專利名稱：用于基片載運(yùn)器的準(zhǔn)直器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于基片，例如半導(dǎo)體晶片，微芯片組件和平板顯示器的載運(yùn)裝置，更具體地涉及一種在載運(yùn)器內(nèi)放置基片時的基片準(zhǔn)直裝置。
在平板顯示器(FPD)和微芯片組件(MCM)工業(yè)中對更大的基片有越來越高的需求。基片最早是相對小的，例如6到8英寸的半導(dǎo)體晶片和300mm×350mm的FPD。較小的基片較易可被操作人員處理。例如，許多較小的基片一般是裝在基片載運(yùn)器中并被操作人員在加工站點(diǎn)之間載運(yùn)。在一個適當(dāng)大小的載運(yùn)器中的許多這種基片也是相當(dāng)容易管理的。然而，隨著基片不斷地變得更大，以及由于加工工藝的改進(jìn)和創(chuàng)新使得電路幾何尺寸不斷縮小，F(xiàn)PD和MCM工業(yè)面臨著開發(fā)管理基片的有效方法的挑戰(zhàn)。
基片的尺寸在不斷地增長，目前包括650mm×550mm到850mm×1050mm和FPD。大部分基片是用玻璃制成的，厚度從0.7至1.1mm。加工工藝的改進(jìn)使得在基片上加工的電路尺寸在不斷減小。在這種情況下，基片在大小，重量和價格上都在增加，同時變得更精密，在加工過程中更易受外力損傷和污染。增加更大和更昂貴基片的產(chǎn)量變得更加重要，從而使得由操作人員處理的辦法變得不合要求和不可接受了。
把基片保持在固定的水平位置同時在一個小車和自動車上被從一個加工站輸運(yùn)到另一個加工站的管理方式已經(jīng)發(fā)展起來。用這種方法管理的基片仍然存在著由于損傷和污染引起的低產(chǎn)量問題。潔凈室環(huán)境內(nèi)的地板設(shè)計成為一個關(guān)鍵因素，因為地板表面的變化使小車上的基片暴露于振動和高重力。這些力可以造成裂紋和永久性地?fù)p傷一塊或更多的基片。而且，在受到高重力時基片表面上形成的金屬膜中產(chǎn)生的應(yīng)力裂紋所形成的損傷是為基片上加工的電路所不能接受的。即使基片不被高重力損傷，由于運(yùn)動和振動會引起基片在載運(yùn)器中滑動，從而產(chǎn)生污染顆粒。
加工裝置的傳輸速度和產(chǎn)額都需要增加。機(jī)器人裝置具有增高的產(chǎn)額，容納在載運(yùn)器中的基片是由機(jī)器人的檢拾和放置單元取出和插入的。但是這種自動裝置需要某種形式來對準(zhǔn)基片，或者是手工的或者某種自動手段。傳統(tǒng)的載運(yùn)器通常包括在承載口內(nèi)的鑿槽的或傾斜的壁面以便大致上在載運(yùn)器內(nèi)對準(zhǔn)基片。但是，這種帶槽的結(jié)構(gòu)使得基片和縫口邊壁之間只有很小的余量，因此基片不得不很慢地抽出和插入并且要很精確以避免和載運(yùn)器相碰撞或刮碰側(cè)壁。結(jié)果是每次傳輸都花費(fèi)很多時間從而大大降低了整體產(chǎn)量。
同時也需要提供一種有效和改進(jìn)的方式來在傳輸中支撐和約束基片以減少損傷和污染，從而可以提高產(chǎn)量。進(jìn)一步，要求改進(jìn)對準(zhǔn)以便改進(jìn)轉(zhuǎn)移速度和加工產(chǎn)量。
根據(jù)本發(fā)明一種基片準(zhǔn)直器被安裝在一種基片載運(yùn)器或裝填盒內(nèi)，并且包括一個銜接裝置以便配合和移動很多基片，并且在銜接裝置關(guān)閉時在基本上對準(zhǔn)的位置上保持這些基片，以及一個操作機(jī)構(gòu)在打開和關(guān)閉位置之間移動銜接裝置。在一個實施例中，這個銜接裝置包括前后銜接裝置以便在容器相對的角落安置來承接基片的相對的邊角。每個銜接裝置最好包括一個銜接組件來承接每個基片相應(yīng)的邊緣，而前方組合包括兩個銜接組件以便承接前緣和相鄰的側(cè)緣，而尾部或后方銜接組合包括兩個銜接組件以承接基本的后緣和相對的側(cè)緣。在這種方式中，銜接裝置承接了每個基片的所有四邊以便在關(guān)閉時控制和保持基片在一個基本上對準(zhǔn)的位置上。
銜接裝置有一個打開位置以便使基片被一個加工站點(diǎn)取用，在這里基片可以被加工站插入或取出直到加工過程完成。這個銜接裝置然后被關(guān)閉并且移動、對準(zhǔn)和維持基片在一個對準(zhǔn)位置以便運(yùn)輸。在優(yōu)先實施例中，這個銜接裝置是在銜接基片邊緣時轉(zhuǎn)動的滾輪。這個銜接裝置是在銜接基片邊緣時轉(zhuǎn)動的滾輪。這個旋轉(zhuǎn)避免了邊緣的刮碰否則就會產(chǎn)生污染顆粒。進(jìn)一步，這些滾輪帶有柔順性的外表面或者包括柔順外套以便衰減振動力對基片的作用。這樣，柔順的滾輪可以有效地約束基片以防止大的移動，同時保護(hù)基片不受運(yùn)輸時的重力，雜亂移動和振動的影響。
根據(jù)本發(fā)明的基片準(zhǔn)直器減小了在現(xiàn)有技術(shù)中常規(guī)載運(yùn)器中典型使用的用梳狀物或分隔架來進(jìn)行的準(zhǔn)直要求。例如，現(xiàn)有載運(yùn)器開口的壁面是傾斜的從而使基片以很小的余量緊靠在開口壁上。這種傳統(tǒng)載運(yùn)器的狹窄余量放慢了加工站的進(jìn)程，這是因為機(jī)器人的檢拾和放置單元不得不以很慢的速度插入和取出基片以便避免基片對于梳狀物的開口壁面的碰撞和/或刮削。使用根據(jù)本發(fā)明的基片準(zhǔn)直器，梳狀物的側(cè)壁對于對準(zhǔn)目的不再必要，從而允許更寬的開口和相對大的基片邊緣和開口壁之間的余量。在這種情況下，加工站上的機(jī)器人撿拾和放置單元可以用更高速度插入和取出基片，因為基片的碰撞和/或刮削的風(fēng)險大大減小了。
