1.一種電極引線單元,其特征在于:包括玻璃基板、玻璃管殼和多個(gè)電極引線;所述玻璃管殼熔接于玻璃基板的表面;所述電極引線分布于玻璃管殼與玻璃基板的熔接面上,電極引線一端位于玻璃管殼的內(nèi)側(cè),電極引線的另一端位于玻璃管殼的外側(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極引線單元,其特征在于:所述電極引線是在玻璃基板上采用半導(dǎo)體工藝制作的條狀的金屬薄膜。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電極引線單元,其特征在于:所述金屬薄膜為單一金屬薄膜或者多種金屬薄膜的堆疊結(jié)構(gòu)。
4.一種真空光電器件,包括入射窗、陰極單元和陽(yáng)極單元,其特征在于:還包括電極引線單元;
所述電極引線單元包括玻璃基板、玻璃管殼和多個(gè)電極引線;所述玻璃管殼熔接于玻璃基板的表面;所述電極引線分布于玻璃管殼與玻璃基板的熔接面上;所述電極引線一端位于玻璃管殼的內(nèi)側(cè),通過(guò)電極連接線與陽(yáng)極單元相連;所述電極引線的另一端位于玻璃管殼的外側(cè);
所述入射窗位于玻璃管殼的頂部,所述入射窗、玻璃管殼和玻璃基板共同圍成密閉的真空腔,所述陽(yáng)極單元和陰極單元均位于真空腔內(nèi);所述陽(yáng)極單元固定于玻璃基板上,所述陰極單元固定于入射窗底部。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空光電器件,其特征在于:所述陽(yáng)極單元是在玻璃基板上采用半導(dǎo)體工藝制作的陽(yáng)極陣列;所述陽(yáng)極陣列與光電陰極之間安裝有微通道板。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空光電器件,其特征在于:所述陽(yáng)極單元是固定于玻璃基板上的半導(dǎo)體光電探測(cè)元件。
7.根據(jù)權(quán)利要求4-6中任一所述的真空光電器件,其特征在于:所述電極引線是在玻璃基板上采用半導(dǎo)體工藝制作的條狀的金屬薄膜。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的真空光電器件,其特征在于:所述金屬薄膜為單一金屬薄膜或者多種金屬薄膜的堆疊結(jié)構(gòu)。