一種硅片pn擴散用碳化硅舟的制作方法
【技術(shù)領域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及硅片PN擴散積層用存放工裝，具體涉及一種硅片PN擴散用碳化硅舟。
【背景技術(shù)】
[0002]高壓二極芯片核心是PN結(jié)，它是由原始單晶片兩面分別涂上P源、N源，然后將若干片涂源后的硅片置于專用工裝上夾緊進行積層，再放入高溫擴散爐中進行擴散，擴散溫度一般在1250°C以上，時間超過40H，因此對積層用工裝有很高的要求。目前一般硅片PN擴散用多晶硅舟，每次使用前必須用KOH溶液進行洗凈，多晶硅不耐堿腐蝕，多次清冼后變形、壽命短，且對積層質(zhì)量(不易積緊，表面雜質(zhì)源揮發(fā))造成影響，從而使擴散后參數(shù)變差，最終影響制品良率。
[0003]
【發(fā)明內(nèi)容】
、
為了解決上述問題，本發(fā)明提出了一種硅片PN擴散用碳化硅舟，設計簡單，使用方便，是一種待擴散硅片積層用工裝，純度高，硬度大，耐堿腐蝕，使用壽命長。
[0004]為了達到上述發(fā)明目的，本發(fā)明提出了以下的技術(shù)方案:
一種硅片PN擴散用碳化硅舟，它包括舟體、圓形隔板、圓形隔塊，舟體是長方體狀，舟體中間開有一個長方形孔，長方形孔內(nèi)兩側(cè)對應開有若干卡槽，長方形孔兩側(cè)卡槽之間的舟體設計成坡面，圓形隔板裝在卡槽內(nèi)，最兩端圓形隔板之間裝有圓形隔塊。
[0005]所述的舟體兩端還開有推拉孔。
[0006]所述的舟體整體呈板狀，橫向中間凸起狀。
[0007]所述的長方形孔兩側(cè)卡槽之間的舟體設計成坡面，即長方形孔兩側(cè)長邊設計成坡面，兩側(cè)坡面相配合形成托面。
[0008]所述的舟體采用碳化硅制作一體成型。
[0009]本發(fā)明的優(yōu)點是設計簡單，使用方便，結(jié)構(gòu)合理，適合于待擴散硅片積層放置用工裝，其特點是:純度高，硬度大，耐堿腐蝕。因為經(jīng)過硅片PN擴散后有殘留的雜質(zhì)源沾在工裝表面上，必須以強堿液去除，所以新型工裝必須耐堿腐蝕。
[0010]由原多晶硅舟改為碳化硅舟(高純)?？山鉀Q以上問題。碳化硅純度高，擴散時不導入其它雜質(zhì)污染；與堿液無任何作用，耐腐蝕；熔點高于多晶硅，耐高溫性能更優(yōu)；硬度大，積層緊硅片不易變形。
[0011]碳化娃舟因其耐喊腐，恪點尚，其使用壽命遠尚于多晶娃舟。多晶娃舟壽命為積層擴散30次，碳化硅則達到150次左右。碳化硅舟積層擴散后的硅片無翹曲變形，硅片表面附著雜質(zhì)源不易揮發(fā)，擴散后硅片表面濃度均一性好。制成品良率高于多晶硅舟2.5%。
【附圖說明】
[0012]圖1是本發(fā)明的示意圖。
[0013]圖2是本發(fā)明的舟體的示意圖。
【具體實施方式】
[0014]為了對本發(fā)明進一步的說明，下面結(jié)合說明書附圖來介紹:
參照附圖，一種硅片PN擴散用碳化硅舟，它包括舟體1、圓形隔板2、圓形隔塊3，舟體I是長方體狀，舟體I中間開有一個長方形孔3，長方形孔3內(nèi)兩側(cè)對應開有若干卡槽4，長方形孔兩側(cè)卡槽4之間的舟體I設計成坡面6，圓形隔板2裝在卡槽4內(nèi)，最兩端圓形隔板2之間裝有圓形隔塊3。
[0015]所述的舟體I兩端還開有推拉孔5。
[0016]所述的舟體I整體呈板狀，橫向中間凸起狀。
[0017]所述的長方形孔3兩側(cè)卡槽4之間的舟體設計成坡面6，即長方形孔兩側(cè)長邊設計成坡面6，兩側(cè)坡面6相配合形成托面7。
[0018]所述的舟體I采用碳化硅制作一體成型。
[0019]本發(fā)明的使用時，先把若干圓形隔板插在舟體上在卡槽內(nèi)，然后把兩端圓形隔塊放在最兩端圓形隔板之間，圓形隔塊下端坐在托面上，其他隔板之間舟體上端托面上放置硅片8，本碳化硅舟用于積層三英寸擴散硅片8，每舟可積層硅片數(shù)量為500片。圓形隔塊用來兩端防護壓緊中間的積層硅片8，圓形隔塊通過兩端的圓形隔板固定夾緊，如果之間有松動，圓形隔塊與圓形隔板之間繼續(xù)插狀圓形隔板，保證夾緊。
【主權(quán)項】
1.一種硅片PN擴散用碳化硅舟，它包括舟體、圓形隔板、圓形隔塊，其特征是舟體是長方體狀，舟體中間開有一個長方形孔，長方形孔內(nèi)兩側(cè)對應開有若干卡槽，長方形孔兩側(cè)卡槽之間的舟體設計成坡面，圓形隔板裝在卡槽內(nèi)，最兩端圓形隔板之間裝有圓形隔塊。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片PN擴散用碳化硅舟，其特征是所述的舟體兩端還開有推拉孔。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片PN擴散用碳化硅舟，其特征是所述的舟體整體呈板狀，橫向中間凸起狀。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片PN擴散用碳化硅舟，其特征是所述的長方形孔兩側(cè)卡槽之間的舟體設計成坡面，即長方形孔兩側(cè)長邊設計成坡面，兩側(cè)坡面相配合形成托面。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片PN擴散用碳化硅舟，其特征是所述的舟體采用碳化硅制作一體成型。
【專利摘要】本發(fā)明涉及硅片PN擴散積層用存放工裝，具體涉及一種硅片PN擴散用碳化硅舟。它包括舟體、圓形隔板、圓形隔塊，舟體是長方體狀，舟體中間開有一個長方形孔，長方形孔內(nèi)兩側(cè)對應開有若干卡槽，長方形孔兩側(cè)卡槽之間的舟體設計成坡面，圓形隔板裝在卡槽內(nèi)，最兩端圓形隔板之間裝有圓形隔塊。優(yōu)點是設計簡單，使用方便，結(jié)構(gòu)合理，適合于待擴散硅片積層放置用工裝，其特點是：純度高，硬度大，耐堿腐蝕；因為經(jīng)過硅片PN擴散后有殘留的雜質(zhì)源沾在工裝表面上，必須以強堿液去除，所以新型工裝必須耐堿腐蝕。
【IPC分類】H01L21/673
【公開號】CN105070677
【申請?zhí)枴緾N201510576289
【發(fā)明人】陳許平
【申請人】南通皋鑫電子股份有限公司
【公開日】2015年11月18日
【申請日】2015年9月11日