一個操作機(jī)構(gòu)最好被提供來打開和關(guān)閉每一個銜接裝置。這個操作機(jī)構(gòu)最好包括一個輸入軸以便承接一個加工站的馬達(dá)和齒輪機(jī)構(gòu)，以及一個多桿連接器用來操作一個與銜接裝置耦合的輸出軸。這個多桿連接器最好包括4個連接并且最好是雙穩(wěn)態(tài)的，包括兩個與打開和關(guān)閉相對應(yīng)的穩(wěn)態(tài)模式。在這種情況下，這個四連桿機(jī)構(gòu)把銜接裝置鎖定在打開或關(guān)閉的位置上。
在優(yōu)先實施例中，這個多桿連接器被提供使用一個偏心設(shè)計以便獲得這種雙穩(wěn)態(tài)的，鎖定的位置。這種多連桿機(jī)構(gòu)最好包括一個以樞軸式安裝在一個操作器室上的驅(qū)動曲柄。一個耦合組件以樞軸方式安裝在驅(qū)動曲柄和一個搖臂之間，這個搖臂在與銜接裝置的開關(guān)相對應(yīng)的第一和第二位置之間相應(yīng)地移動輸出軸。這個驅(qū)動曲柄最好繞著一個驅(qū)動曲柄樞軸點(diǎn)在第一和第二位置之間擺動，這個樞軸點(diǎn)相應(yīng)地延長一個由耦合組件確定的力線到超出一個中心在驅(qū)動曲柄樞軸點(diǎn)上的水平參照線以便實現(xiàn)這個超中心設(shè)計。一個拉伸彈簧與這個耦合組件相耦合以便銜接和完成鎖定位置。在這種情況下，施加在基片上的力，結(jié)果為施加在銜接裝置上的扭力，被防止來把裝置從鎖緊位置移開。這樣，當(dāng)基片準(zhǔn)直器關(guān)閉時，基片在輸運(yùn)過程中被約束和保護(hù)。
在另一個實施例中，容納室包括安裝在后側(cè)的后止位器以便承接基片的后緣。這個容納室還進(jìn)一步包括一個帶有前緩沖器的以樞軸方式安裝的前門，這個緩沖器承接前緣來使基片在前門關(guān)閉時頂著后止位器移動到從前到后方向上基本對準(zhǔn)的位置上，兩個銜接裝置也被提供在容納室的兩側(cè)以便銜接和橫向移動基片到橫向方向的基本對準(zhǔn)的位置上。在這種情況下，基片利用后止位器和前緩沖器被沿前后方向定位并且利用側(cè)裝的銜接裝置被橫向定位。這個實施例可以用于對空氣開放的載運(yùn)器，但最好用于封閉載運(yùn)器以便使基片在通過非潔凈室環(huán)境運(yùn)輸時保持在一個清潔的環(huán)境中。
側(cè)裝的銜接裝置最好包括一個單滾輪以銜接基片的一個相應(yīng)邊緣。每一側(cè)都只需要一個單滾輪來達(dá)到橫向準(zhǔn)直。而且，滾輪是以樞軸方向安裝的以便允許在銜接基片的邊緣時可以轉(zhuǎn)動而不會產(chǎn)生刮削。另外，滾輪包括一個柔順的外表面或者一個柔順套以便減弱振動或其它的損傷力從而可以保護(hù)基片。進(jìn)一步，滾輪裝置是以偏心方式安裝的以便在基片準(zhǔn)直器被關(guān)閉時保證基片不會處于一種可輕微轉(zhuǎn)動的位置。對于側(cè)裝的銜接裝置的操作機(jī)構(gòu)可以用與第一個實施例中所述相類似的方式來實現(xiàn)。
現(xiàn)在可以理解，根據(jù)本發(fā)明制造的基片載運(yùn)器可以在承載盒或載動器中提供基片在前后方向和橫向方向的準(zhǔn)確的準(zhǔn)直。當(dāng)基片準(zhǔn)直器關(guān)閉時，柔順的銜接組件把基片保持在固定的或鎖定的位置，從而使它們在運(yùn)輸過程中不會移動?；€被防止滑動以防止產(chǎn)生顆粒造成基片上產(chǎn)品的可能的污染。根據(jù)本發(fā)明的基片準(zhǔn)直器還進(jìn)步允許相當(dāng)大的余量存在于基片邊緣周圍。這個增加的余量可以使機(jī)械手的撿拾和放置單元在插入和取出基片時以更高的速度運(yùn)行，從而大大改善了加工站的產(chǎn)力。
對本發(fā)明更好的理解可以通過以下對優(yōu)先實施例的詳細(xì)的描述和以下的附圖而得到，其中

圖1是一個帶有根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的基片準(zhǔn)直器的基片載運(yùn)器的透視圖；圖2是一個透視圖描述圖1的基片載運(yùn)器的底部；圖3A和3B是圖1中基片載運(yùn)器的頂視圖，分別表示基片準(zhǔn)直器在打開和關(guān)閉的位置；圖4是圖1中基片載運(yùn)器的前視圖；圖4A是一個圖4中一部分的放大圖，顯示與圖1中基片準(zhǔn)直器的一個銜接裝置相連系的一個操作機(jī)構(gòu)；圖5是一個圖1中銜接裝置的分解圖；圖6是一個圖1中操作機(jī)構(gòu)的分解圖；圖7A和7B是圖6中的準(zhǔn)直裝置的頂視圖，分別顯示打開和關(guān)閉的位置；圖8是一個關(guān)閉的基片載運(yùn)器的頂視圖，載運(yùn)器包括一個根據(jù)本發(fā)明的一個不同實施例的基片準(zhǔn)直器；圖9A和9B是圖8中的基片載運(yùn)器的側(cè)視圖，分別表示前門在打開和關(guān)閉的位置；以及圖10是一個用作圖8的銜接裝置的單滾輪裝置的分解圖。
現(xiàn)在參看圖1，一個透視圖顯示一個基片貯存盒式載運(yùn)器100，它包括一個根據(jù)本發(fā)明的一個實施例實現(xiàn)的基片準(zhǔn)直器。這個基片載運(yùn)器100是一個對空氣開放的單元，用于以相互之間一定空間的關(guān)系接收，支持和準(zhǔn)直許多基片，在加工站點(diǎn)之間運(yùn)輸基片以及對一個加工站點(diǎn)提供基片的準(zhǔn)直。一個加工站點(diǎn)應(yīng)當(dāng)包括機(jī)器人檢拾和放置單元以便插入和/或抽出基片到基片載運(yùn)器100中?；詈檬瞧桨屣@示(FPD)，半導(dǎo)體晶片，掩膜，微芯片組件(MCM)等?；d運(yùn)器100可以是任何合適的尺寸，取決于所承裝基片的種類和大小。這個基片載運(yùn)器100，例如，可以用于相當(dāng)大尺寸的650mm×500mm到850mm×1050mm或更大尺寸的基片。然而本發(fā)明并不被局限于任何特殊類型或尺寸的基片，它可以應(yīng)用于任何基片類型和尺寸。
