本實用新型涉及半導體制造設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種用于涂膠顯影機的傳感電路。

背景技術(shù)：

ACT8涂膠顯影機用于光刻膠的涂膠工藝和晶片曝光后的顯影工藝，在200~300 mm晶片的生產(chǎn)市場中處于主流領(lǐng)域，其產(chǎn)量可以達到120 片/每小時。在這個高集成度的設(shè)備內(nèi)部有專門的機械手臂，對晶片在各個模塊間進行快速、準確、穩(wěn)定的傳送。其中主手臂上設(shè)置有用于探測晶片的傳感器，早期主要生產(chǎn)Si晶片，而Si晶片與GaAs晶片的材料特性不同，對LED光的反射和折射不同，因此主手臂上的傳感器只能偵測Si晶片。要想偵測第三代半導體GaAs需要重新設(shè)計主手臂，這樣造成了原有設(shè)備資源的浪費。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的在于提供一種用于涂膠顯影機的傳感電路，該方法可以很好地解決以上問題。

為達到上述要求，本實用新型采取的技術(shù)方案是：提供一種用于涂膠顯影機的傳感電路，包括可調(diào)電阻模塊、第二電阻R2至第七電阻R7、第一電容C1至第五電容C5、LED燈、三極管PT1及運算放大器U1；可調(diào)電阻模塊的一端連接光源偵測電路控制板的P1接線端，另一端連接主機械手臂X方向控制板的J1接線端；主機械手臂X方向控制板的J1接線端分別連接電源、第二電阻R2一端、第四電容C4一端、第三電阻R3一端、第一電容C1一端、第七電阻R7一端及第六電阻R6一端；第二電阻R2另一端分別連接運算放大器U1的反相輸入端、三極管PT1集電極及第三電容C3一端；三極管PT1發(fā)射極接地并分別連接第三電容C3另一端、第四電容C4另一端、第四電阻R4一端及第一電容C1另一端；第四電阻R4另一端分別連接第三電阻R3另一端、第五電阻R5一端及運算放大器U1同相輸入端；運算放大器U1的輸出端分別連接第七電阻R7另一端、第五電阻R5另一端及LED燈負極后作為輸出端；LED燈的正極連接第六電阻R6另一端。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有的優(yōu)點是：該傳感電路增加了一個可調(diào)電阻模塊，通過調(diào)節(jié)可調(diào)電阻的阻值，可以改變發(fā)射端輸入電流的大小，從而改變偵測晶片的靈敏度，使其既可以偵測Si晶片，也可以偵測GaAs晶片，使現(xiàn)有設(shè)備資源得到充分利用。

附圖說明

此處所說明的附圖用來提供對本申請的進一步理解，構(gòu)成本申請的一部分，在這些附圖中使用相同的參考標號來表示相同或相似的部分，本申請的示意性實施例及其說明用于解釋本申請，并不構(gòu)成對本申請的不當限定。在附圖中：

圖1為本實用新型的電路圖。

具體實施方式

為使本申請的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，以下結(jié)合附圖及具體實施例，對本申請作進一步地詳細說明。為簡單起見，以下描述中省略了本領(lǐng)域技術(shù)人員公知的某些技術(shù)特征。

光源偵測電路控制板，起到提供傳感電路的電壓以及信號的功能。主機械手臂X方向控制板，起到處理X方向各信號電路，并實時對手臂X方向的移動進行處理和控制的功能。

本實用新型提供一種用于涂膠顯影機的傳感電路，如圖1所示，包括可調(diào)電阻模塊、第二電阻R2至第七電阻R7、第一電容C1至第五電容C5、LED燈、三極管PT1及運算放大器U1；可調(diào)電阻模塊的一端連接光源偵測電路控制板的P1接線端，另一端連接主機械手臂X方向控制板的J1接線端；主機械手臂X方向控制板的J1接線端分別連接電源、第二電阻R2一端、第四電容C4一端、第三電阻R3一端、第一電容C1一端、第七電阻R7一端及第六電阻R6一端；第二電阻R2另一端分別連接運算放大器U1的反相輸入端、三極管PT1集電極及第三電容C3一端；三極管PT1發(fā)射極接地并分別連接第三電容C3另一端、第四電容C4另一端、第四電阻R4一端及第一電容C1另一端；第四電阻R4另一端分別連接第三電阻R3另一端、第五電阻R5一端及運算放大器U1同相輸入端；運算放大器U1的輸出端分別連接第七電阻R7另一端、第五電阻R5另一端及LED燈負極后作為輸出端；LED燈的正極連接第六電阻R6另一端。

可調(diào)電阻模塊加在主機械手臂X方向控制板CN12端口的第一根信號線，此線顏色為紅色，即在P1接線端與J1接線端的紅色線上串聯(lián)上可調(diào)電阻模塊。可調(diào)電阻模塊包括第一電阻R1和可調(diào)電阻VR1，可調(diào)電阻VR1的一端連接光源偵測電路控制板的P1接線端，另一端連接第一電阻R1一端，第一電阻R1另一端連接主機械手臂X方向控制板的J1接線端。

在本實施例中可調(diào)電阻VR1的阻值為200Ω，第一電阻R1-第七電阻R7的阻值分別為50Ω、4.7kΩ、4.7kΩ、3.3kΩ、100kΩ、1kΩ、4.7kΩ，第一電容C1-第五電容C5分別為0.1μF、10μF、0.01μF、0.1μF、0.1μF。

在使用時，調(diào)節(jié)可調(diào)電阻的具體步驟為：用萬用表測試該傳感電路的電壓值和電流值并記錄，手動將載有GaAs晶片的機械手臂移出，看機械手臂的傳感器是否能探測出GaAs晶片，如不能，調(diào)整電阻值，使其靈敏度能夠達到探測GaAs晶片的要求。

以上所述實施例僅表示本實用新型的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能理解為對本實用新型范圍的限制。應(yīng)當指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本實用新型保護范圍。因此本實用新型的保護范圍應(yīng)該以所述權(quán)利要求為準。