專利名稱：半導(dǎo)體元件安裝裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于測試半導(dǎo)體元件電子特性的半導(dǎo)體元件安裝裝置。本發(fā)明還涉及一種電氣連接于一連接元件的連接器。
為了可靠地將一連接元件電氣連接于一連接器，需要將連接元件的電氣端子壓靠于連接器的插腳。較大的推壓力可提高電氣連通性，但卻使摩擦力增大，導(dǎo)致很難將連接元件插入連接器或?qū)⑦B接元件取出連接器。尤其是，對于具有許多插腳的連接器或需要同時插入許多連接器的連接元件來說，必須用較大的力來插入連接元件。
為了解決上述問題，提出了所謂零插入力(ZIF)連接器，它在連接元件插入時不需要任何力，并在連接元件插入后可將插腳壓靠于連接元件。然而，當(dāng)插腳被壓靠于連接元件時，相對位置可能略微改變。當(dāng)連接器和連接元件間的相對位置要求有較高精度時，推壓插腳時連接元件的略微移動是致命的。
例如，在一種半導(dǎo)體測試裝置中，需要非常高的電氣連通性和位置精度。為了測試快速而可靠地測試半導(dǎo)體，測試裝置中所使用的連接器必須可靠地連接于連接元件。而且，為了測試各種不同類型的半導(dǎo)體元件，必須提供具有與半導(dǎo)體相接觸的接觸件的各種類型的基底。因此，需要使半導(dǎo)體測試裝置中所使用的連接器能夠很容易地安裝和拆除這些不同類型的基底。
因此，本發(fā)明的一個目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的這些缺點(diǎn)，提供一種半導(dǎo)體元件安裝裝置和一種連接器。該目的可由獨(dú)立權(quán)利要求中所描述的組合來實(shí)現(xiàn)。從屬權(quán)利要求進(jìn)一步限定了本發(fā)明有利和代表性的組合。
為了實(shí)現(xiàn)該目的，本發(fā)明的第一實(shí)施例是一種用于測試半導(dǎo)體元件電子特性的半導(dǎo)體元件安裝裝置，它包括一與半導(dǎo)體元件相接觸的接觸件；一向接觸件輸送電信號的基底；多個連接元件，每個連接元件具有一將電信號輸送至基底的電氣端子，并固定于基底；多個連接器，每個連接器具有一接觸插腳，該接觸插腳包括一與連接元件的電氣端子相接觸的接觸部，并具有一保持接觸插腳的殼體和一將接觸插腳壓于電氣端子的推壓件，每個連接器可自由拆卸地連接于多個連接元件中的一個；一保持該多個連接器的保持架；以及一將該保持架固定于基底的固定件，其中，當(dāng)推壓件推壓接觸插腳時，其接觸部在接觸電氣端子的同時沿電氣端子滑動。
接觸部沿電氣端子滑動的方向可以是將連接元件取出連接器的取出方向。接觸部沿電氣端子滑動的方向可以是將連接元件插入連接器的插入方向。
這些連接元件可以在基底上設(shè)置成輻射狀，這些連接器可以在保持架上設(shè)置成輻射狀。
兩個推壓件可各具有一旋轉(zhuǎn)凸輪，該半導(dǎo)體元件安裝裝置還可包括分別用于每個旋轉(zhuǎn)凸輪的旋轉(zhuǎn)凸輪轉(zhuǎn)動手柄，這些手柄可以連接于這些設(shè)置成輻射狀的連接器的外緣。
該半導(dǎo)體元件安裝裝置還可包括一手柄驅(qū)動件，它連接于這些手柄的外側(cè)，并驅(qū)動這些手柄。
本發(fā)明第二實(shí)施例的連接器是一種電氣連接于一待連接的連接元件的連接器，它包括一連接于連接元件一電氣端子的接觸插腳；一保持該接觸插腳的殼體；至少兩個將接觸插腳壓靠于電氣端子并對稱設(shè)置在左右兩側(cè)的旋轉(zhuǎn)凸輪；一轉(zhuǎn)動旋轉(zhuǎn)凸輪的手柄；以及一連接于手柄一端的手柄操作部，其至少一部分表面呈球形。