基片載運(yùn)器100包括一個大致為矩形的頂板102，它利用許多支持柱106固定在大致為矩形的底板104上。如在圖1中所示，在基片載運(yùn)器的每一邊都有三個支持柱106，形成一個開放的盒狀結(jié)構(gòu)，有一個開放的前端112和一個開放的后端114，用于接受和支持一個或多個矩形基片116。為了描述的目的只畫出一個基片116，應(yīng)當(dāng)理解通常是有許多基片裝入基片載運(yùn)器100的，如圖4所示。固定在每一個支持柱106上的是一個帶有分開的齒或架子110的塔或梳108，每個架子110都用于接收和支持一個相應(yīng)的基片。在基片載運(yùn)器100中多個分開的架子110被提供來以互相間一定空間關(guān)系接受和支持多個基片116。在頂板102上最好裝一個把手102a以便在小車和加工站之間操作基片載運(yùn)器100。需要注意的是基片載運(yùn)器100是開放的并希望在相當(dāng)潔凈的室內(nèi)環(huán)境下運(yùn)送基片，這是因為一個開放結(jié)構(gòu)不能保護(hù)內(nèi)部不受周圍和環(huán)繞空氣中顆粒的影響。如下所述，本發(fā)明可以被用于一個封閉的載運(yùn)裝置以保護(hù)內(nèi)部的基片不受外部環(huán)境空氣的干擾。
當(dāng)一個或多個基片116被裝入基片載運(yùn)器100后，一個包括前銜接裝置118和后銜接裝置122的基片準(zhǔn)直器被提供來銜接和約束基片116到一個對準(zhǔn)的位置上。在這個優(yōu)先實施例中，前銜接裝置118是以回轉(zhuǎn)方式固定在基片載運(yùn)器100一個前角落上的底板104和頂板102之間，同時后銜接裝置122以類似方式安裝在基片載運(yùn)器100的相對的一個后角落處。每個銜接裝置118，122包括一個第一銜接組件130和一個第二銜接組件132以便銜接每個基片116的一個側(cè)緣和相鄰的前緣或后緣。具體地說，這個前銜接裝置118包括一個第一銜接組件130以銜接每個基片116的一個側(cè)緣116b，并且一個第二銜接組件132銜接前緣116a，同時后銜接裝置122包括一個類似的第一銜接組件130銜接一個側(cè)緣116c和一個第二銜接組件132銜接一個后緣116d。在這種情況下，四個不同的銜接組件與基片116銜接以便在基片載運(yùn)器100內(nèi)把基片116約束在一個準(zhǔn)直位置上。
這個準(zhǔn)直的位置最好是在基片載運(yùn)器100中在橫向方向或側(cè)面到側(cè)面，和前面到后面方向上大致上中心的位置。這樣，基片116的前后緣116a，d被分別對準(zhǔn)到基片載運(yùn)器100的前后端，同時基片116的側(cè)緣116b，c被對準(zhǔn)到基片載運(yùn)器100相應(yīng)的側(cè)邊。四個分開的銜接組件與大致為矩形的基片116的四緣相銜接可以在沒有大的轉(zhuǎn)動角度的情況下保證準(zhǔn)直。在優(yōu)先實施例中，在橫向或側(cè)側(cè)方向以及前后方面上這個對準(zhǔn)可以在±0.5mm范圍內(nèi)。如在后面所述，銜接組件130，132最好是以回轉(zhuǎn)方式安裝的圓柱或筒狀滾輪，這樣它們在與基片116相應(yīng)的邊緣銜接時可以轉(zhuǎn)動。這種轉(zhuǎn)動大大減少了污染顆粒的數(shù)量，這種顆粒在其它情況下當(dāng)刮削基片116的邊緣時會產(chǎn)生出來。
每個銜接裝置118，122還進(jìn)一步包括一個以回轉(zhuǎn)方式安裝在頂板102上的上支持板134，一個下支持板136和兩個分別用來固定上下支持板134，136的支持柱138。銜接組件130和132被固定在上下支持板134，136之間以便垂直地銜接基片116相對應(yīng)的邊緣。如下面所述，一個前操作機(jī)構(gòu)120被安裝在底板104的一個前方角落上的底邊上以便承接前銜接裝置118用于在開關(guān)位置之間轉(zhuǎn)動前銜接裝置118。對于前銜接裝置118，下支持板136對于一個回轉(zhuǎn)點(diǎn)140轉(zhuǎn)動，并且上支持板134對一個回轉(zhuǎn)點(diǎn)141轉(zhuǎn)動，這樣前銜接裝置118在點(diǎn)140和141之間的一個回轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動。這個回轉(zhuǎn)軸簡稱為回轉(zhuǎn)軸140-141。對于后銜接裝置122來說，下支持板136對著一個回轉(zhuǎn)點(diǎn)142(圖3A和圖4)旋轉(zhuǎn)并且上支持板134對著一個回轉(zhuǎn)點(diǎn)143旋轉(zhuǎn)，這樣后銜接裝置122圍繞回轉(zhuǎn)軸142-143旋轉(zhuǎn)。
現(xiàn)在來看圖2，一個透視圖顯示基片載運(yùn)器100的底部。如圖所示，前操作裝置120安裝在基片載運(yùn)器100的同樣的前邊角上來承接前銜接裝置118。與此類似，后操作裝置124安裝在基片載運(yùn)器100上相對的后邊角上來承接后銜接裝置122。需要注意的是這些操作裝置120，124也可以安裝在其它部位，如頂板102上，或其它合適位置以便分別承接和控制銜接裝置118，122。在所示的實施例中，這些操作裝置120，124是被安裝在底板104上以便于被加工站(沒有畫出)上的馬達(dá)和齒輪機(jī)構(gòu)(沒有畫出)接受和接合起來以便間接地控制銜接裝置118，122。具體來說，加工站把銜接裝置118，122放到打開位置以便在加工期間在基片載運(yùn)器100中插入或者抽出基片116。這個加工站可以然后把裝置118，122打到關(guān)閉位置以便把基片116放到對準(zhǔn)位置進(jìn)行輸送。
