本實用新型關(guān)于一種輸送基板系統(tǒng)，尤指一種可供調(diào)整或改變基板輸送移動方式的基板輸送移動系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

請參閱圖6所示，先前技術(shù)運用在基板制程，例如半導(dǎo)體的晶圓制造，或者在IC封裝設(shè)備的操作，基板在制作過程或完成后在IC封裝設(shè)備操作，往往被放置于一基板卡匣內(nèi)部，該基板卡匣包括一卡匣框5，該卡匣框5內(nèi)部具有一容室50，該卡匣框5一側(cè)具有開口51與該容室50相通，該容室50內(nèi)部設(shè)有一隔層架52，該隔層架52設(shè)有復(fù)數(shù)層疊的層板521。并且利用一組機械手臂6對于該隔層架52的各層板521內(nèi)的基板2加以鉗夾，而移動至各不同的工序位置。然而該先前技術(shù)的該隔層架52由于是由該卡匣框5的底部板53開始連續(xù)設(shè)置，使得該卡匣框5內(nèi)并無太多的操作空間，該機械手臂6只能在有限的空間內(nèi)操作，而對于該基板2的操作與移動方式形成限制，并無太多的空間可以采用別的型態(tài)移動該基板2。

再者，使用者在基板生產(chǎn)制程設(shè)備或是在IC封裝設(shè)備操作的運用亦會受到大幅限制，因以現(xiàn)有技術(shù)該隔層架52是由該卡匣框5的底部板53開始連續(xù)設(shè)置，在對該基板2的操作與移動方式就僅能以該機械手臂6方式操作，因此使用者在興建制程或封裝工廠時即必須以機械手臂方式的輸送設(shè)備為設(shè)計，而一旦設(shè)計為機械手臂方式的輸送設(shè)備即無法再變更其他方式輸送基板，如此即造成使用者缺乏調(diào)變空間的配置，嗣后若有基板輸送方式的需求要改變其他方式進行輸送，例如以皮帶或滾輪輸送，使用者即必須拆除原先的設(shè)備及廠房，因而增加制程的成本。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型所解決的技術(shù)問題即在提供一種改善的構(gòu)造，其在基板輸送的方式能夠有至少一種選擇的方式，并且能夠同時運用在基板制造，例如：半導(dǎo)體廠的晶圓制造，以及IC封裝設(shè)備的操作，因而設(shè)計一種基板輸送移動系統(tǒng)，包括一卡匣框，內(nèi)部具有一容室，該卡匣框一側(cè)具有開口與該容室相通，該容室內(nèi)部設(shè)有一隔層部，該隔層部的周邊設(shè)有復(fù)數(shù)間隔元件，以令中央為中空，以提供基板能夠輸入及輸出該卡匣框的容室，例如：晶圓片、玻璃或薄板狀物品等基板，該隔層部下方設(shè)有一輸送操作室，以及設(shè)一可供伸入該輸送操作室的移動設(shè)備，藉以供該移動設(shè)備因應(yīng)與配合該隔層部的間隔元件內(nèi)的基板輸送移動。

本實用新型所采用的技術(shù)手段如下所述。

提供一種基板輸送移動系統(tǒng)，包括一卡匣框由二側(cè)板、一底板、一后板與一頂板相互框圍而成，該卡匣框內(nèi)部具有一容室，該卡匣框一側(cè)具有開口與該容室相通，該容室內(nèi)部設(shè)有一隔層部，該隔層部的周邊設(shè)有復(fù)數(shù)間隔元件，以令中央為中空，該隔層部下方設(shè)有一輸送操作室，以及設(shè)一可供伸入該輸送操作室的移動設(shè)備，藉以供該移動設(shè)備因應(yīng)與配合該隔層部的間隔元件內(nèi)的基板輸送移動。

本實用新型所產(chǎn)生的技術(shù)效果：由于本實用新型的卡匣框于該隔層部下方設(shè)有一輸送操作室，該輸送操作室內(nèi)可以供移動設(shè)備因應(yīng)與配合卡匣框內(nèi)的基板的輸送移動，因此，使用者可以有更多輸送基板的移動方式選擇與制程彈性配置，同時在IC封裝設(shè)備的操作亦能運用本實用新型，例如使用者可以裝設(shè)伸縮滾輪組或以輸送帶的方式進行輸送基板移動，同時亦可以選擇以具有機械手臂的設(shè)備做輸送移動基板，如此本實用新型能夠提供使用者有更多操作基板輸送移動的選擇方式及生產(chǎn)制程與IC封裝設(shè)備操作的運用。

