電極層422包括形成在粘附層420上并且包括反射材料的第一電極層422a和形成在第一電極層422a并且連接到(例如，接觸)帶144的第二電極層422b。另夕卜，電極層422可以進一步包括形成在第一電極層422a與第二電極層422b之間的種電極層422c和第三電極層422d。下面，將根據(jù)堆疊順序描述構(gòu)成電極層422的層。
[0093]形成在粘附層420上的第一電極層422a可以接觸粘附層420。第一電極層422a用作防止構(gòu)成電極層422的材料迀移到半導(dǎo)體層或半導(dǎo)體基板10的阻擋并且利用反射材料反射光。即，第一電極層422a可以用作阻擋層和反射電極層。第一電極層422a可以由具有優(yōu)異的反射性質(zhì)的金屬形成并且可以包括例如，Cu、Al、Ag、Au或其合金。當(dāng)包括Cu等等或由Cu形成的種電極層422c被布置在第一電極層422a上，第一電極層422a可以包括Al、Ag、Au或其合金或可以由Al、Ag、Au或其合金形成。
[0094]第一電極層422a具有大于粘附層420的厚度并且可以具有50nm至300nm的厚度。例如，第一電極層422a可以具有10nm至300nm的厚度。當(dāng)?shù)谝浑姌O層422a的厚度小于50nm時，第一電極層422a會難以用作阻擋層和反射電極層。當(dāng)?shù)谝浑姌O層422a的厚度超過300nm時，沒有顯著地增強反射性質(zhì)等等并且可以增加制造成本。當(dāng)?shù)谝浑姌O層422a的厚度處于10nm與300nm之間，可以進一步增強作為阻擋層和反射電極層的第一電極層422a的功能。
[0095]另外，粘附層420與第一電極層422a的厚度比率可以為1:2至1:60。更具體地，粘附層420與第一電極層422a的厚度比率可以為1:10至1:30。當(dāng)厚度比率小于1:2時，粘附層420的厚度增加并且因此，其透明度可以減小或者第一電極層422a的厚度減小并且因此反射性質(zhì)等等會劣化。另一方面，當(dāng)厚度比率超過1:60時，第一電極層422a的厚度增加并且因此可以增加制造成本。當(dāng)厚度比率為1:10至1:30時，粘附層420和第一電極層422a的特性可以得到增強。然而，本發(fā)明的實施方式不限于上述示例，并且厚度比率等等可以進行不同的改變。
[0096]布置在第一電極層422a上的種電極層422c用作形成在種電極層422c上的第三電極層422d (當(dāng)沒有形成第三電極層422d時為第二電極層422b)的種，并且使得能夠容易地形成第三電極層422d。S卩，種電極層422c被布置在第一電極層422a與第三電極層422d之間并且可以與其接觸。
[0097]第三電極層422d可以通過鍍等等來形成，并且種電極層422c形成在第一電極層422a與第三電極層422d之間，從而通過鍍來滿意地形成第三電極層422d。當(dāng)?shù)谌姌O層422d包括Cu時，種電極層422c可以包括Cu或由Cu形成。通過鍍形成為包括Cu第三電極層422d使用種電極層422c作為種并且因此，可以容易地形成并且具有優(yōu)異的特性。
[0098]種電極層422c可以具有50nm至200nm的厚度。當(dāng)種電極層422c的厚度小于50nm時，由種電極層422c獲得的效果可以不足。另一方面，當(dāng)種電極層422c的厚度超過200nm時，可以增加制造成本等等。然而，本發(fā)明的實施方式不限于上述示例并且種電極層422c的厚度等等可以進行各種的改變。
[0099]可以通過濺射等等來形成粘附層420、第一電極層422a和種電極層422c。S卩，第一電極42(和/或第二電極44)的粘附層420、第一電極層422a和種電極層422c可以通過整體地形成分別構(gòu)成形成在作為半導(dǎo)體層的第一導(dǎo)電類型區(qū)域32和第二導(dǎo)電類型區(qū)域34以及阻擋區(qū)域36上的絕緣層40的粘附層420、第一電極層422a和種電極層422c的金屬層以填充開口 402(在第二電極44的情況下為開口 404)并且對金屬層進行圖案化來形成第一電極42(和/或第二電極44)的粘附層420、第一電極層422a和種電極層422c?？梢允褂酶鞣N方法(例如，使用抗蝕劑和蝕刻劑的方法)來執(zhí)行圖案化處理。