再看圖3A和3B，這些頂視圖顯示基片載運(yùn)器100在移去頂板102后并且銜接裝置118，122分別處于打開和關(guān)閉狀態(tài)時的情況。當(dāng)銜接裝置118，122處于如圖3A所示的打開位置時，基片116可以從打開的前端112和/或打開的后端114內(nèi)取出而且另外的基片116可以插入。這樣，一個加工站上的機(jī)械手系統(tǒng)可以從打開的前端112或者打開的后端114接近每一塊基片116，這取決于基片載運(yùn)器100相對于加工站是如何定位的。盡管梳狀物108把基片116維持在與基片載運(yùn)器100的底板和頂板104，102相對大致平行的平面內(nèi)，這些平面在運(yùn)輸時最好與地面成水平位置，但是梳狀物108不需要被做成為保持基片116在大致對準(zhǔn)的位置。這樣，基片116每一個可以被定位得稍靠前端112或稍靠后端114，并且甚至可以在一個相當(dāng)偏轉(zhuǎn)的位置從而使側(cè)緣116b和116c不被調(diào)整到與頂板和底板102，104的側(cè)邊對準(zhǔn)的位置。需要注意的是盡管基片116在銜接裝置118，122剛打開后處于準(zhǔn)直的位置，但是基片116在加工完成后可能被加工站擺放在非準(zhǔn)直位置上。這樣，盡管希望使基片116處于準(zhǔn)直位置以便被加工站接近，但是在加工后加工站不需要把它們放到這種準(zhǔn)直位置。
如圖3A所示，銜接裝置118和122分別繞回轉(zhuǎn)軸140-141，142-143轉(zhuǎn)動以便達(dá)到它們打開的位置。在打開位置上，由回轉(zhuǎn)點(diǎn)140和銜接組件132中心之間所確定的準(zhǔn)直線144以一個大約20-30度的負(fù)角對應(yīng)于基片載運(yùn)器100的側(cè)緣，而同時銜接組件130，132大致上被對準(zhǔn)到與上述側(cè)緣平行。銜接組件130，132在打開位置被定位于基片116的周邊以外。銜接裝置118回轉(zhuǎn)到銜接組件132和回轉(zhuǎn)點(diǎn)140被準(zhǔn)直到沿一條關(guān)閉線146為止。一個箭頭148指出在打開線144和關(guān)閉線146之間有大約65度的轉(zhuǎn)動，描繪出前銜接裝置118在打開和關(guān)閉位置之間轉(zhuǎn)動的幅度。后銜接裝置122以大致上類似的方式在打開和封閉位置之間繞著回轉(zhuǎn)軸142-143轉(zhuǎn)動大約65°。
在圖3B中銜接裝置118，122已經(jīng)轉(zhuǎn)到它們的關(guān)閉位置。圖3B更清楚地描繪出銜接裝置118的銜接組件130與側(cè)緣116b銜接，同時銜接組件132與基片116的前緣116a銜接。類似地，后銜接裝置122的銜接組件130，132分別與基片116的側(cè)緣和后緣116c，116d相銜接。當(dāng)銜接裝置118，122從打開位置轉(zhuǎn)到關(guān)閉位置時，銜接組件130與基片116的側(cè)緣116b，116c相銜接來把側(cè)緣116b，116c放置到相應(yīng)于基片載運(yùn)器100的側(cè)緣大致對準(zhǔn)的位置。在優(yōu)先實施例中，這種對準(zhǔn)在橫向或側(cè)·側(cè)方向為±0.5mm以內(nèi)。
在銜接組件130與側(cè)緣116b，c相銜接時，銜接裝置118，122的銜接組件132與前后緣116a，d相銜接來在前-后方向同時對準(zhǔn)基片116。再一次講，基片116在基片載運(yùn)器中被對準(zhǔn)到所需要的和預(yù)定的對準(zhǔn)位置的0.5mm以內(nèi)。值得指出的是，在基片116相對的邊角同時對準(zhǔn)側(cè)緣116b，116c和前后緣116a，116d使得基片116在橫向和前后方向被對準(zhǔn)，從而也防止基片116停留在任何轉(zhuǎn)動的位置。
如下面進(jìn)一步描述的那樣，銜接裝置118，132的銜接組件130，132包括柔順的外套或有柔軟的外表面，從而提供了預(yù)定數(shù)量的靈活度來防止作用在基片載運(yùn)器100上的力不會作用在基片116上。在四個邊緣上的準(zhǔn)直力是足夠來銜接和控制基片116到基本對準(zhǔn)的位置而不會有過度的可能會損傷基片116的力。所施加的準(zhǔn)直力的具體大小，以及銜接組件130，132的柔順性是根據(jù)具體涉及的基片的特定的尺寸，類型和組成而確定的。力是由加工站施加的而且滾輪上的間隙對于機(jī)械公差是被增大的。
圖4是基片載運(yùn)器100的前側(cè)視圖，更加清楚地顯示了銜接裝置118，122的銜接組件130，132相對于幾個基片116的位置。如圖4右下角所示，有一個間隙存在于側(cè)緣116c和后銜接裝置122的銜接組件130之間。梳狀物108最好帶有一個部分傾斜的位于相應(yīng)的架子110之間的側(cè)壁109，當(dāng)處于準(zhǔn)直的位置時側(cè)緣116c被放置得離開側(cè)壁109。在類似的情況下，每個基片116的相對的緣116b被分開離開相對一側(cè)的相應(yīng)的壁109。這些分開或間隙是遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于傳統(tǒng)載運(yùn)器或現(xiàn)有技術(shù)中的間隙的。事實上，側(cè)壁109和傾緣116b，c之間的間隙比現(xiàn)有技術(shù)的相應(yīng)公差高出十倍。
