超聲波傳感器及其制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種超聲波傳感器及超聲波傳感器的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 采用壓電薄膜等材料作為壓電材料的物質(zhì)波式感測(cè)元件已廣泛地應(yīng)用于工業(yè)、國 防、消防、電子等不同領(lǐng)域。一種典型的物質(zhì)波式感測(cè)元件為超聲波傳感器。其中超聲波傳 感器因其操作性不易環(huán)境溫度、濕度的影響，且具有壽命長、解析度高等特點(diǎn)而在公共場(chǎng)所 等惡劣環(huán)境下受到廣泛應(yīng)用。超聲波傳感器一般包括透明電極層用于發(fā)射及接收電壓、壓 電材料層用于產(chǎn)生超聲波，所述透明電極層的第一電極與壓電材料層在超聲波傳感器的邊 緣區(qū)域通過一導(dǎo)電膜連接，在涂布導(dǎo)電膜時(shí)由于壓電材料的表面張力較大而使薄膜的邊緣 缺角導(dǎo)致觸控精度下降。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 有鑒于此，有必要提供一種超聲波傳感器及其制造方法。
[0004] 一種超聲波傳感器，包括：基板；第一電極與第一壓電材料層層疊設(shè)置于所述基 板一側(cè)；第二電極與第二壓電材料層層疊設(shè)置于所述基板的另一側(cè)；及所述第一壓電材料 層設(shè)置一缺口用于涂布所述導(dǎo)電膜連接所述第一電極與第一壓電材料層。
[0005] 一種超聲波傳感器的制造方法，包括： 提供一基板，在基板兩側(cè)貼合形成第一電極與第二電極； 在所述第一電極上涂布第一壓電材料層，在所述第二電極上涂布第二壓電材料層； 在所述第一壓電材料層上定義一缺口；及在所述缺口處涂布導(dǎo)電膜連接所述第一電極 與第一壓電材料層。
[0006] 相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明的超聲波傳感器及制造方法在第二壓電材料層上設(shè)置一 缺口，并在缺口處通過導(dǎo)電膜連接第一電極與第一壓電材料層，從而解決由于壓電材料表 面張大較大而引起的導(dǎo)電膜涂布缺角的現(xiàn)象以增加超聲波傳感器的感測(cè)精度。
【附圖說明】
[0007] 圖1是本發(fā)明超聲波傳感器的俯視圖。
[0008] 圖2是圖1所示超聲波傳感器的側(cè)視結(jié)構(gòu)的立體示意圖。
[0009] 圖3是圖1所示超聲波傳感器沿III-III線的剖面示意圖。
[0010] 圖4-圖7是本發(fā)明超聲波傳感器各制造步驟之結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011] 圖8是本發(fā)明超聲波傳感器制造方法流程圖。
[0012] 主要元件符號(hào)說明
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種超聲波傳感器，包括； 基板； 第一電極與第一壓電材料層層疊設(shè)置于所述基板一側(cè)； 第二電極與第二壓電材料層層疊設(shè)置于所述基板的另一側(cè)；及 所述第一壓電材料層設(shè)置一缺口用于涂布所述導(dǎo)電膜連接所述第一電極與第一壓電 材料層。
2. 如權(quán)利要求1所述的超聲波傳感器，其特征在于，所述第二電極為輸出電壓至所述 第二壓電材料層之發(fā)送電極，所述第一電極為接收所述第一壓電材料層輸出之電壓之接收 電極。
3. 如權(quán)利要求1所述的超聲波傳感器，其特征在于，所述導(dǎo)電膜的材質(zhì)為銀漿。
4. 如權(quán)利要求3所述的超聲波傳感器，其特征在于，所述銀漿中的導(dǎo)電微粒的直徑大 于0.0 lum且小于lOum。
5. 如權(quán)利要求1所述的超聲波傳感器，其特征在于，所述導(dǎo)電膜的厚度小于lOum。
6. 如權(quán)利要求1所述的超聲波傳感器，其特征在于，所述導(dǎo)電膜內(nèi)導(dǎo)電微粒的內(nèi)聚力 大于壓電材料層的表面張力。
7. 如權(quán)利要求1所述的超聲波傳感器，其特征在于，所述透明電極層的材質(zhì)為單層透 明導(dǎo)電材料。
8. 如權(quán)利要求7所述的超聲波傳感器，其特征在于，所述單層透明導(dǎo)電材料包括氧化 銅錫、氧化鋒、聚己撐二氧唾吩、碳納米管、銀納米線W及石墨締。
9. 如權(quán)利要求1所述的超聲波傳感器，其特征在于，所述第一、第二壓電材料層的材質(zhì) 為聚二氣亞己締。
10. -種超聲波傳感器的制造方法，包括： 提供一基板，在基板兩側(cè)貼合形成第一電極與第二電極； 在所述第一電極上涂布第一壓電材料層，在所述第二電極上涂布第二壓電材料層； 在所述第一壓電材料層上定義一缺口；及 在所述缺口處涂布導(dǎo)電膜連接所述第一電極與第一壓電材料層。
【專利摘要】本發(fā)明揭示一種超聲波傳感器，包括：基板；第一電極與第一壓電材料層層疊設(shè)置于所述基板一側(cè)；第二電極與第二壓電材料層層疊設(shè)置于所述基板的另一側(cè)；及所述第一壓電材料層設(shè)置一缺口用于涂布所述導(dǎo)電膜連接所述第一電極與第一壓電材料層。本發(fā)明還揭示一種超聲波傳感器的制造方法。
【IPC分類】H01L41-277, H01L41-113
【公開號(hào)】CN104681711
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410678969
【發(fā)明人】王娟
【申請(qǐng)人】麥克思智慧資本股份有限公司
【公開日】2015年6月3日
【申請(qǐng)日】2014年11月24日