一種太陽(yáng)能電池多晶制絨蝕刻設(shè)備的蝕重監(jiān)測(cè)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于機(jī)械裝置技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種在太陽(yáng)能電池生產(chǎn)過(guò)程中使用的多晶制絨蝕刻設(shè)備，特別是一種太陽(yáng)能電池多晶制絨蝕刻設(shè)備的蝕重監(jiān)測(cè)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在太陽(yáng)能電池生產(chǎn)制造中，制絨清洗工序主要用于對(duì)硅片表面進(jìn)行處理，通過(guò)多晶制絨蝕刻設(shè)備將太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線上硅片擴(kuò)散前的硅片表面的油類分子、金屬雜質(zhì)、機(jī)械損傷層去除以及制作金字塔絨面。對(duì)于不同的硅片有不同的蝕重要求(把硅片表面損傷層、油污等通過(guò)化學(xué)品腐蝕的原理進(jìn)行清洗，清洗后和硅片清洗前的重量比稱為蝕重)，目前采用的是人工使用電子秤測(cè)量，只能抽檢，且檢測(cè)數(shù)據(jù)精確度不夠。
[0003]我國(guó)專利(公告號(hào):CN201397822 ;公開(kāi)日:2010-02-03)公開(kāi)了一種帶預(yù)熱的手動(dòng)制絨清洗機(jī)，包括清洗槽總成、冷水進(jìn)水管、排水管和電氣控制單元，在清洗槽總成的每個(gè)工作槽內(nèi)分別設(shè)有第一電加熱裝置，第一電加熱裝置與電氣控制單元電聯(lián)接，在清洗槽總成的后面通過(guò)支架設(shè)有一個(gè)預(yù)熱水箱，預(yù)熱水箱的進(jìn)水口連接冷水進(jìn)水管，預(yù)熱水箱的出水口通過(guò)管路和閥門分別通向清洗槽總成的每個(gè)工作槽內(nèi)，在預(yù)熱水箱內(nèi)設(shè)有與電氣控制單元電聯(lián)接的第二電加熱裝置。
[0004]上述專利中沒(méi)有專門的蝕重檢測(cè)設(shè)備，只能采用傳統(tǒng)的抽檢測(cè)量方法，工作量大，工作效率低，且難以保證測(cè)量的準(zhǔn)確性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本實(shí)用新型針對(duì)現(xiàn)有的技術(shù)存在的上述問(wèn)題，提供一種太陽(yáng)能電池多晶制絨蝕刻設(shè)備的蝕重監(jiān)測(cè)裝置，本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是:如何對(duì)太陽(yáng)能電池多晶制絨蝕刻的蝕重進(jìn)行自動(dòng)化的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。
[0006]本實(shí)用新型目的可通過(guò)下列技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn):
[0007]—種太陽(yáng)能電池多晶制絨蝕刻設(shè)備的蝕重監(jiān)測(cè)裝置，多晶制絨蝕刻設(shè)備包括蝕刻裝置，其特征在于，所述蝕重監(jiān)測(cè)裝置包括控制器以及能夠稱出硅片重量的天平秤一和天平秤二，所述天平秤一位于蝕刻裝置的進(jìn)料端，所述天平秤二位于蝕刻裝置的出料端，所述天平秤一上具有稱重托盤一，所述天平秤二上具有稱重托盤二，所述稱重托盤一與所述蝕刻裝置之間以及所述稱重托盤二與所述蝕刻裝置之間均具有傳動(dòng)滾輪，所述天平秤一和天平秤二均能夠?qū)⑺Q出的硅片重量數(shù)據(jù)傳輸至所述控制器。
[0008]其原理如下:本技術(shù)方案中通過(guò)在蝕刻裝置的進(jìn)料端設(shè)置天平秤一，將蝕刻前的硅片放置在稱重托盤一上稱出蝕刻前的重量，稱重后通過(guò)傳動(dòng)滾輪進(jìn)行蝕刻，蝕刻裝置的出料端設(shè)置天平秤二，蝕刻后的硅片進(jìn)入天平秤二的稱重托盤二上稱出硅片蝕刻后的重量，天平秤一和天平秤二所稱出的硅片重量數(shù)據(jù)均傳輸至控制器，控制器進(jìn)行運(yùn)算，得出硅片蝕刻前與蝕刻后的重量比，即得出蝕刻數(shù)值，控制器中事先根據(jù)生產(chǎn)需要設(shè)定允許誤差的范圍區(qū)間，得出的蝕刻數(shù)值與該范圍區(qū)間進(jìn)行比對(duì)，看是否滿足工藝要求，如蝕刻重量不在標(biāo)準(zhǔn)范圍區(qū)間內(nèi)，則通過(guò)控制器自動(dòng)報(bào)警提醒技術(shù)人員調(diào)整工藝。