兩個推壓件可各具有一旋轉(zhuǎn)凸輪，手柄可轉(zhuǎn)動旋轉(zhuǎn)凸輪。
手柄可具有一連接于旋轉(zhuǎn)凸輪并延伸于旋轉(zhuǎn)凸輪徑向方向上的桿部，以及一連接于該桿部一端并延伸于旋轉(zhuǎn)凸輪軸向方向上的延伸部，手柄操作部連接于延伸部的一端。該手柄用于每個旋轉(zhuǎn)凸輪。
本發(fā)明第三實(shí)施例的連接器是一種電氣連接于一待連接的連接元件的連接器，它包括一連接于連接元件一電氣端子的接觸插腳；一保持該接觸插腳的殼體；至少兩個將接觸插腳壓靠于電氣端子并對稱設(shè)置在左右兩側(cè)的旋轉(zhuǎn)凸輪；一連接于殼體外側(cè)并保持旋轉(zhuǎn)凸輪的旋轉(zhuǎn)凸輪保持架；以及一厚度沿旋轉(zhuǎn)凸輪軸向方向減小的錐形件。
該連接器還可包括一位于一較薄部分一端的定位件，在此處兩個錐形件的厚度變得最薄，該定位件將連接器定位于一連接器基部。
該連接器還可包括一位于一較厚部分一端的定位件，在此處兩個錐形件的厚度變得最厚，該定位件將連接器定位于一連接器基部。
本發(fā)明概要并不一定要描述所有的特征，因而本發(fā)明也可以是上述這些特征的局部組合。
本發(fā)明以上和其它的目的和特點(diǎn)將通過下面參照附圖對較佳實(shí)施例的詳細(xì)描述而變得更為清楚，附圖中

圖1是本發(fā)明一實(shí)施例的半導(dǎo)體元件安裝裝置的剖視圖；圖2是圖1中所示的連接器組件100的立體圖；圖3是手柄52和引導(dǎo)件102的另一實(shí)例的放大圖；圖4是表示連接元件40如何插入圖1中所示連接器50的剖視圖；圖5是圖1中所示連接器50的細(xì)節(jié)圖6是圖1中所示連接元件40的細(xì)節(jié)圖。
下面將根據(jù)較佳實(shí)施例來描述本發(fā)明，這些實(shí)施例并不限制本發(fā)明的范圍，而是例示本發(fā)明。實(shí)施例中所描述的所有特征及其組合對本發(fā)明來說并不一定是必不可少的。
圖1是一用于測試半導(dǎo)體元件電子特性的半導(dǎo)體元件安裝裝置的剖視圖。如圖1所示，本發(fā)明一實(shí)施例的半導(dǎo)體元件安裝裝置包括一與一半導(dǎo)體元件相接觸的接觸件20；一將電信號輸送至接觸件20的基底30；多個固定于基底30的連接元件40；多個可自由拆卸地連接于各連接元件40的連接器50；一固定有該多個連接器50的連接器基部90；以及一保持該多個連接器50和連接器基部90的保持架80。
基底30和連接器基部90呈圓形，從它們的中心開始，該多個連接元件40、連接器50和諸如螺栓之類的固定件86設(shè)置成輻射狀。由于基底30和保持架80的相對位置固定，因而可保持連接元件40和連接器50的相對位置。
圖2是圖1中所示的連接器組件100(陰影部分)的立體圖。每個連接器50的外側(cè)連接有兩個手柄52，用以轉(zhuǎn)動制于連接器中的一旋轉(zhuǎn)凸輪。在手柄52的外緣處，還連接有一驅(qū)動手柄52的引導(dǎo)件102和一轉(zhuǎn)動引導(dǎo)件102的手柄驅(qū)動件104。在連接元件40插入連接器50的情況下驅(qū)動手柄驅(qū)動件104，可使引導(dǎo)件102和該多個手柄52同時移動，并使連接器50連接于連接元件40。因此，可很容易地將該多個連接器50同時貼合于連接元件40。
