一種硅片清洗裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本申請(qǐng)屬于太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種硅片清洗裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有技術(shù)中，硅片的清洗通常需要先將硅片放置于清洗花籃，然后再將多個(gè)清洗花籃裝載于清洗筐中，最后將整個(gè)清洗筐進(jìn)行單槽清洗。然而，傳統(tǒng)的清洗方法中，每個(gè)清洗筐中僅僅可以放置8個(gè)清洗花籃，每個(gè)清洗花籃的長(zhǎng)邊與清洗筐的長(zhǎng)邊方向垂直。這種清洗方法，每一筐只能同時(shí)對(duì)200片娃片進(jìn)行清洗，效率低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于提供一種硅片清洗裝置，以克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:
[0005]本申請(qǐng)實(shí)施例公開一種硅片清洗裝置，包括清洗筐、以及陣列放置于所述清洗筐內(nèi)的9個(gè)清洗花籃，所述清洗花籃的長(zhǎng)邊與所述清洗筐的長(zhǎng)邊平行，所述清洗花籃的短邊與所述清洗筐的短邊平行。
[0006]優(yōu)選的，在上述的硅片清洗裝置中，所述清洗框包括矩形的底部邊框、相對(duì)設(shè)置的第一側(cè)邊框、以及相對(duì)設(shè)置的第二側(cè)邊框，所述第一側(cè)邊框固定于所述底部邊框的邊緣且位于豎直方向，所述第二側(cè)邊框連接于所述第一側(cè)邊框之間，所述相對(duì)設(shè)置的第二側(cè)邊框之間的間距大于所述底部邊框短邊的長(zhǎng)度。
[0007]優(yōu)選的，在上述的硅片清洗裝置中，所述清洗花籃的材質(zhì)為PFA聚偏氟乙烯。
[0008]優(yōu)選的，在上述的硅片清洗裝置中，所述每個(gè)清洗花籃中裝載有25片硅片。
[0009]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于:
[0010](I)、改善前單槽清洗批量由8盒/筐200片轉(zhuǎn)變改善后單槽清洗批量9盒/筐225片，單項(xiàng)改善產(chǎn)量提升12.5%。
[0011](2)、改善了清洗花籃工裝的用量從而節(jié)省物料的成本。
[0012](3)、保證了單框清洗運(yùn)行的穩(wěn)定性。
【附圖說明】
[0013]為了更清楚地說明本申請(qǐng)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本申請(qǐng)中記載的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0014]圖1所示為本發(fā)明具體實(shí)施例中硅片清洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖2所示為本發(fā)明具體實(shí)施例中硅片清洗裝置的側(cè)視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)的描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0017]參圖1所示，硅片清洗裝置，包括清洗筐1、以及陣列放置于清洗筐內(nèi)的9個(gè)清洗花籃2，清洗花籃2的長(zhǎng)邊與清洗筐I的長(zhǎng)邊平行，清洗花籃2的短邊與清洗筐I的短邊平行。
[0018]在該技術(shù)方案中，將現(xiàn)有的8籃改9籃超洗，提高了晶片產(chǎn)能的狀態(tài)下，污染物洗法同改善前一樣的清洗效果，此種改善大幅度提高了產(chǎn)量從而推之大大降低成本，這樣的改善便于推廣。
[0019]參圖2所示，清洗框I包括矩形的底部邊框11、相對(duì)設(shè)置的第一側(cè)邊框12、以及相對(duì)設(shè)置的第二側(cè)邊框13，第一側(cè)邊框12固定于底部邊框11的邊緣且位于豎直方向，第二側(cè)邊框13連接于所述第一側(cè)邊框12之間，相對(duì)設(shè)置的第二側(cè)邊框13之間的間距大于所述底部邊框11短邊的長(zhǎng)度。
[0020]進(jìn)一步地，第二側(cè)邊框連接于第一側(cè)邊框的側(cè)邊上方位置。
[0021]在該技術(shù)方案中，本案將傳統(tǒng)的清洗框的在頂部位置加寬，因此增大了清洗框的容積。