現(xiàn)有技術(shù)的載運(yùn)器包括帶有大得多的傾斜度的準(zhǔn)直壁使基片停留在架上時有很小的間隙。事實上，在現(xiàn)有技術(shù)的設(shè)計中傾斜壁靠著或接觸基片的側(cè)緣。這一點(diǎn)為加工站的機(jī)械手檢拾和放置單元提供了一個大致的對準(zhǔn)位置。然而，這種準(zhǔn)直方法也迫使機(jī)械手單元非常慢地抽取和插入基片以避免和擱架的側(cè)壁碰撞和/或刮削。這種相對緊湊的配合相應(yīng)降低了加工站的總輸出量。
根據(jù)本發(fā)明的基片準(zhǔn)直器是不需要利用側(cè)壁的準(zhǔn)直的。側(cè)壁109帶有一個很小的傾斜面用于大致準(zhǔn)直，但是和現(xiàn)有技術(shù)相比較它做成為可以提供更寬的開口和余量。由于這樣大的余量，因為和側(cè)壁109相碰撞和/或刮削的危險性大大減少了，機(jī)械手的撿拾和放置單元可以以大大提高的速度工作。這樣，機(jī)械手單元可以更快地工作，加工站的輸出就大大增大了。
圖4A是圖4一個部分(細(xì)節(jié)A)的放大圖，顯示了安裝在底板104上并且與前銜接裝置118的下部相關(guān)連的前操作裝置120的更多的細(xì)節(jié)。操作裝置120包括一個輸入驅(qū)動軸150用以連接一個馬達(dá)和齒輪裝置或類似裝置(沒有畫出)以便造成一個輸出驅(qū)動軸150的轉(zhuǎn)動。這個輸出驅(qū)動軸150延伸通過一個提供在底板104上的孔或開口以便與銜接裝置118相連接。在優(yōu)先實施例中，這個輸出驅(qū)動軸150與一個下支持板136的下側(cè)上的并以回轉(zhuǎn)點(diǎn)140為中心的相應(yīng)的連接器相銜接。這樣操作裝置120通過輸出驅(qū)動軸150轉(zhuǎn)動前銜接裝置118。這個前銜接裝置118被顯示為關(guān)閉位置，在這里銜接組件130與基片116的側(cè)緣116b銜接并且銜接組件132與前緣116a銜接。后操作裝置124安裝在底板104上以相似方式連接后銜接裝置122。
現(xiàn)在來看圖5，一個分解圖顯示前銜接裝置118，而后銜接裝置122被制作為完全一樣因此沒有畫出。支持柱138有相反的兩端利用螺釘或鉚釘或類似物168固定在上下支持板134，136上。具體地說，孔134a，134a分別鉆通在上下板134，136上，而螺釘168穿過孔134a，136a插進(jìn)支持柱138相反的兩端。銜接組件130，132最好是滾輪，它包括處于滾輪套管131之內(nèi)的滾輪接口160，它以可回轉(zhuǎn)方式用凸緣式軸承166固定在上下支持板134，136上。在這種情況下，支柱138牢靠地固定在上下支持板134，136上提供了一個固定的結(jié)構(gòu)來允許滾輪管131相對于上下支持板134，136自由地轉(zhuǎn)動。
滾輪管131最好用柔順材料，如TYGON或類似物制成。另一種方式是滾輪管131包括一個用相同材料套在它上面的柔順套層。柔順材料被選擇為提供足夠的支持力來施加準(zhǔn)直力而又不會損傷基片116的邊緣。而且，柔順材料也顯著減少了與基片相銜接時顆粒的產(chǎn)生，而且緩沖了加到基片載運(yùn)器100上的力來保護(hù)基片116。一個帶肩螺栓162，幾個軸墊片164以及一個凸緣軸承166被提供為以回轉(zhuǎn)方式把上支持板134固定在上平板102上。每個銜接裝置118和122的下支持板136最好固定在相應(yīng)的操作裝置120和124的輸出驅(qū)動軸150上，而不是被直接固定在底板104上。
現(xiàn)在來看圖6，一個分解圖顯示前操作裝置120。操作裝置124是以基本相同的方式制成的。操作裝置120，124最好做成帶有4個柱連桿配合一個偏心設(shè)計以實現(xiàn)一個雙穩(wěn)模式。這可以使裝置鎖定在打開或關(guān)閉的位置上，如下面所述。操作裝置120包括一個驅(qū)動室170和一個用多個螺釘，鉚釘或其它緊固器174固定在驅(qū)動室170上的驅(qū)動蓋172。驅(qū)動室170包括一個孔或開口170a使得可以從外部接近輸入驅(qū)動軸152，驅(qū)動蓋172包括一個孔或開口172a使得可以從外部接近輸出驅(qū)動軸150。二個或多個被束縛螺釘176通過蓋板172和驅(qū)動室170被擰進(jìn)以便把操作裝置120固定到基片載運(yùn)器100的底板104上。
軸承178和凸緣軸承180在開口170a內(nèi)插入以便承接和允許輸入驅(qū)動軸152的回轉(zhuǎn)或轉(zhuǎn)動。輸入驅(qū)動軸152以整體方式固定在下驅(qū)動曲柄182下側(cè)的一個端上。一個孔(沒有畫出)提供在下驅(qū)動曲柄182上大致中心位置上以便以可回轉(zhuǎn)方式固定帶有軸承186的一個耦合器184。耦合器184安裝在下驅(qū)動曲柄182和一個類似的上驅(qū)動曲柄之間，這個安裝是利用一個螺釘或鉚釘190或類似物通過上驅(qū)動曲柄188和通過耦合器184的軸承186插入到下驅(qū)動曲柄182相應(yīng)的孔中。在上驅(qū)動曲柄188上的另一個孔188b接受另一個螺釘或鉚釘190以便配合固定在下驅(qū)動曲柄182上的一個插口182a。在這種方式下，上下驅(qū)動曲柄188，182被牢靠地安裝在一起形成一個驅(qū)動曲柄裝置189，使得耦合器184可以圍繞軸承186的中心相對于驅(qū)動曲柄裝置189回轉(zhuǎn)。
耦合器184包括一個以一體方式在其上的延長杠桿184a以便以可轉(zhuǎn)動方式固定一個拉伸彈簧192的一端。這個拉伸彈簧192的另一端利用一個帶肩螺栓194以可回轉(zhuǎn)方式固定在驅(qū)動室170上。如后面更詳細(xì)描述的那樣，這個拉伸彈簧192給耦合器184施加一個力以便維持耦合器184和驅(qū)動曲柄裝置189在打開或關(guān)閉的位置。