圖3是圖2中所示的手柄52和引導(dǎo)件102的另一實(shí)例的放大圖。在圖2中，引導(dǎo)件102連接于手柄52的外緣，但引導(dǎo)件102也可連接于手柄52的內(nèi)緣，如圖3所示。另外，為了順暢地使引導(dǎo)件102相對于連接器50轉(zhuǎn)動，最好也可在連接器基部90和引導(dǎo)件102之間裝一個滾輪106。
圖4是表示連接元件40如何插入圖1所示連接器50的剖視圖。連接元件40具有一將被嵌于基底30的鉚釘42、一加強(qiáng)鉚釘42固定部分的加強(qiáng)板46、一將電信號輸送至基底30的電氣電子48以及一保持電氣電子48的電氣電子保持架44。
另一方面，連接器50具有一與連接元件40的電氣端子48相接觸的接觸插腳70、一保持接觸插腳70的的殼體68以及至少兩個將接觸插腳70朝電氣端子48推壓并對稱設(shè)置在左右兩側(cè)的推壓件78。兩個推壓件78各具有一旋轉(zhuǎn)凸輪72和一保持旋轉(zhuǎn)凸輪72的旋轉(zhuǎn)凸輪保持架76。隨著旋轉(zhuǎn)凸輪72的轉(zhuǎn)動，旋轉(zhuǎn)凸輪72和接觸插腳70之間的接觸部朝連接元件40移動幾乎相同的距離，接觸插腳70被壓靠于電氣端子48。由于旋轉(zhuǎn)凸輪保持架76受到被推壓接觸插腳70的反作用，因而旋轉(zhuǎn)凸輪保持架76必須具有足夠剛性以防止其變形。因此，最好可使旋轉(zhuǎn)凸輪保持架76的厚度大到突伸到殼體68外側(cè)。
旋轉(zhuǎn)凸輪72例如包括一到旋轉(zhuǎn)凸輪中心距離幾乎相同的圓周部分75和一到中心距離短于圓周部分到中心距離的平直部分77。接觸插腳70沿兩條線對稱地設(shè)置在左右兩側(cè)。隨著兩個旋轉(zhuǎn)凸輪72轉(zhuǎn)動，兩個推壓件78分別推壓左側(cè)的多個接觸插腳70和右側(cè)的接觸插腳70。在此，為了防止在每條線上的接觸插腳70彼此短路，必須使旋轉(zhuǎn)凸輪72絕緣。因此，最好對旋轉(zhuǎn)凸輪72表面涂覆例如特氟隆。
當(dāng)左、右旋轉(zhuǎn)凸輪72沿相同方向轉(zhuǎn)動時，一個旋轉(zhuǎn)凸輪72的上部推壓一個接觸插腳70，另一個旋轉(zhuǎn)凸輪72的下部推壓另一接觸插腳70。在此，為了防止連接元件40相對于連接器50移動，最好相等地推壓左、右接觸插腳70。因此，在推壓件78推壓接觸插腳70之前，最好使各旋轉(zhuǎn)凸輪72沿連接元件40插入方向呈對稱狀。當(dāng)推壓件78推壓接觸插腳70時，最好還使兩個旋轉(zhuǎn)凸輪72與接觸插腳70相接觸的位置相對于連接元件40的中心對稱。
接觸插腳70包括一與連接元件40的電氣端子48相接觸的接觸部74。當(dāng)推壓件78推壓接觸插腳70時，接觸部74在與電氣端子48接觸的同時沿電氣端子48滑動。因此，電氣端子48的表面被刮擦，氧化層和灰塵被去除，因而可使接觸插腳70可靠地連接于電氣端子48。當(dāng)接觸部74滑動時，如果連接元件40和連接器50沿接觸插腳70設(shè)置方向滑動，則可能會喪失連通性。為防止這一情況發(fā)生，需要使接觸部74滑動方向垂直于接觸插腳70設(shè)置方向。因此，在圖4所示的實(shí)例中，接觸部74沿連接元件40取出連接器50的取出方向滑動。在另一實(shí)例中，接觸部74可沿連接元件40插入連接器50的插入方向滑動。
