[0015] 其中，所述頂絲的底端貫穿所述杠桿的厚度，且二者螺紋連接；并且在所述沉臺的 底面上，且與所述頂絲相對應(yīng)的位置處設(shè)置有通孔，用以供用于旋轉(zhuǎn)所述頂絲來調(diào)節(jié)頂絲 與所述杠桿的相對位置的工具穿過。
[0016] 其中，在所述裝載腔室的與所述沉臺的側(cè)壁開口相對應(yīng)的側(cè)壁上設(shè)置有透明窗， 所述發(fā)射端和接收端設(shè)于所述透明窗的外側(cè)。
[0017] 其中，所述激光檢測單元還包括調(diào)節(jié)裝置，所述調(diào)節(jié)裝置用于調(diào)節(jié)所述發(fā)射端、接 收端與所述透明窗的相對位置。
[0018] 其中，所述激光檢測單元包括激光反射式傳感器或激光對射式傳感器。
[0019] 作為另一個技術(shù)方案，本發(fā)明還提供一種傳輸系統(tǒng)，其包括反應(yīng)腔室、裝載腔室和 傳輸腔室，其中，所述傳輸腔室分別與所述反應(yīng)腔室和裝載腔室連通，用以在二者之間傳送 被加工工件；所述裝載腔室用于裝載及在工藝時容納片盒，并且在所述裝載腔室上設(shè)置有 片盒位置檢測裝置，用以檢測片盒底面與支撐所述片盒的片盒固定板之間是否存在由于片 盒傾斜產(chǎn)生的間隙，并且，所述片盒位置檢測裝置采用本發(fā)明提供的上述片盒位置檢測裝 置。
[0020] 其中，所述片盒位置檢測裝置的數(shù)量至少為兩個，所述至少兩個片盒位置檢測裝 置用于自不同的位置分別檢測片盒底面與片盒固定板之間是否存在間隙。
[0021] 其中，所述片盒固定板的水平截面為方形，并且所述片盒位置檢測裝置的數(shù)量為 兩個，且二者的杠桿組件相對于所述片盒固定板的上表面呈對角線分布。
[0022] 作為另一個技術(shù)方案，本發(fā)明還提供一種半導(dǎo)體加工設(shè)備，其包括用于傳輸被加 工工件的傳輸系統(tǒng)，并且，所述傳輸系統(tǒng)采用本發(fā)明提供的上述傳輸系統(tǒng)。
[0023] 本發(fā)明具有以下有益效果：
[0024] 本發(fā)明提供的片盒位置檢測裝置在其激光檢測單元接收到由狀態(tài)轉(zhuǎn)換單元反射 而來的激光時確定片盒底面與片盒固定板之間不存在由于片盒傾斜而產(chǎn)生的間隙；在其激 光檢測單元未接收到由狀態(tài)轉(zhuǎn)換單元反射而來的激光時確定片盒底面與片盒固定板之間 存在由于片盒傾斜而產(chǎn)生的間隙；在上述過程中，若片盒底面與片盒固定板之間存在間隙， 狀態(tài)轉(zhuǎn)換單元將片盒底面與片盒固定板之間的間隙轉(zhuǎn)換為其自身的角度變化，而其自身的 角度變化使激光檢測單元射向狀態(tài)轉(zhuǎn)換單元的激光的入射角減小或增大，相應(yīng)地，由狀態(tài) 轉(zhuǎn)換單元反射向激光檢測單元的激光的反射角減小或增大，且入射角和反射角減小或增大 的數(shù)值均等于狀態(tài)轉(zhuǎn)換單元的角度變化的數(shù)值，從而使狀態(tài)轉(zhuǎn)換單元反射向激光檢測單元 的激光與激光檢測單元偏離的角度是狀態(tài)轉(zhuǎn)換單元角度變化的兩倍，進而使得在片盒底面 與片盒固定板之間的間隙較小時，由狀態(tài)轉(zhuǎn)換單元反射的激光與激光檢測單元偏離的角度 較大，相應(yīng)地，該激光在裝載腔室的側(cè)壁上形成的反射光斑與激光檢測單元之間的距離較 大，使激光檢測單元無法接收到由狀態(tài)轉(zhuǎn)換單元反射而來的激光，從而使本發(fā)明提供的片 盒位置檢測裝置可以在片盒底面與片盒固定板之間的由于片盒傾斜而產(chǎn)生的間隙較小時， 準確地檢測片盒底面和片盒固定板之間存在間隙，使片盒位置檢測裝置具有較高的靈敏 度。
[0025] 本發(fā)明提供的傳輸系統(tǒng)，其通過采用本發(fā)明提供的片盒位置檢測裝置，可以在片 盒底面與片盒固定板之間的由于片盒傾斜而產(chǎn)生的間隙較小時，準確地檢測片盒底面與片 盒固定板之間存在間隙，從而可以防止機械手在片盒底面與片盒固定板之間存在間隙時進 行取片或放片，避免由此產(chǎn)生的機械手與被加工工件之間的碰撞，甚至被加工工件的損毀。
[0026] 本發(fā)明提供的半導(dǎo)體加工設(shè)備，其通過采用本發(fā)明提供的傳輸系統(tǒng)，可以在片盒 底面與片盒固定板之間的由于片盒傾斜而產(chǎn)生的間隙較小時，準確地檢測片盒底面與片盒 固定板之間存在間隙，從而可以防止機械手在片盒底面與片盒固定板之間存在間隙時進行 取片或放片，避免由此產(chǎn)生的機械手與被加工工件之間的碰撞，甚至被加工工件的損毀。
【附圖說明】