附圖說明

圖1為本實用新型的卡匣框立體圖。

圖2為本實用新型的卡匣框分解圖。

圖3為本實用新型卡匣框內(nèi)設(shè)隔層部的立體圖。

圖4-1為本實用新型配合伸縮滾輪組的卡匣框的升降狀態(tài)示意一圖。

圖4-2為本實用新型配合伸縮滾輪組的卡匣框的升降狀態(tài)示意二圖。

圖5-1為本實用新型配合機械取料組另一移動基板狀態(tài)示意一圖。

圖5-2為本實用新型配合機械取料組另一移動基板狀態(tài)示意二圖。

圖6為先前技術(shù)移動基板的立體圖。

圖號說明：

1.卡匣框

10.容室

11.側(cè)板

12.底板

13.后板

14.頂板

15.隔層部

151.間隔元件

152.輸送操作室

16.升降機構(gòu)

18.開口

2.基板

3.移動設(shè)備

3A.移動設(shè)備

31.基座

31A.基座

32.伸縮滾輪組件

32A.機械手臂

5.卡匣框

50.容室

51.開口

52.隔層架

521.層板

53.底部板

6.機械手臂。

具體實施方式

請參閱圖1，配合圖2所示，本實用新型關(guān)于一種基板輸送移動系統(tǒng)，包括一卡匣框1，該卡匣框1為二側(cè)板11、一底板12、一后板13與一頂板14相互框圍。

該卡匣框1內(nèi)部具有一容室10，該卡匣框11一側(cè)具有開口18與該容室10相通，該容室10內(nèi)部設(shè)有一隔層部15，該隔層部15的周邊設(shè)有復(fù)數(shù)間隔元件151，以令中央為中空，以提供基板2能夠輸入及輸出該卡匣框1的容室10，例如：晶圓片、玻璃或薄板狀物品等基板，請參閱圖3所示，該隔層部15下方設(shè)有一輸送操作室152，以及設(shè)一可供伸入該輸送操作室152的移動設(shè)備3如圖4-1所示，藉以供該移動設(shè)備3因應(yīng)與配合該隔層部15內(nèi)的基板2輸送移動。因此，使用者可以有更多的輸送基板2的移動方式選擇與基板制程或IC封裝設(shè)備操作的運用。

請參閱圖4-1，基板制程系統(tǒng)與輸送型態(tài)的選項之一，其中該移動設(shè)備3為一伸縮滾輪組，該伸縮滾輪組包括一基座31，且該基座31設(shè)于該卡匣框1外側(cè)方，且該基座31操作性延伸一伸縮滾輪組件32進入該輸送操作室152內(nèi)部，該伸縮滾輪組件32相望于該各間隔元件151的中空，供承載該隔層部15的間隔元件151內(nèi)的基板2，且該卡匣框1底部設(shè)一升降機構(gòu)16，藉以令該升降機構(gòu)16進行上升與下降動作而令該卡匣框1遞升與遞降于該伸縮滾輪組件32而將該基板2輸入及輸出，伸降狀態(tài)請參閱圖4-1與圖4-2。其中該伸縮滾輪組件32外緣也可以套設(shè)一皮帶，以令該伸縮滾輪組為一輸送帶(圖未顯示)。

請參閱圖5-1與圖5-2，基板制程系統(tǒng)與輸送型態(tài)的選項之一，其中移動設(shè)備3A亦可為一機械取料組，該機械取料組包括一基座31A，且該基座31A設(shè)于該卡匣框1外側(cè)方，且該基座31A操作性延伸一機械手臂32A進入該輸送操作室152內(nèi)部，供輸送該間隔元件151內(nèi)的基板2。如圖5-1與圖5-2所示的實施方式，該基板2輸送移動以機械取料組的機械手臂32A進入該輸送操作室152內(nèi)部，藉由機械取料組的基座31A上升與下降動作進行將該隔層部15的間隔元件151內(nèi)的基板2輸入及輸出。當然，以機械取料組的機械手臂32A進行該隔層部15的間隔元件151內(nèi)的基板2輸入及輸出的方式亦可以藉由該卡匣框1的上升與下降。實施方式可以在該卡匣框1底部設(shè)一升降機構(gòu)16，藉以令該升降機構(gòu)16進行上升與下降動作而令該卡匣框1遞升與遞降，該機械手臂32A可以進入該卡匣框1的輸送操作室152承載該隔層部15的間隔元件151內(nèi)的基板2以進行輸入及輸出。