耦合器184的另一端包括一個開口或孔(沒有畫出)以便以可回轉(zhuǎn)方式安裝一個搖臂196的一端，搖臂上有一個相應(yīng)的孔196a以便接收一個定位銷198。這樣，搖臂196的一端在孔196a的中心相對于耦合器184轉(zhuǎn)動。搖臂196包括一個做成一個夾口的插口196b，它可以用一個凹頭螺釘200擰緊以便在插口196b中接受和夾住輸出驅(qū)動軸150。輸出驅(qū)動軸150的一端以可轉(zhuǎn)動方式利用一個軸承178和凸緣軸承180在相應(yīng)的開口或孔170b中安裝在驅(qū)動室170上，同時輸出驅(qū)動軸150的另一端伸出小孔172a以便以前面講過的方式配合銜接裝置118或122。
一個硬止動器202利用一個螺釘或鉚釘204或類似物固定在驅(qū)動盒170上以便配合驅(qū)動曲柄裝置189在關(guān)閉位置上，如下面更詳細(xì)解釋的那樣。上驅(qū)動曲軸188也包括一個手動輸入軸154與它固定在一起并穿過一個曲柄軸套筒206和驅(qū)動蓋172上的另一個孔172b。手動輸入軸154與輸入驅(qū)動軸152是同心的，它還和孔170a同心或者定心在孔170a。這樣，驅(qū)動曲柄裝置189相對于開口170a，輸入驅(qū)動軸152和手動驅(qū)動曲柄154的中心轉(zhuǎn)動。
現(xiàn)在再看圖7A，一個預(yù)視圖顯示組裝起來的操作裝置120，為了清楚起見，驅(qū)動蓋172移走了并且上驅(qū)動曲柄188也沒有畫出。下驅(qū)動曲柄182被畫成靠在硬止動器202上處于關(guān)閉位置。下驅(qū)動曲柄182圍繞一個與開口170a的中心和輸入驅(qū)動軸152的中心相對應(yīng)的驅(qū)動曲柄回轉(zhuǎn)點(diǎn)210轉(zhuǎn)動。這樣，驅(qū)動曲柄裝置189相對于驅(qū)動曲柄回轉(zhuǎn)點(diǎn)210在關(guān)閉或者如圖7A所示的安全順時針位置及一個打開或者如圖7B所示的反時針位置之間轉(zhuǎn)動。
作用在驅(qū)動軸152上或同心手動輸入軸154上的反時針轉(zhuǎn)動力或扭矩使得下驅(qū)動曲柄182相對于驅(qū)動曲柄回轉(zhuǎn)點(diǎn)210向反時針方向轉(zhuǎn)動。定位在軸承186中心上的一個耦合器驅(qū)動點(diǎn)212相應(yīng)地相對于驅(qū)動曲柄回轉(zhuǎn)點(diǎn)210向反時針方向轉(zhuǎn)動，使耦合器184以大致平動的方式移動，從而把反時針的轉(zhuǎn)動力作用到搖臂196上。這個力被作用在搖臂196和耦合器184之間的一個回轉(zhuǎn)點(diǎn)214上從而相對于回轉(zhuǎn)點(diǎn)140-142轉(zhuǎn)動搖臂196和輸出驅(qū)動軸150。
當(dāng)操作裝置120處于如圖7A所示的關(guān)閉位置時，下驅(qū)動曲柄182使回轉(zhuǎn)點(diǎn)212通過或低于一條穿過驅(qū)動曲柄回轉(zhuǎn)點(diǎn)210畫出的水平參考線211轉(zhuǎn)動，從而造成了一個由回轉(zhuǎn)點(diǎn)212和214之間所確定的稍微為一個負(fù)值角度的力線218a。在這種情況下，由于作用在基片116上的重力或振動力引起的作用在輸出驅(qū)動軸150上的反時針鈕力由于力線218a的負(fù)角而轉(zhuǎn)變?yōu)樽饔迷谙买?qū)動曲柄182上的順時針力。這一點(diǎn)被稱為一個超中心(over center)設(shè)計。由于下驅(qū)動曲柄182被進(jìn)一步壓向硬止動器202從而阻止進(jìn)一步的順時針轉(zhuǎn)動，作用在輸出驅(qū)動軸150上的扭力防止打開銜接裝置118，122。在這種情況下，輸出驅(qū)動軸150維持鎖定在關(guān)閉位置從而使基片116不受相反力的作用而維持在被對準(zhǔn)的位置上。拉伸彈簧192施加作用力到耦合器184上迫使和維持下驅(qū)動曲柄182處于大致的關(guān)閉位置。
圖7B是操作裝置120的上蓋172被移去并處于打開位置的頂視圖。驅(qū)動曲柄裝置189已經(jīng)在反時針方向轉(zhuǎn)了大約185°，因此它再一次轉(zhuǎn)到稍微越過低于水平參考線211。這也是一個超中心位置來把裝置鎖定在打開位置。耦合器184被轉(zhuǎn)移到以反時針方式轉(zhuǎn)動搖臂196大約65°到它的打開位置，對應(yīng)于圖3A，3B所示的銜接裝置118，122轉(zhuǎn)動65°的情況。當(dāng)然，這個轉(zhuǎn)動也被施加于輸出驅(qū)動軸150。處于轉(zhuǎn)點(diǎn)210和214之間的打開位置的新的力線218b防止作用在輸出驅(qū)動軸150和搖臂196上的扭轉(zhuǎn)力去沿順時針方向轉(zhuǎn)動驅(qū)動曲柄裝置189。這個作用在輸出驅(qū)動軸150和搖臂196上的順時針扭矩力由于力線218b趨向于按反時針方向轉(zhuǎn)動驅(qū)動曲柄182，188，因此防止前后銜接裝置118，122不會因外力而被關(guān)閉。拉伸彈簧192施加一個力到耦合器184來強(qiáng)迫和維持這個裝置到打開位置上，直至被驅(qū)動軸152或154移動到關(guān)閉位置。
再看圖8，它是根據(jù)本發(fā)明不同的一個實施例做成的基片載運(yùn)器300的一個頂視圖?；d運(yùn)器300與基片載運(yùn)器100類似，不同的是它包括一個封閉器302來防止封閉器302內(nèi)部和外部大氣之間的流體連通。這樣基片載運(yùn)器300保護(hù)了內(nèi)部裝載的基片116不暴露到外部環(huán)境空氣中去并且使得在潔凈室環(huán)境和通過污染空氣之間的運(yùn)輸成為可能。