[0022]進(jìn)一步地，清洗花籃2的材質(zhì)為PFA聚偏氟乙稀。
[0023]在該技術(shù)方案中，本花籃即在100度以下NaoH溶液.Hci溶液.HF等溶液中對(duì)硅片進(jìn)行清洗.轉(zhuǎn)換不變形，不污染硅片。
[0024]進(jìn)一步地，每個(gè)清洗花籃2中裝載有25片硅片。
[0025]綜上所述，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于:
[0026](I)、改善前單槽清洗批量由8盒/筐200片轉(zhuǎn)變改善后單槽清洗批量9盒/筐225片，單項(xiàng)改善產(chǎn)量提升12.5%。
[0027](2)、改善了清洗花籃工裝的用量從而節(jié)省物料的成本。
[0028](3)、保證了單框清洗運(yùn)行的穩(wěn)定性。
[0029]需要說明的是，在本文中，諸如第一和第二等之類的關(guān)系術(shù)語僅僅用來將一個(gè)實(shí)體或者操作與另一個(gè)實(shí)體或操作區(qū)分開來，而不一定要求或者暗示這些實(shí)體或操作之間存在任何這種實(shí)際的關(guān)系或者順序。而且，術(shù)語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過程、方法、物品或者設(shè)備不僅包括那些要素，而且還包括沒有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過程、方法、物品或者設(shè)備所固有的要素。在沒有更多限制的情況下，由語句“包括一個(gè)……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的過程、方法、物品或者設(shè)備中還存在另外的相同要素。
[0030]以上所述僅是本申請(qǐng)的【具體實(shí)施方式】，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本申請(qǐng)?jiān)淼那疤嵯拢€可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本申請(qǐng)的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種硅片清洗裝置，其特征在于，包括清洗筐、以及陣列放置于所述清洗筐內(nèi)的9個(gè)清洗花籃，所述清洗花籃的長(zhǎng)邊與所述清洗筐的長(zhǎng)邊平行，所述清洗花籃的短邊與所述清洗筐的短邊平行。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片清洗裝置，其特征在于:所述清洗框包括矩形的底部邊框、相對(duì)設(shè)置的第一側(cè)邊框、以及相對(duì)設(shè)置的第二側(cè)邊框，所述第一側(cè)邊框固定于所述底部邊框的邊緣且位于豎直方向，所述第二側(cè)邊框連接于所述第一側(cè)邊框之間，所述相對(duì)設(shè)置的第二側(cè)邊框之間的間距大于所述底部邊框短邊的長(zhǎng)度。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片清洗裝置，其特征在于:所述清洗花籃的材質(zhì)為PFA聚偏氟乙稀。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片清洗裝置，其特征在于:所述每個(gè)清洗花籃中裝載有25片娃片。
【專利摘要】本申請(qǐng)公開了一種硅片清洗裝置，包括清洗筐、以及陣列放置于所述清洗筐內(nèi)的9個(gè)清洗花籃，所述清洗花籃的長(zhǎng)邊與所述清洗筐的長(zhǎng)邊平行，所述清洗花籃的短邊與所述清洗筐的短邊平行。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于：(1)、改善前單槽清洗批量由8盒/筐200片轉(zhuǎn)變改善后單槽清洗批量9盒/筐225片，單項(xiàng)改善產(chǎn)量提升12.5％。(2)、改善了清洗花籃工裝的用量從而節(jié)省物料的成本。(3)、保證了單框清洗運(yùn)行的穩(wěn)定性。
【IPC分類】H01L21/67, H01L31/18
【公開號(hào)】CN105023866
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510464497
【發(fā)明人】陶建陽
【申請(qǐng)人】江蘇奧能光電科技有限公司
【公開日】2015年11月4日
【申請(qǐng)日】2015年7月31日