圖5是圖1中所示連接器50的細(xì)節(jié)圖。在連接器基部90上設(shè)置成輻射狀的該多個連接器50的外緣處，各旋轉(zhuǎn)凸輪72裝有一用于轉(zhuǎn)動旋轉(zhuǎn)凸輪72的手柄52。手柄52具有一連接于旋轉(zhuǎn)凸輪72并延伸于旋轉(zhuǎn)凸輪72徑向方向的桿部，以及一連接于桿部56端部并延伸于旋轉(zhuǎn)凸輪72軸向方向的延伸部58。延伸部58的端部還連接有一手柄操作部60，其至少一部分表面為球形。因此，當(dāng)引導(dǎo)件102(圖2)并不總是從右側(cè)推壓著手柄52時，可使手柄52順暢地旋轉(zhuǎn)。
連接器50具有一錐形件66，其厚度沿旋轉(zhuǎn)凸輪72軸向方向減小。因此，當(dāng)連接器50設(shè)置成輻射狀時，相鄰連接器50之間的間隙便很小，從而可防止灰塵落到連接器50之間。在連接器50長度方向的兩端，也就是兩個錐形件66的厚度最薄和最厚處，裝有定位件62和64，用以將連接器50定位于連接器基部90。由于定位件62和64僅設(shè)置在兩端，因而可使相鄰連接器50之間的間隙變窄。因此，可在連接器基部90上設(shè)置許多連接器50。
圖6是圖1中所示連接元件40的細(xì)節(jié)圖。連接元件40具有許多將從連接器50收到的電信號傳送至基底30的電氣端子48、一保持電氣端子48的電氣端子保持架44、將連接元件固定于基底30的鉚釘以及一加強(qiáng)鉚釘42和連接元件40的接觸部分的加強(qiáng)板46。鉚釘42整個穿過連接元件40，進(jìn)而穿過基底30和加強(qiáng)板46，然后將鉚釘42端部壓扁，從而將連接元件40固定于基底30。因此，與將連接元件40焊接于基底30的情況相比，連接元件可以更牢固地固定于基底，從而防止連接元件脫落。
從以上說明可清楚地理解，本發(fā)明提供了一種能方便、準(zhǔn)確和可靠地連接于連接元件的連接器。
雖然通過代表性的實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行了描述，但應(yīng)予理解，本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員可以在不脫離本發(fā)明精神和范圍的情況下進(jìn)行許多變化和替換，因此本發(fā)明的范圍僅由所附權(quán)利要求書限定。
權(quán)利要求
1.一種用于測試半導(dǎo)體元件電子特性的半導(dǎo)體元件安裝裝置，它包括一與所述半導(dǎo)體元件相接觸的接觸件；一向所述接觸件輸送電信號的基底；多個連接元件，每個連接元件具有一將所述電信號輸送至所述基底的電氣端子，并固定于所述基底；多個連接器，每個連接器具有一接觸插腳，該接觸插腳包括一與所述連接元件的所述電氣端子相接觸的接觸部，并具有一保持所述接觸插腳的殼體，一將所述接觸插腳壓于所述電氣端子的推壓件，每個連接器可自由拆卸地連接于所述多個連接元件中的一個；一保持所述多個連接器的保持架；以及一將所述保持架固定于所述基底的固定件，其中，當(dāng)所述推壓件推壓所述接觸插腳時，所述接觸部在接觸所述電氣端子的同時沿所述電氣端子滑動。
2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件安裝裝置，其特征在于，所述接觸部沿所述電氣端子滑動的方向是將所述連接元件取出所述連接器的取出方向。
3.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件安裝裝置，其特征在于，所述接觸部沿所述電氣端子滑動的方向是將所述連接元件插入所述連接器的插入方向。
