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      一種基于預(yù)留槽塑封技術(shù)的pop封裝結(jié)構(gòu)及其制備方法

      文檔序號:8224876閱讀:285來源:國知局
      一種基于預(yù)留槽塑封技術(shù)的pop封裝結(jié)構(gòu)及其制備方法
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體封裝技術(shù)領(lǐng)域,具體是一種基于預(yù)留槽塑封技術(shù)的POP封裝結(jié)構(gòu)及其制備方法。
      【背景技術(shù)】
      [0002]當(dāng)前半導(dǎo)體封裝發(fā)展的趨勢是越來越多的向高頻、多芯片模塊(MCM),系統(tǒng)集成(SiP)封裝,堆疊封裝(PiP, PoP)發(fā)展。
      [0003]三維堆疊封裝可以在更小的空間內(nèi)集成更多的半導(dǎo)體芯片,采用三維堆疊封裝的產(chǎn)品擁有更高的性能、更高的可靠性,以及更低的價格。目前,采用三維堆疊封裝的產(chǎn)品,例如存儲器,能實(shí)現(xiàn)更大的存儲量,并且已經(jīng)實(shí)現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)。
      [0004]目前pop制備技術(shù)有如下挑戰(zhàn):
      [0005](I)上封裝體與下封裝體互連方式;
      [0006](2)高溫焊接翹曲控制;
      [0007](3)封裝厚度控制。
      [0008]優(yōu)點(diǎn):工藝成熟;
      [0009]缺點(diǎn):封裝后需在封裝體進(jìn)行開孔;工序復(fù)雜。

      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0010]對于上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問題,本發(fā)明公開了一種基于預(yù)留槽塑封技術(shù)的POP封裝結(jié)構(gòu)及其制備方法,其不需要完成封裝后進(jìn)行開孔過程;而且錫膏印刷,工藝簡單。
      [0011]一種基于預(yù)留槽塑封技術(shù)的POP封裝結(jié)構(gòu),主要包括有基板、焊盤、凸點(diǎn)、芯片、塑封錫槽、塑封體、錫膏柱;所述基板通過焊盤、凸點(diǎn)連接芯片,所述塑封體包圍芯片、焊盤、凸點(diǎn)、錫膏柱和基板的上表面,塑封體上有塑封錫槽,塑封錫槽底部裸露有焊盤,塑封錫槽內(nèi)部有錫膏柱,錫膏柱下端與焊盤連接。
      [0012]所述錫膏柱上端有錫膏球。
      [0013]所述POP封裝結(jié)構(gòu)還連接有上封裝體,所述上封裝體主要包括有上封裝體芯片、上封裝體凸點(diǎn)、填充膠和上封裝體基板;上封裝體基板通過焊盤、上封裝體凸點(diǎn)與上封裝體芯片連接,填充膠填充四者連接部分;所述POP封裝結(jié)構(gòu)的錫膏柱與上封裝體基板的下表面連接。
      [0014]所述POP封裝結(jié)構(gòu)的錫膏柱上的錫膏球與上封裝體基板的下表面連接。
      [0015]一種基于預(yù)留槽塑封技術(shù)的POP封裝結(jié)構(gòu)的制備方法,其按照以下具體步驟進(jìn)行:
      [0016]步驟一:基板上倒裝上芯有芯片;
      [0017]步驟二:塑封體包圍芯片、焊盤、凸點(diǎn)、錫膏柱和基板的上表面,塑封體上制作有塑封錫槽,塑封錫槽底部裸露出焊盤;
      [0018]步驟三:在塑封錫槽內(nèi)錫膏印刷和回流,形成錫膏柱,最終形成所述POP封裝結(jié)構(gòu);
      [0019]步驟四:上封裝體與POP封裝結(jié)構(gòu)連接,POP封裝結(jié)構(gòu)的錫膏柱與上封裝體基板的下表面連接,形成堆疊封裝結(jié)構(gòu)。
      [0020]所述步驟三的錫膏柱上端還可以制作錫膏球;
