接有真空控制閥3。如圖2所示,現(xiàn)有單片下料裝置在使用過(guò)程中需要單片下料,導(dǎo)致下料操作次數(shù)多,下料時(shí)間長(zhǎng),使生產(chǎn)過(guò)程碎片增加,并影響生產(chǎn)產(chǎn)能。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是:提供了一種減少下料操作次數(shù)、縮短下料時(shí)間的用于板式PECVD整排手動(dòng)下料裝置,解決了現(xiàn)有單片下料裝置在使用過(guò)程中需要單片下料,導(dǎo)致下料操作次數(shù)多,下料時(shí)間長(zhǎng)的問(wèn)題。

      為了解決上述技術(shù)問(wèn)題,本實(shí)用新型的技術(shù)方案是提供了一種用于板式PECVD整排手動(dòng)下料裝置,其特征在于,包括框架型材,框架型材的上下兩側(cè)均設(shè)有圓形絲桿,每根圓形絲桿上均設(shè)有可以左右滑動(dòng)的固定滑塊,兩個(gè)固定滑塊分別固定在整排真空吸片器的兩端,框架型材內(nèi)還設(shè)有硅片承載盒。

      優(yōu)選地,所述的整排真空吸片器包括平移架,平移架下設(shè)有多個(gè)真空吸片器,平移架上設(shè)有平移把手,平移把手上設(shè)有真空開關(guān)。

      優(yōu)選地,所述的真空吸片器的數(shù)量與石墨框內(nèi)每排可放的硅片數(shù)量相同。

      本實(shí)用新型通過(guò)平移把手將整排真空吸片器平移到硅片上方,打開真空開關(guān)使硅片吸出石墨框,通過(guò)平移把手將硅片平移到硅片承載盒上方,關(guān)閉真空開關(guān)使硅片掉落到硅片承載盒中,整個(gè)下片過(guò)程整排進(jìn)行,減少了下料操作次數(shù),縮短了下料時(shí)間,降低了生產(chǎn)過(guò)程碎片。

      附圖說(shuō)明

      圖1為現(xiàn)有手動(dòng)單片下料裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;

      圖2為現(xiàn)有手動(dòng)單片下料裝置的操作示意圖;

      圖3為整排真空吸片器的結(jié)構(gòu)示意圖;

      圖4為圖3的俯視圖;

      圖5為一種用于板式PECVD整排手動(dòng)下料裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

      具體實(shí)施方式

      為使本實(shí)用新型更明顯易懂,茲以優(yōu)選實(shí)施例,并配合附圖作詳細(xì)說(shuō)明如下。

      本實(shí)用新型為一種用于板式PECVD整排手動(dòng)下料裝置,如圖5所示,其包括整排真空吸片器13,整排真空吸片器13的兩端分別固定有兩個(gè)固定滑塊12,兩個(gè)固定滑塊12安裝在圓形絲桿11上,且可以在圓形絲桿11上左右滑動(dòng),圓形絲桿11安裝在框架型材10的上下兩側(cè)上,框架型材10內(nèi)還安裝有硅片承載盒14。如圖3、圖4所示,整排真空吸片器13包括平移架6,平移架6下安裝有真空吸片器7,平移架6上安裝有平移把手9,平移把手9上安裝有真空開關(guān)8。

      其中:真空吸片器7的數(shù)量與石墨框4內(nèi)每排可放的硅片5數(shù)量相同。

      本實(shí)用新型的工作過(guò)程如下:

      首先把本實(shí)用新型的裝置放置在帶有硅片5的石墨框4上,通過(guò)平移把手9將整排真空吸片器13平移到硅片5上方,打開真空開關(guān)8,通過(guò)真空吸片器7將硅片5吸出石墨框4,通過(guò)平移把手9將硅片5平移到硅片承載盒14上方,關(guān)閉真空開關(guān)8使硅片5掉落到承載盒14中,整個(gè)下片過(guò)程整排進(jìn)行,減少了下料操作次數(shù),縮短了下料時(shí)間,降低了生產(chǎn)過(guò)程碎片。

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