顯示基板及其制作方法、顯示裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種顯示基板及其制作方法、顯示裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在有源矩陣有機發(fā)光二極管(ActiveMatrix/Organic Light EmittingD1de，縮寫為AMOLED)顯示器件中，其陣列基板的結(jié)構(gòu)參見圖1所示，其中I為陣列基板的襯底基板；2為柵電極；3為有源層；4為源電極；5為漏電極；6為無機絕緣層；7為平坦層；8為像素界定層(Pixel Define Layer,PDL) ;9為陽極，包括透明導電材料和金屬銀；10為柵絕緣層；11為有機發(fā)光層；12為陰極。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，平坦層7通常采用有機材料，如:有機樹脂，有機材料加工工藝簡單，并且可以提供較平坦的表面。無機絕緣層6的材料通常采用S1x或SiNx，S1x或SiNx可以與有機材料產(chǎn)生氫鍵，增大吸附性。但是有機材料與透明導電材料吸附性較差，容易導致平坦層7和陽極9發(fā)生脫離。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明提供一種顯示基板及其制作方法，用以解決顯示基板上的平坦層與透明導電層吸附性差，容易導致兩者發(fā)生脫離的問題。
[0005]本發(fā)明還提供一種顯示裝置，采用上述的顯示基板，用以提高產(chǎn)品的良率和品質(zhì)。
[0006]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明實施例中提供一種顯示基板，包括平坦層，用于提供平坦的表面，所述平坦層的材料包括有機硅，用以增加所述平坦層與有機材料薄膜和無機材料薄膜的粘附性。
[0007]本發(fā)明實施例中還提供一種顯示基板的制作方法，包括形成平坦層的步驟，所述平坦層用于提供平坦的表面，所述形成平坦層的步驟包括:
[0008]制備用于形成所述平坦層的有機硅；
[0009]通過成膜工藝，形成有機硅薄膜；
[0010]固化所述有機硅薄膜，形成所述平坦層。
[0011]本發(fā)明實施例中還提供一種顯示裝置，包括如上所述的顯示基板。
[0012]本發(fā)明的上述技術(shù)方案的有益效果如下:
[0013]上述技術(shù)方案中，顯示基板的平坦層由包括有機硅的材料制得，由于有機硅兼具有有機材料和無機材料的性能，能夠增加平坦層與有機材料薄膜和無機材料薄膜的粘附性，防止平坦層與相鄰薄膜的界面發(fā)生脫離，保證顯示基板的性能，提高產(chǎn)品品質(zhì)。
【附圖說明】
[0014]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0015]圖1表示本發(fā)明實施例中有源矩陣有機發(fā)光二極管陣列基板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖2表示本發(fā)明實施例中有源矩陣有機發(fā)光二極管顯示面板的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0017]本發(fā)明提供一種顯示基板，包括用以提供平臺表面的平坦層，所述平坦層的材料包括有機硅，由于有機硅兼具有有機材料和無機材料的性能，使得平坦層與有機材料薄膜和無機材料薄膜具有良好的粘附性，防止平坦層與相鄰薄膜發(fā)生剝離，保證顯示基板的性會K，?^Ι^/^ΒΡΙΒπΜ ο
[0018]其中，有機硅即有機硅化合物，是指含有S1-C鍵，且至少有一個有機基是直接與硅原子相連的化合物，習慣上也常把那些通過氧、硫、氮等使有機基與硅原子相連接的化合物也當作有機硅化合物。其中，以硅氧鍵(-S1-O-S1-)為骨架組成的聚硅氧烷，是有機硅化合物中為數(shù)最多，研究最深、應用最廣的一類，約占總用量的90%以上。有機硅材料具有獨特的結(jié)構(gòu):
[0019](I)Si原子上充足的甲基將高能量的聚硅氧烷主鏈屏蔽起來；
[0020]⑵C-H無極性，使分子間相互作用力十分微弱；
[0021](3) S1-O鍵長較長，S1-O-Si鍵鍵角大。
[0022](4) S1-O鍵是具有50%離子鍵特征的共價鍵(共價鍵具有方向性，離子鍵無方向性)。
[0023]由于有機硅獨特的結(jié)構(gòu)，兼?zhèn)淞藷o機材料與有機材料的性能，具有表面張力低、粘溫系數(shù)小、壓縮性尚、氣體滲透性尚等基本性質(zhì)，并具有耐尚低溫、電氣絕緣、耐氧化穩(wěn)定性、耐候性、難燃、憎水、耐腐蝕、無毒無味以及生理惰性等優(yōu)異特性。
[0024]而且有機硅具有較好的成膜特性，能夠保證平坦層的成膜質(zhì)量。
[0025]現(xiàn)有技術(shù)中兼具有有機材料和無機材料性能的材料并不局限于有機硅，本領(lǐng)域技術(shù)人員基于本發(fā)明的發(fā)明構(gòu)思，很容易想到也可以選擇其他易于成膜且兼具有有機材料和無機材料性能的材料來取代有機硅，實現(xiàn)本發(fā)明的技術(shù)方案，其屬于本發(fā)明的保護范圍。