      [0021]所述步驟四可以替換為:上封裝體與POP封裝結(jié)構(gòu)連接,所述POP封裝結(jié)構(gòu)的錫膏柱上的錫膏球與上封裝體基板的下表面連接,形成堆疊封裝結(jié)構(gòu)。
      【附圖說明】
      [0022]圖1為倒裝上芯完成的產(chǎn)品圖;
      [0023]圖2為用特殊模具制作的塑封圖;
      [0024]圖3為錫膏印刷和回流圖;
      [0025]圖4為上層產(chǎn)品貼裝和回流圖。
      [0026]圖中,I為基板,2為焊盤,3為凸點(diǎn),4為芯片,5為塑封錫槽,6為塑封體,7為錫膏柱,8為錫膏球,9為上封裝體芯片,10為上封裝體凸點(diǎn),11為填充膠,12為上封裝體基板。
      【具體實(shí)施方式】
      [0027]下面根據(jù)附圖對該發(fā)明做一詳細(xì)描述。
      [0028]如圖4所示,一種基于預(yù)留槽塑封技術(shù)的POP封裝結(jié)構(gòu),主要包括有基板1、焊盤2、凸點(diǎn)3、芯片4、塑封錫槽5、塑封體6、錫膏柱7 ;所述基板I通過焊盤2、凸點(diǎn)3連接芯片4,所述塑封體6包圍芯片4、焊盤2、凸點(diǎn)3、錫膏柱7和基板I的上表面,塑封體6上有塑封錫槽5,塑封錫槽5底部裸露有焊盤2,塑封錫槽5內(nèi)部有錫膏柱7,錫膏柱7下端與焊盤2連接。
      [0029]所述錫膏柱7上端有錫膏球8。
      [0030]所述POP封裝結(jié)構(gòu)還連接有上封裝體,所述上封裝體主要包括有上封裝體芯片9、上封裝體凸點(diǎn)10、填充膠11和上封裝體基板12 ;上封裝體基板12通過焊盤、上封裝體凸點(diǎn)10與上封裝體芯片9連接,填充膠11填充四者連接部分;所述POP封裝結(jié)構(gòu)的錫膏柱7與上封裝體基板12的下表面連接。
      [0031]所述POP封裝結(jié)構(gòu)的錫膏柱7上的錫膏球8與上封裝體基板12的下表面連接。
      [0032]一種基于預(yù)留槽塑封技術(shù)的POP封裝結(jié)構(gòu)的制備方法,其按照以下具體步驟進(jìn)行:
      [0033]步驟一:基板I上倒裝上芯有芯片4,如圖1所示;
      [0034]步驟二:塑封體6包圍芯片4、焊盤2、凸點(diǎn)3、錫膏柱7和基板I的上表面,塑封體6上制作有塑封錫槽5,塑封錫槽5底部裸露出焊盤2,如圖2所示;
      [0035]步驟三:在塑封錫槽5內(nèi)錫膏印刷和回流,形成錫膏柱7,最終形成所述POP封裝結(jié)構(gòu),如圖3所示;
      [0036]步驟四:上封裝體與POP封裝結(jié)構(gòu)連接,POP封裝結(jié)構(gòu)的錫膏柱7與上封裝體基板12的下表面連接,形成堆疊封裝結(jié)構(gòu),如圖4所示。
      [0037]所述步驟三的錫膏柱7上端還可以制作錫膏球8 ;
      [0038]所述步驟四可以替換為:上封裝體與POP封裝結(jié)構(gòu)連接,所述POP封裝結(jié)構(gòu)的錫膏柱7上的錫膏球8與上封裝體基板12的下表面連接,形成堆疊封裝結(jié)構(gòu)。
      【主權(quán)項(xiàng)】
      1.一種基于預(yù)留槽塑封技術(shù)的POP封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述封裝結(jié)構(gòu)主要包括有基板⑴、焊盤(2)、凸點(diǎn)(3)、芯片⑷、塑封錫槽(5)、塑封體(6)、錫膏柱(7);所述基板(I)通過焊盤(2)、凸點(diǎn)(3)連接芯片(4),所述塑封體(6)包圍芯片⑷、焊盤(2)、凸點(diǎn)(3)、錫膏柱(7)和基板(I)的上表面,塑封體(6)上有塑封錫槽(5),塑封錫槽(5)底部裸露有焊盤(2),塑封錫槽(5)內(nèi)部有錫膏柱(7),錫膏柱(7)下端與焊盤(2)連接。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于預(yù)留槽塑封技術(shù)的POP封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述錫膏柱(7)上端有錫膏球(8)。