[0009]本蝕重監(jiān)測(cè)裝置能夠自動(dòng)對(duì)每個(gè)硅片進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控，實(shí)現(xiàn)在線監(jiān)測(cè)蝕重，保證產(chǎn)品工藝質(zhì)量。自動(dòng)化程度高，檢測(cè)精準(zhǔn)，誤差小。
[0010]在上述的太陽(yáng)能電池多晶制絨蝕刻設(shè)備的蝕重監(jiān)測(cè)裝置中，所述天平秤一下方設(shè)有能夠帶動(dòng)稱重托盤一升降的升降結(jié)構(gòu)一，所述天平秤二下方設(shè)有能夠帶動(dòng)稱重托盤二升降的升降結(jié)構(gòu)二，所述天平秤一和天平秤二上方兩側(cè)均設(shè)有傳動(dòng)滾輪，所述升降結(jié)構(gòu)一能夠帶動(dòng)稱重托盤一伸到所述傳動(dòng)滾輪的上方，所述升降結(jié)構(gòu)二能夠帶動(dòng)稱重托盤二伸到所述傳動(dòng)滾輪的上方。稱重托盤一在有硅片時(shí)高與傳動(dòng)滾輪，對(duì)硅片稱重后自動(dòng)下降，硅片經(jīng)傳動(dòng)滾輪進(jìn)入蝕刻裝置進(jìn)行蝕刻，清洗蝕刻后的硅片經(jīng)過(guò)傳動(dòng)滾輪移送到天平秤二的上方，稱重托盤二上升對(duì)硅片稱重，稱重后再自動(dòng)下降。能夠避免硅片的傳送與硅片的稱重相互干涉。
[0011]在上述的太陽(yáng)能電池多晶制絨蝕刻設(shè)備的蝕重監(jiān)測(cè)裝置中，所述升降結(jié)構(gòu)一和升降結(jié)構(gòu)二均包括至少兩幅交叉剪伸縮臂，所述交叉剪伸縮臂為兩個(gè)中部相互鉸接連桿，兩個(gè)連桿之間還設(shè)有能使兩連桿做剪切運(yùn)動(dòng)的液壓缸。
[0012]在上述的太陽(yáng)能電池多晶制絨蝕刻設(shè)備的蝕重監(jiān)測(cè)裝置中，所述升降結(jié)構(gòu)一和升降結(jié)構(gòu)二均為氣缸。
[0013]在上述的太陽(yáng)能電池多晶制絨蝕刻設(shè)備的蝕重監(jiān)測(cè)裝置中，所述控制器為單片機(jī)控制器或PLC控制器。單片機(jī)控制器具有系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、用方便、可靠性高、低電壓、低功耗等優(yōu)點(diǎn)；PLC控制器具有功能完善、可靠性高、抗干擾能力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。
[0014]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)如下:
[0015]1、本蝕重監(jiān)測(cè)裝置能夠自動(dòng)對(duì)每個(gè)硅片進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控，實(shí)現(xiàn)在線監(jiān)測(cè)蝕重，保證產(chǎn)品工藝質(zhì)量，其自動(dòng)化程度高，檢測(cè)精準(zhǔn)，誤差小。
[0016]2、本蝕重監(jiān)測(cè)裝置通過(guò)設(shè)置升降結(jié)構(gòu)一和升降結(jié)構(gòu)二，分別帶動(dòng)稱重托盤一和稱重托盤二升降，能夠避免硅片的傳送與硅片的稱重相互干涉。
【附圖說(shuō)明】
[0017]圖1是本蝕重監(jiān)測(cè)裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖中，1、蝕刻裝置；2、天平秤一 ；3、天平秤二 ；4、稱重托盤一 ；5、稱重托盤二 ；6、傳動(dòng)滾輪；7、控制器；8、升降結(jié)構(gòu)一 ；9、升降結(jié)構(gòu)二。
【具體實(shí)施方式】
[0019]以下是本實(shí)用新型的具體實(shí)施例并結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案作進(jìn)一步的描述，但本實(shí)用新型并不限于這些實(shí)施例。
[0020]如圖1所示，多晶制絨蝕刻設(shè)備包括蝕刻裝置1，本蝕重監(jiān)測(cè)裝置包括控制器7以及能夠稱出硅片重量的天平秤一 2和天平秤二 3，天平秤一 2位于蝕刻裝置1的進(jìn)料端，天平秤二 3位于蝕刻裝置1的出料端，天平秤一 2上具有稱重托盤一 4，天平秤二 3上具有稱重托盤二 5，稱重托