[0026]下面將結(jié)合附圖和實施例，對本發(fā)明的【具體實施方式】作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本發(fā)明，但不用來限制本發(fā)明的范圍。
[0027]參加圖2所示，本發(fā)明實施例中的顯示基板包括多個半導體元件，如:薄膜晶體管，所述半導體元件上覆蓋有無機絕緣層6，起到水氧阻隔的作用，保護薄膜晶體管的半導體性能。其中，無機絕緣層6的材料通常包括S1x或SiNx。由于S1x和SiNx能夠與有機材料產(chǎn)生氫鍵，增大粘附性，因此，S1x或SiNx薄膜與有機材料薄膜也具有較好的粘附性。
[0028]無機絕緣層6上覆蓋有平坦層7，用以提供平坦的表面。所述平坦層7上設(shè)置有導電層9。導電層9的材料包括金屬、金屬合金或金屬氧化物等無機材料。
[0029]其中，平坦層7的材料為有機硅，由于有機硅兼具有有機材料和無機材料的性能，使得平坦層7與無機絕緣層6和導電層9均具有良好的粘附性，防止平坦層7與無機絕緣層6、導電層9發(fā)生剝離，保證顯示基板的性能。
[0030]當無機絕緣層6用有機絕緣層取代時，平坦層7與所述有機絕緣層、導電層9之間也均具有良好的粘附性，防止平坦層7與所述有機絕緣層、導電層9發(fā)生剝離，保證顯示基板的性能。
[0031]本發(fā)明的技術(shù)方案通過設(shè)置平坦層的材料包括有機硅，利用有機硅兼具有有機材料和無機材料的性能，使得平坦層與有機材料薄膜、無機材料薄膜均具有良好的粘附性，防止平坦層與相鄰薄膜發(fā)生剝離，保證顯示基板的性能，提高產(chǎn)品品質(zhì)。
[0032]其中，所述有機硅可以由硅凝膠溶解于脂肪族或芳香族的烷烴、鹵代烷烴制得。也可以由正硅酸乙酯和H2O發(fā)生水解聚合反應制得。具體的制作過程將在下面內(nèi)容中介紹。需要說明的是，所述有機硅并不局限于由上述兩種方法制得，在此不再一一列舉。
[0033]以有源矩陣發(fā)光二極管陣列基板為例，本發(fā)明實施例中的顯示基板具體包括:
[0034]第一基底1，為透明基底，如:玻璃基底、石英基底、有機樹脂基底；
[0035]設(shè)置在第一基底I上的薄膜晶體管，對于底柵型薄膜晶體管，其包括柵電極2、覆蓋柵電極2的柵絕緣層10、設(shè)置在柵絕緣層10上的有源層3、搭接在有源層上的源電極4和漏電極5。其中，薄膜晶體管并不局限于底柵型薄膜晶體管，還可以頂柵型薄膜晶體管、共面型薄膜晶體管等；
[0036]覆蓋薄膜晶體管的無機絕緣層6，其材料為氮化硅或氧化硅；
[0037]覆蓋無機絕緣層6的平坦層7 ；
[0038]設(shè)置在平坦層7上的像素界定層8，像素界定層8不透光，用于界定多個像素區(qū)域；
[0039]設(shè)置在平坦層7上、位于像素區(qū)域內(nèi)的導電層9，導電層9為發(fā)光二極管的陽極，通過貫穿平坦層7和無機絕緣層6的過孔與薄膜晶體管的漏電極5電性連接。平坦層7的材料包括有機硅，與無機絕緣層6和導電層9均具有較好的粘附性。對于頂發(fā)射結(jié)構(gòu)的有機發(fā)光二極管陣列基板，導電層9兼做反射電極，其材料包括金屬或金屬合金，如:Cu，Al，Ag，Mo，Cr，Nd，Ni，Mn，Ti，Ta，W等金屬以及這些金屬的合金(如=Mo-Al-Mo)；
[0040]設(shè)置在導電層9上、位于像素區(qū)域內(nèi)的有機發(fā)光層11 ;
[0041]覆蓋有機發(fā)光層11的陰極12，陰極12上施加公共電壓，通過薄膜晶體管向每個像素區(qū)域的導電層9傳輸像素電壓，導電層9和陰極12之間的電壓差控制對應的像素區(qū)域內(nèi)的有機發(fā)光層11發(fā)光。對于頂發(fā)射結(jié)構(gòu)的有機發(fā)光二極管陣列基板，陰極12半透半反，其材料為金屬氧化物，如:銦錫氧化物或銦鋅氧化物。
[0042]對于有源矩陣發(fā)光二極管陣列基板，為了簡化制作工藝，通過一次工藝同時形成所有像素區(qū)域內(nèi)的有機發(fā)光層11，有機發(fā)光層11發(fā)出的光線顏色相同。
[0043]進一步地，為了實現(xiàn)彩色顯示，設(shè)置有源矩陣發(fā)光二極管顯示面板還包括彩膜基板。如圖2所示，所述彩膜基板包括:
[0044]第二基底16，為透明基底，如:玻璃基底、石英基底、有機樹脂基底；
[0045]設(shè)置在第二基底16上的黑矩陣17，用于限定多個像素區(qū)域，其中，彩膜基板的像素區(qū)域與陣列基板上的像素區(qū)域位置--對應；
[0046]設(shè)置在第二基底16上、并位于像素區(qū)域內(nèi)的彩色濾光層15，用于與有機發(fā)光層11發(fā)出的光線配合，實現(xiàn)彩色顯示，例如:當有機發(fā)光層11發(fā)出的光線為白光時，彩色濾光層15可以包括但并不局限于紅色濾光層、綠色濾光層和藍色濾光層；
[0047]設(shè)置在黑矩陣17上的隔墊物14，用于支撐顯示面板的盒厚；
[0048]設(shè)置在隔墊物14上的輔助電極13，陣列基板和彩膜基板對盒后