具體地講，封閉器302包括側(cè)壁304和與頂板307和底板309做成一體的后壁306(圖9A)。一個前門308以可回轉(zhuǎn)方式安裝在封閉器302的頂板307上，前門308打開和關(guān)閉以允許通過一個前開口311(圖9A)從內(nèi)部接近封閉器302來插入或取出基片116?；?16被插入和維持在互相分開的關(guān)系上與對基片載運(yùn)器100所描述的方式類似。然而，基片的后阻止器310被提供來承接基片116的后緣116d。門緩沖器312被安裝在前門308的內(nèi)表面上，當(dāng)前門308關(guān)閉時與基片116的前緣116a相銜接。在這種情況下，當(dāng)前門308以圖8所示關(guān)閉時門緩沖器312推動與后阻止器310的配合來大致上沿前-后方向準(zhǔn)直基片116。后阻止器310和門緩沖器312最好包括一種柔軟材料以便分別承接基片116的后緣和前緣116a，d，與前邊對滾輪筒131所述的目的和方法相類似。
對于橫向準(zhǔn)直來說，側(cè)銜接裝置314被提供在基片載運(yùn)器相對的側(cè)邊上。銜接裝置314的每一個都包括與基片116的側(cè)緣116b，c相配合的銜接組件316來移動基片116到橫向?qū)?zhǔn)的位置。與前邊對銜接裝置118，122所述類似，銜接裝置314以可回轉(zhuǎn)方式固定在基片載運(yùn)器300的頂板307和底板309之間的開和關(guān)位置之間。在打開位置上，銜接組件316與基片116的相應(yīng)的側(cè)邊脫離銜接以便允許通過前開口311的抽出和插入。銜接裝置314圍繞回轉(zhuǎn)點(diǎn)318轉(zhuǎn)動或回轉(zhuǎn)以便移動銜接組件316推著基片116的側(cè)緣116b，c來達(dá)到橫向?qū)?zhǔn)。
銜接組件316也包括柔軟的滾輪或類似物在銜接時轉(zhuǎn)動以避免刮削，否則就會產(chǎn)生污染顆粒。而且，銜接裝置314位于封閉器302的離開中心(off-center)的位置，其中一個裝置被安裝朝向后壁306而另一個裝置被安裝朝向前門308。這樣當(dāng)前門308關(guān)閉時可以防止一個轉(zhuǎn)動的位置，從而使基片116可以基本對準(zhǔn)在前后和橫向方向上。
圖9A和9B是基片載運(yùn)器300分別在前門308打開和關(guān)閉時的側(cè)視圖。在前門308打開時，基片116通過打開的前端311被取出和插入。側(cè)面準(zhǔn)直器裝置314被移動到配合銜接組件316壓向基片116的側(cè)緣116b，c以便進(jìn)行橫向準(zhǔn)直。銜接組件316仍然允許基片116稍微移動朝向封閉器302的前方或后方。如圖9B中所示，前門308被關(guān)閉，從而分別地使門緩沖器312銜接到基片116的前緣116a，后止動器310銜接到后緣116d上。一旦前門308和銜接裝置314被關(guān)閉，基片116就處于在前后和橫向方向上基本被準(zhǔn)直的位置上。需要注意的是前門308在銜接裝置314被轉(zhuǎn)動到關(guān)閉位置以后可以被關(guān)閉。
當(dāng)封閉器302被輸送到一個加工站點(diǎn)以后，前門308被打開并且側(cè)面準(zhǔn)直器裝置314被打開，這時裝載在內(nèi)的基片116維持在基本上對準(zhǔn)的位置上以便機(jī)械手系統(tǒng)或類似系統(tǒng)來接近。當(dāng)一塊或多塊基片被加工以后，重新準(zhǔn)直是利用關(guān)閉銜接裝置314和關(guān)閉前門308來得到的。需要注意的是雖然基片載運(yùn)器300被包括在內(nèi)，后止動器，前緩沖器和側(cè)面安裝的銜接裝置的實施例也可以被應(yīng)用于一個開放的載運(yùn)器。
現(xiàn)在來看圖10，一個單輪銜接裝置的分解圖被顯示為構(gòu)造銜接裝置314。這個銜接裝置314與圖5中所示的雙輪裝置118，122相類似，不同的是只有一個單支持柱334，滾輪接口323和滾輪管322被提供在一個上平板320和一個下平板324之間。并且螺釘或其它緊固手段326被提供來在上下支持板320，324之間安裝支持柱334，并且凸緣軸承328被提供在滾輪管323的兩端以便允許滾輪管332可以相對于上下支持板320，324轉(zhuǎn)動。而且，一個帶肩螺栓330，軸墊片332和另一個凸緣軸承328被提供來以可轉(zhuǎn)動方式把銜接裝置314安裝在基片載運(yùn)器300上。
現(xiàn)在可以清楚看到根據(jù)本發(fā)明的基片準(zhǔn)直器比現(xiàn)有技術(shù)的基片載運(yùn)器有許多優(yōu)點(diǎn)?；谶\(yùn)輸時被對準(zhǔn)和維持在對準(zhǔn)位置來減少損傷和污染。同時，被對準(zhǔn)的位置也比現(xiàn)有技術(shù)粗略的準(zhǔn)直技術(shù)更精確?；瑴?zhǔn)直器也允許顯著更大的余量圍繞著基片，從而增加了加工站的輸出。
盡管本發(fā)明的系統(tǒng)和方法結(jié)合優(yōu)先實施例已經(jīng)被加以描述，但是并不被局限于這些特殊情況，相反地，這些變動，改進(jìn)和等同物是可以有理由包括在本發(fā)明的由附加的權(quán)利要求書所確定的原理和范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一個用于基片載運(yùn)器的基片準(zhǔn)直器，這個載運(yùn)器包括一個構(gòu)架，以相互分開的位置關(guān)系接受和支持多個基片，所述基片準(zhǔn)直器包括一個安裝在樞架上的銜接裝置，在所述銜接裝置被移動到關(guān)閉位置時銜接和移動多個基片到一個基本對準(zhǔn)的位置上，并且在它被移動到打開位置時和多個基片脫離銜接，以便允許插入和抽出多個基片；以及一個操作裝置安裝在構(gòu)造上并且以可操作方式配合，在所述打開和關(guān)閉位置之間移動所述的銜接裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的基片準(zhǔn)直器，其特征在于構(gòu)架是大致矩形的，所述的銜接裝置包括一個前銜接裝置安裝在構(gòu)架的一個前角落附近；以及一個后銜接裝置安裝在構(gòu)架的與所述前角落相對的一個后角落附近。