4.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件安裝裝置，其特征在于，所述多個連接元件在所述基底上設(shè)置成輻射狀；以及所述多個連接器在所述保持架上設(shè)置成輻射狀。
5.如權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體元件安裝裝置，其特征在于，所述兩個推壓件各具有一旋轉(zhuǎn)凸輪，所述半導(dǎo)體元件安裝裝置還包括分別用于每個所述旋轉(zhuǎn)凸輪的旋轉(zhuǎn)凸輪轉(zhuǎn)動手柄，所述手柄連接于設(shè)置成輻射狀的所述多個連接器的外緣。
6.如權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體元件安裝裝置，其特征在于，它還包括一連接于所述多個手柄外側(cè)并驅(qū)動所述多個手柄的手柄驅(qū)動件。
7.一種電氣連接于一待連接的連接元件的連接器，它包括一連接于所述連接元件一電氣端子的接觸插腳；一保持所述接觸插腳的殼體；至少兩個將所述接觸插腳壓靠于所述電氣端子并彼此相對的旋轉(zhuǎn)凸輪；一轉(zhuǎn)動所述旋轉(zhuǎn)凸輪的手柄；以及一連接于所述手柄一端的手柄操作部，其至少一部分表面呈球形。
8.如權(quán)利要求7所述的連接器，其特征在于所述兩個推壓件各具有一旋轉(zhuǎn)凸輪；以及所述手柄轉(zhuǎn)動所述旋轉(zhuǎn)凸輪。
9.如權(quán)利要求8所述的連接器，其特征在于所述手柄具有一連接于所述旋轉(zhuǎn)凸輪并延伸于所述旋轉(zhuǎn)凸輪徑向方向上的桿部以及一連接于所述桿部一端并延伸于所述旋轉(zhuǎn)凸輪軸向方向上的延伸部；以及所述手柄操作部連接于所述延伸部的一端。
10.如權(quán)利要求8所述的連接器，其特征在于，所述手柄用于每個所述旋轉(zhuǎn)凸輪。
11.一種電氣連接于一待連接的連接元件的連接器，它包括一連接于所述連接元件一電氣端子的接觸插腳；一保持所述接觸插腳的殼體；至少兩個將所述接觸插腳壓靠于所述電氣端子并彼此相對的旋轉(zhuǎn)凸輪；一連接于所述殼體外側(cè)并保持所述旋轉(zhuǎn)凸輪的旋轉(zhuǎn)凸輪保持架；以及一厚度沿所述旋轉(zhuǎn)凸輪軸向方向減小的錐形件。
12.如權(quán)利要求11所述的連接器，其特征在于，它還包括一位于一較薄部分一端的定位件，在此處兩個所述錐形件的厚度變得最薄，該定位件將所述連接器定位于一連接器基部。
13.如權(quán)利要求11所述的連接器，其特征在于，它還包括一位于一較厚部分一端的定位件，在此處兩個所述錐形件的厚度變得最厚，該定位件將所述連接器定位于一連接器基部。
全文摘要
一種用于測試半導(dǎo)體元件電子特性的半導(dǎo)體元件安裝裝置,它包括:一接觸件;一基底;多個連接元件,每個連接元件具有一電氣端子并固定于基底;多個連接器,每個連接器具有一包括一接觸部的接觸插腳,一保持接觸插腳的殼體以及一推壓件,每個連接器可自由拆卸地連接于多個連接元件中的一個;一保持該多個連接器的保持架;以及一將該保持架固定于基底的固定件,其中,當(dāng)推壓件推壓接觸插腳時,其接觸部在接觸電氣端子的同時沿電氣端子滑動。
文檔編號H01R13/115GK1247318SQ9911032
公開日2000年3月15日 申請日期1999年7月9日 優(yōu)先權(quán)日1998年7月9日
發(fā)明者吉田健嗣, 內(nèi)藤隆, 村山茂, 坂本克彥, 正木尚 申請人:株式會社愛德萬測試, 日本安普連接器有限公司