      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于預(yù)留槽塑封技術(shù)的POP封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述POP封裝結(jié)構(gòu)還連接有上封裝體,所述上封裝體主要包括有上封裝體芯片(9)、上封裝體凸點(diǎn)(10)、填充膠(11)和上封裝體基板(12);上封裝體基板(12)通過焊盤、上封裝體凸點(diǎn)(10)與上封裝體芯片(9)連接,填充膠(11)填充四者連接部分;所述POP封裝結(jié)構(gòu)的錫膏柱(7)與上封裝體基板(12)的下表面連接。
      4.根據(jù)權(quán)利要求2或者3所述的一種基于預(yù)留槽塑封技術(shù)的POP封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述POP封裝結(jié)構(gòu)的錫膏柱(7)上的錫膏球⑶與上封裝體基板(12)的下表面連接。
      5.—種基于預(yù)留槽塑封技術(shù)的POP封裝結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于,其按照以下具體步驟進(jìn)行: 步驟一:基板(I)上倒裝上芯有芯片(4); 步驟二:塑封體(6)包圍芯片(4)、焊盤(2)、凸點(diǎn)(3)、錫膏柱(7)和基板⑴的上表面,塑封體(6)上制作有塑封錫槽(5),塑封錫槽(5)底部裸露出焊盤(2); 步驟三:在塑封錫槽(5)內(nèi)錫膏印刷和回流,形成錫膏柱(7),最終形成所述POP封裝結(jié)構(gòu)。
      6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種基于預(yù)留槽塑封技術(shù)的POP封裝結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于,所述步驟三的錫膏柱(7)上端制作錫膏球(8)。
      7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種基于預(yù)留槽塑封技術(shù)的POP封裝結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于,所述步驟三形成的POP封裝結(jié)構(gòu)與上封裝體連接,POP封裝結(jié)構(gòu)的錫膏柱(7)與上封裝體基板(12)的下表面連接,形成堆疊封裝結(jié)構(gòu)。
      8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種基于預(yù)留槽塑封技術(shù)的POP封裝結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于,所述POP封裝結(jié)構(gòu)的錫膏柱(7)上的錫膏球⑶與上封裝體基板(12)的下表面連接,形成堆疊封裝結(jié)構(gòu)。
      【專利摘要】本發(fā)明公開了一種基于預(yù)留槽塑封技術(shù)的POP封裝結(jié)構(gòu)及其制備方法,所述封裝結(jié)構(gòu)主要包括有基板、焊盤、凸點(diǎn)、芯片、塑封錫槽、塑封體、錫膏柱;所述塑封體上有塑封錫槽,塑封錫槽底部裸露有焊盤,塑封錫槽內(nèi)部有錫膏柱,錫膏柱下端與焊盤連接。所述制備方法:基板上倒裝上芯,塑封并制作塑封錫槽,塑封錫槽內(nèi)印刷錫膏柱。該發(fā)明不需要完成封裝后進(jìn)行開孔過程;而且錫膏印刷,工藝簡單。
      【IPC分類】H01L21-56, H01L23-31
      【公開號】CN104538370
      【申請?zhí)枴緾N201410843485
      【發(fā)明人】諶世廣, 梁天勝, 劉衛(wèi)東, 王虎, 李濤濤
      【申請人】華天科技(西安)有限公司
      【公開日】2015年4月22日
      【申請日】2014年12月30日
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