3.根據(jù)權(quán)利要求2的基片準(zhǔn)直器，其特征在于所述的操作裝置包括一個前操作裝置安裝在構(gòu)架的所述前角落附近以便以可轉(zhuǎn)動方式連接所述的前銜接裝置；以及一個后操作裝置安裝在構(gòu)架的所述的后角落附近以便以可旋轉(zhuǎn)方式連接所述的后銜接裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3的基片準(zhǔn)直器，其特征在于所述的前和后操作裝置每一個包括一個操作器室用于安裝到載運(yùn)器的構(gòu)架上；一個輸出軸以可旋轉(zhuǎn)方式安裝在所述的操作器室上，并且以可旋轉(zhuǎn)方式連接一個相應(yīng)的銜接裝置；以及一個多桿連接以可操作方式耦合到所述的輸出軸，以便在所述的開和關(guān)的位置之間移動所述的相對應(yīng)的銜接裝置。
5.根據(jù)權(quán)利要求4的基片準(zhǔn)直器，其特征在于所述的多桿連接有兩個穩(wěn)定狀態(tài)，分別與所述的開和關(guān)的位置相對應(yīng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5的基片準(zhǔn)直器，其特征在于所述的多桿連接有一個超中心設(shè)計在開和關(guān)的位置上，以便獲得所述的雙穩(wěn)狀態(tài)。
7.根據(jù)權(quán)利要求4的基片準(zhǔn)直器，其特征在于所述的多桿連接包括一個四連桿，它包括一個驅(qū)動曲柄，以可旋轉(zhuǎn)方式安裝在所述的操作器室上，并且有分別與所述的打開和關(guān)閉位置相對應(yīng)的第一和第二位置；一個耦合器組件，帶有一個端以可旋轉(zhuǎn)方式固定在所述的驅(qū)動曲柄上和一個第二端；以及一個搖臂，帶有一個第一端，以可旋轉(zhuǎn)方式固定在所述的耦合器組件的第二端上，和一個第二端，固定在所述的輸出軸上，以便連接和在所述的打開的關(guān)閉位置之間推動所述的銜接裝置。
8.根據(jù)權(quán)利要求7的基片準(zhǔn)直器，其特征在于所述的操作器裝置進(jìn)一步包括一個拉伸彈簧，具有一個端固定在所述的室上和另一個端安裝在所述的耦合器組件上，以便以杠桿作用實現(xiàn)所述驅(qū)動曲柄的所述的第一和第二位置。
9.根據(jù)權(quán)利要求7的基片準(zhǔn)直器，其特征在于所述的驅(qū)動曲柄相對于一個驅(qū)動曲柄回轉(zhuǎn)點(diǎn)旋轉(zhuǎn)，以便使一個由所述耦合器組件的所述第一和第二端確定的力線在所述第一和第二位置上都處于所述驅(qū)動曲柄回轉(zhuǎn)點(diǎn)的一個水平基線以上，以便達(dá)到對于所述的第一和第二位置的鎖定位置。
10.根據(jù)權(quán)利要求2的基片準(zhǔn)直器，其特征在于所述的前和后銜接裝置的每一個都包括第一和第二銜接組件以便在所述的前和后銜接裝置處于關(guān)閉位置時銜接多個基片的每一個的相鄰邊。
11.根據(jù)權(quán)利要求10的基片準(zhǔn)直器，其特征在于所述的第一和第二銜接組件的每一個都包括滾輪。
12.根據(jù)權(quán)利要求11的基片準(zhǔn)直器，其特征在于所述滾輪的每一個都有圓柱形體，一邊與多個基片相應(yīng)的邊緣垂直銜接一邊轉(zhuǎn)動。
13.根據(jù)權(quán)利要求12的基片準(zhǔn)直器，其特征在于所述滾輪的每一個都帶有柔軟的外表面。
14.根據(jù)權(quán)利要求1的基片準(zhǔn)直器，其特征在于構(gòu)架包括后止動器以便銜接多個基片的后緣，以及一個以可旋轉(zhuǎn)方式安裝的前門帶有前緩沖器，以便在前門被關(guān)閉時銜接和對準(zhǔn)多個基片的前緣，這樣多個基片在前門被關(guān)閉時被基本上在前到后的方向上對準(zhǔn)，所述的銜接裝置包括第一和第二銜接裝置安裝在構(gòu)架的相對的兩側(cè)以便分別銜接多個基片的相對的側(cè)緣，并且在所述銜接裝置從所述打開位置移動到所述關(guān)閉位置時推動每個基片到橫向?qū)?zhǔn)的位置。
全文摘要
一個用于基片載運(yùn)器或貯盒(100)的基片準(zhǔn)直器,包括一個銜接裝置(118,122)在關(guān)閉時移動和維持一個或多個基片(116)到對準(zhǔn)的位置,以及一個操作裝置(120,124)用于打開和關(guān)閉銜接裝置。在一個實施例中,這個銜接裝置包括前和后銜接裝置以便固定在載運(yùn)器構(gòu)架的相對的角落上來承接基片的相對的角。每個銜接裝置最好包括一個滾輪(130,132)來承接每個基片相對應(yīng)的邊緣,其中前裝置包括二個滾輪以便承接基片的后邊和相對的側(cè)邊。在這種情況下,這個銜接裝置承接每個基片的所有四邊以便在關(guān)閉時控制和維持基片到基本準(zhǔn)直的位置。滾輪最好可以轉(zhuǎn)動以避免基片邊緣的刮削否則會產(chǎn)生污染顆粒。進(jìn)一步,滾輪帶有柔軟的外表面以便緩沖可能會造成損傷的力。
文檔編號H01L21/67GK1202866SQ96198608
公開日1998年12月23日 申請日期1996年11月26日 優(yōu)先權(quán)日1995年11月27日
發(fā)明者丹尼爾·A·巴布斯, 理查德·E·舒爾茨 申請人:漸進(jìn)系統(tǒng)技術(shù)公司