[0100]通過濺射形成的粘附層420、第一電極層422a和種電極層422c主要堆疊在厚度方向上并且因此具有均勻的厚度。另外，分別對應(yīng)于粘附層420、第一電極層422a和種電極層422c的金屬層被順序且整體地形成并且然后使用相同的抗蝕劑(或掩模)來一起進行圖案化。因此，可以連續(xù)地形成粘附層420、第一電極層422a和種電極層422c中的至少兩個的至少一部分的側(cè)截面。另外，粘附層420、第一電極層422a和種電極層422c中的至少兩個的至少一部分可以具有10%內(nèi)(例如，5%內(nèi))的面積誤差。能夠確認的是，粘附層420、第一電極層422a和種電極層422c被根據(jù)厚度、形狀、面積差等等而一起通過濺射和圖案化來形成。然而，本發(fā)明的實施方式不限于上述示例，并且可以使用各種方法來形成粘附層420、第一電極層422a和種電極層422c
[0101]第三電極層422d可以形成在種電極層422c上并且與其接觸。第三電極層422d用于減少電極層422的電阻并且增加其導(dǎo)電性并且因此可以用作導(dǎo)電層來實質(zhì)上傳輸電流。第三電極層422d可以包括不昂貴且高導(dǎo)電性的金屬(例如，Cu)。然而，本發(fā)明的實施方式不限于上述示例，并且可以使用各種已知的金屬來形成第三電極層422d。
[0102]第三電極層422d可以具有大于粘附層420、第一電極層422a、種電極層422c和第二電極層422b的厚度。例如，第三電極層422d可以具有20μπι至30μπι的厚度。當(dāng)?shù)谌姌O層422d的厚度小于20 μ m時，會難以充分地減小電阻。另一方面，當(dāng)?shù)谌姌O層422d的厚度超過30 μπι時，會增加制造時間，并且因此會增加制造成本。
[0103]可以使用種電極層422c作為種來通過鍍形成第三電極層422d。因此，當(dāng)通過鍍來形成第三電極層422d時，可以在短時間內(nèi)形成具有足夠的厚度的第三電極層422d。通過鍍形成的第三電極層422d在厚度方向以及側(cè)方向上生長并且因此中凸地形成以具有大于粘附層420、第一電極層422a和種電極層422c的面積，并且因此，可以具有圓化表面。然而，本發(fā)明的實施方式不限于上述示例，并且第三電極層422d的形成方法、形狀等等可以進行各種改變。
[0104]第二電極層422b可以形成在第三電極層422d上。例如，第二電極層422b可以接觸其上的第三電極層422d。第二電極層422b是連接到帶144的部分并且可以包括具有優(yōu)異的與帶144的連接性質(zhì)的材料。將參考圖5描述第二電極層422b與帶144之間的連接結(jié)構(gòu)的各種示例。圖4示出了太陽能電池150的第一電極42與帶144之間的粘附結(jié)構(gòu)的各種示例的放大圖。為了清楚和簡要說明的目的，基于圖2的放大圈中示出的第一電極42的形狀示出了圖4的第一電極42的形狀。
[0105]在本發(fā)明的實施方式中，如圖4的(a)中所示，帶144可以通過將包括例如鉛(Pb)和錫(Sn)的帶144布置在第二電極層422b上并且向其施加熱來直接附接到第二電極層422bο在本發(fā)明的另一實施方式中，如圖4的(b)中所示，第二電極層422b可以通過在膏(例如，包括Sn、Bi等等的膏)被布置在第二電極層422b與帶144之間的狀態(tài)下施加熱來經(jīng)由膏層146而附接到帶144。在本發(fā)明的另一實施方式中，如圖4的(c)中所示，第二電極層422b可以通過在導(dǎo)電膜148被布置在第二電極層422b與帶144之間的狀態(tài)下施加壓力而經(jīng)由導(dǎo)電膜148附接到帶144?？