[0027] 圖1為現(xiàn)有的半導(dǎo)體加工設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028] 圖2為現(xiàn)有的裝載腔室的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029] 圖3為現(xiàn)有的安裝于片盒固定板上的片盒位置檢測裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0030] 圖4為現(xiàn)有的安裝于裝載腔室外部的片盒位置檢測裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0031] 圖5為本發(fā)明第一實施例提供的片盒位置檢測裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0032] 圖6為圖5所示片盒位置檢測裝置的原理示意圖；
[0033] 圖7為圖5所示片盒位置檢測裝置中頂絲與反射件分別位于旋轉(zhuǎn)軸兩側(cè)時的示意 圖；
[0034] 圖8為本發(fā)明第二實施例提供的片盒位置檢測裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0035] 圖9為本發(fā)明的實施例提供的傳輸系統(tǒng)中裝載腔室的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；以及
[0036] 圖10為圖9所示裝載腔室中兩個片盒位置檢測裝置的檢測結(jié)果對應(yīng)的片盒狀態(tài) 表。
【具體實施方式】
[0037] 為使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖來對本發(fā)明 提供的片盒位置檢測裝置、傳輸系統(tǒng)及半導(dǎo)體加工設(shè)備進行詳細描述。
[0038] 請參看圖5,圖5為本發(fā)明第一實施例提供的片盒位置檢測裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。片 盒位置檢測裝置用于檢測片盒50底面與支撐片盒50的片盒固定板55之間是否存在由于 片盒50傾斜而產(chǎn)生的間隙，其包括狀態(tài)轉(zhuǎn)換單元和激光檢測單元。其中，激光檢測單元安 裝在裝載腔室外，其用于向設(shè)于裝載腔室內(nèi)的狀態(tài)轉(zhuǎn)換單元發(fā)射激光，并接收由狀態(tài)轉(zhuǎn)換 單元反射而來的激光；并且，若激光檢測單元接收到由狀態(tài)轉(zhuǎn)換單元反射而來的激光，表示 裝載腔室內(nèi)有片盒50且片盒50底面與片盒固定板55之間不存在間隙，否則表示裝載腔室 內(nèi)沒有片盒50或片盒50底面與片盒固定板55之間存在間隙；狀態(tài)轉(zhuǎn)換單元設(shè)置于片盒固 定板55內(nèi)，其用于將片盒50底面與片盒固定板55之間的間隙轉(zhuǎn)換為其反射向激光檢測單 元的激光的角度變化。
[0039] 具體地，狀態(tài)轉(zhuǎn)換單元包括杠桿組件51及固定在其上的反射件52 ;其中，杠桿組 件51用于將片盒50底面與片盒固定板55之間的間隙轉(zhuǎn)換為反射件52的角度變化；杠桿 組件51包括旋轉(zhuǎn)軸510、杠桿511、頂絲512和彈性部件513 ;其中旋轉(zhuǎn)軸510固定在片盒 固定板55上表面上設(shè)置的具有側(cè)向開口的沉臺內(nèi)；杠桿511與旋轉(zhuǎn)軸510可旋轉(zhuǎn)地連接， 且杠桿511圍繞旋轉(zhuǎn)軸510在垂直于片盒固定板55所在平面的平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)；頂絲512的底 端，以及反射件52與杠桿511連接，且分別位于旋轉(zhuǎn)軸510的兩側(cè)；彈性部件513位于上述 沉臺內(nèi)，用于在裝載腔室內(nèi)不存在片盒50時，朝向杠桿511的與頂絲512相同一側(cè)的部分 施加向上的彈力，以使頂絲512的頂端高于片盒固定板55的上表面；從而使頂絲512的頂 端在片盒50置于裝載腔室內(nèi)部時與片盒50的底面相接觸；反射件52用于將激光檢測單元 射向狀態(tài)轉(zhuǎn)換單元的激光反射向激光檢測單元，且反射件52位于上述沉臺的側(cè)向開口之 夕卜。在本實施例中，彈性部件513為彈簧。
[0040] 激光檢測單元包括發(fā)射端53和接收端54 ;其中，發(fā)射端53用于朝向與其相對的 反射件52的反射面發(fā)射激光；接收端54用于在片盒50底面與片盒固定板55之間不存在 間隙時接收到由反射件52的反射面反射而來的激光。在本實施例中，激光檢測單元為激光 對射式傳感器，其發(fā)射端53和接收端54沿堅直方向間隔設(shè)置，并且，接收端54位于發(fā)射端 53上方。
[0041] 在本實施例中，如圖5所示，與沉臺的側(cè)向開口對應(yīng)的裝載腔室的側(cè)壁上設(shè)置有 透明窗，發(fā)射端53和接收端54設(shè)置于透明窗的外側(cè)。
[0042] 下面對本發(fā)明第一實施例提供的片盒位置檢測裝置檢測片盒50底面與