梢酝ㄟ^在由環(huán)氧樹脂、丙烯酸樹脂、聚酰亞胺樹脂、聚碳酸酯樹脂等等形成的膜中分散由Au、Ag、鎳(Ni)、Cu等等形成的導(dǎo)電顆粒來制備導(dǎo)電膜148。當(dāng)在施加熱的同時按壓這樣的導(dǎo)電膜時，導(dǎo)電顆粒被暴露于膜的外部并且可以通過暴露的導(dǎo)電顆粒來電連接太陽能電池150和帶144。因此，當(dāng)通過利用導(dǎo)電膜連接多個太陽能電池150來制造太陽能電池模塊時，可以減少制造溫度，并且因此，可以防止或減少太陽能電池150的彎曲?？梢酝ㄟ^各種其它方法來附接和彼此連接第二電極層422b和帶144。
[0106]第二電極層422b可以包括Sn或N1-釩(V)合金。Sn具有與帶144、用于與帶144連接的膏等等的優(yōu)異的粘附性。另外，N1-V合金具有與帶144或者用于與帶144連接的膏優(yōu)異的粘附性。更具體地，在包括Sn和Bi的膏中，膏的Sn具有與N1-V合金的Ni非常膏的粘附性。另外，N1-V合金具有大約1000°C以上的非常高的熔點并且因此具有高于構(gòu)成電極層422的其它層的材料的熔點。因此，第二電極層422b在粘附到帶144或者太陽能電池150的制造過程中沒有變形并且可以充分地用作保護構(gòu)成電極層422的其它層的覆蓋膜。
[0107]可以使用各種方法來形成第二電極層422b。在本發(fā)明的實施方式種，通過鍍來形成第二電極層422b并且其包括Sn。第二電極層422b可以具有5 μ m至10 μ m的厚度并且可以形成為覆蓋第一電極層422a并且具有凸出圓化形狀。當(dāng)?shù)诙姌O層422b的厚度小于5 μπι時，會難以均勻地形成第二電極層422b。另一方面，當(dāng)?shù)诙姌O層422b的厚度超過ΙΟμπι時，制造成本會增加。然而，本發(fā)明的實施方式不限于上述示例。將在下面參考圖6來詳細描述通過濺射來形成第二電極層422b并且其包括Sn或N1-V合金的情況。
[0108]下面，將參考圖3來詳細描述第一導(dǎo)電類型區(qū)域32和第二導(dǎo)電類型區(qū)域34、阻擋區(qū)域36和第一電極42和第二電極44的平面形狀。
[0109]參考圖3，在本發(fā)明的實施方式中，第一導(dǎo)電類型區(qū)域32與第二導(dǎo)電類型區(qū)域34形成為較長以具有條帶形狀并且在與長度方向交叉的方向上相對于彼此交替地布置。阻擋區(qū)域36可以被布置為將第一導(dǎo)電類型區(qū)域32與第二導(dǎo)電類型區(qū)域34分離。彼此分離的多個第一導(dǎo)電類型區(qū)域32可以在其第一側(cè)的邊緣處彼此連接，并且彼此分離的多個第二導(dǎo)電類型區(qū)域34可以在其第二側(cè)的邊緣處彼此連接。然而，本發(fā)明的實施方式不限于上述示例。
[0110]在該方面，第一導(dǎo)電類型區(qū)域32可以具有大于第二導(dǎo)電類型區(qū)域34的面積。例如，第一導(dǎo)電類型區(qū)域32與第二導(dǎo)電類型區(qū)域34的面積可以通過不同地調(diào)整其寬度來進行調(diào)整。S卩，第一導(dǎo)電類型區(qū)域32的寬度Wl可以大于第二導(dǎo)電類型區(qū)域34的寬度W2。因此，充分地形成構(gòu)成發(fā)射極區(qū)域的第一導(dǎo)電類型區(qū)域32的面積，這使得能夠在大的區(qū)域內(nèi)發(fā)生光電轉(zhuǎn)換。在該方面，當(dāng)?shù)谝粚?dǎo)電類型區(qū)域32是ρ型時，充分地確保了第一導(dǎo)電類型區(qū)域32的面積并且因此可以高效地收集具有相對較慢的移動速率的空穴。
[0111]另外，第一電極42可以形成為具有對應(yīng)于第一導(dǎo)電類型區(qū)域32的條帶形狀，并且第二電極44可以形成為具有對應(yīng)于第二導(dǎo)電類型區(qū)域34的條帶形狀。第一開口 402和第二開口 404