例。(a)是結(jié)構(gòu)圖，(b)是從逆?zhèn)热肟诓?7分離了氣氛遮斷部27的狀態(tài)下的截面圖。通過螺釘52將對(duì)樣本10進(jìn)行氣氛遮斷的部分固定在逆?zhèn)热肟诓?7，通過外部把手28使螺釘52向逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，由此氣氛遮斷部27和逆?zhèn)热肟诓?7分離。在分離后，取出逆?zhèn)热肟诓?7時(shí)，關(guān)閉安裝在逆?zhèn)热肟陬A(yù)備排氣室18的閥53，卸下到裝置外。分離后的氣氛遮斷部27被固定在樣本保持部6，在遮斷樣本氣氛的狀態(tài)下，能夠從裝置卸下。在從裝置卸下后，輸送到其他真空裝置、帶電粒子束裝置等，在裝置內(nèi)將氣氛遮斷部27安裝到逆?zhèn)热肟诓?7，由此能夠在進(jìn)行了氣氛遮斷的狀態(tài)下在大氣中輸送樣本10。
[0058]在圖10中表示在逆?zhèn)热肟诓?7中具有樣本冷卻機(jī)構(gòu)的其他實(shí)施例。(a)是結(jié)構(gòu)圖，(b)是截面圖，(c)是俯視圖。樣本10被固定在熱傳導(dǎo)性好的樣本臺(tái)54。樣本臺(tái)54通過樞軸56固定在樣本保持裝置6的框架55上并熱絕緣。逆?zhèn)热肟诓?7與樣本臺(tái)54接觸，并且安裝有熱傳導(dǎo)性好的冷卻部57，在樣本室12外與冷卻制冷劑58連接。在冷卻部57具有加熱器59和用于測(cè)定溫度的熱電偶60，在樣本室12外與溫度控制器61連接。熱電偶60測(cè)量冷卻部57的溫度，并顯示在溫度控制器61的溫度顯示部上。通過加熱器59進(jìn)行樣本冷卻溫度的調(diào)整。另夕卜，如果在樣本室12外，在對(duì)樣本10進(jìn)行了冷卻的狀態(tài)下，卸下樣本保持裝置6，則出現(xiàn)在樣本10、樣本保持裝置6近旁產(chǎn)生霜的問題，因此在樣本室12內(nèi)通過加熱器59將樣本10恢復(fù)為常溫再取出。
[0059]至此，實(shí)施例的逆?zhèn)热肟诓砍怂涊d的各種功能以外，也可以設(shè)置用于檢測(cè)信號(hào)的檢測(cè)功能。
[0060]對(duì)于以上的實(shí)施例，插入裝置的逆?zhèn)热肟诓磕軌蚺c各種功能無關(guān)地進(jìn)行取出和插入，因此例如能夠在利用實(shí)施例6對(duì)樣本進(jìn)行等離子體清洗后進(jìn)行觀察，接著利用實(shí)施例5現(xiàn)場(chǎng)觀察施加電壓時(shí)的變化，然后導(dǎo)入氣體，觀察氣體氣氛下的因施加電壓產(chǎn)生的樣本的變化。這時(shí)，在沒有強(qiáng)化差動(dòng)排氣機(jī)構(gòu)的裝置中使用的情況下，還具有帶隔膜的氣氛遮斷機(jī)構(gòu)，由此能夠在任意的氣氛下進(jìn)行觀察。
[0061 ] 附圖標(biāo)記說明
[0062] I:電子顯微鏡;2:電子槍;3:會(huì)聚透鏡;4:物鏡;5:投射透鏡;6:電子顯微鏡用樣本保持裝置;7:熒光板;8: TV攝像機(jī);9a:圖像顯示部;9b:圖像記錄部；10:樣本；11:差動(dòng)排氣用節(jié)流閥；12:電子顯微鏡樣本室；13:觀察室；14:閥；15:真空栗；16:樣本預(yù)備排氣室；17:逆?zhèn)热肟诓浚?8:逆?zhèn)热肟陬A(yù)備排氣室；19:電壓施加用電源;20:入射電子束;21:透過電子束;22:樣本接觸部;23a:電極;23b:電極;23a’:電極;23b’:電極;24a:電極;24b:電極;25:樣本壓件;26:氣體導(dǎo)入噴嘴;27:樣本氣氛遮斷部;28:外部把手;29:主體軸;30: O形環(huán);31:彈性環(huán);32:隔膜;33:溫濕度傳感器;34:微型真空計(jì)；35:溫濕度傳感器控制器;36:微型真空計(jì)控制器;37:真空排氣孔;38:針狀閥；39a:等離子體用電極;39b:等離子體用電極;40:高頻產(chǎn)生電源;41:接地;42:應(yīng)力施加部;43:樣本壓件;44:樣本壓件固定螺釘;45:壓電元件;46:應(yīng)力施加電源;47: 二軸傾斜機(jī)構(gòu);48:樣本臺(tái)部;49:齒輪機(jī)構(gòu);50:清洗器;51:齒輪；52:氣氛遮斷部固定螺釘；53:閥;54:樣本臺(tái);55:框架;56:樞軸;57:冷卻部;58:冷卻介質(zhì)；59:加熱器;60:熱電偶;61:溫度控制器。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種帶電粒子束裝置和帶電粒子束裝置用樣本保持裝置，其特征在于，具備: 帶電粒子源，其釋放一次帶電粒子束； 帶電粒子控制單元，其使從上述帶電粒子源釋放的帶電粒子束會(huì)聚，照射到樣本； 檢測(cè)器，其檢測(cè)從樣本產(chǎn)生的電子； 控制單元，其根據(jù)來自上述檢測(cè)器的信號(hào)制作樣本像； 顯示單元，其顯示上述樣本像； 記錄顯示的上述樣本像的單元； 樣本保持單元，其保持上述樣本；以及 可裝卸的逆?zhèn)热肟诓?，其能夠從與上述樣本保持單元相對(duì)的一側(cè)裝卸，具備使安裝在上述樣本保持單元的樣本的狀態(tài)改變的功能。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶電粒子束裝置和帶電粒子束裝置用樣本保持裝置，其特征在于， 關(guān)于設(shè)置在上述可裝卸的逆?zhèn)热肟诓康氖箻颖镜臓顟B(tài)改變的功能，是具有用于向樣本施加電壓的2對(duì)或2對(duì)以上的電極端子，并在與樣本保持單元組合時(shí)，用金屬布線連接到樣本保持部的固定微小樣本的部分或配置在其近旁的微小樣本，且上述電極的端子與電子顯微鏡外部的電壓施加電源連接，從而能夠向微小樣本施加電壓。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的帶電粒子束裝置和帶電粒子束裝置用樣本保持裝置，其特征在于， 在上述可裝卸的逆?zhèn)热肟诓吭O(shè)置氣體導(dǎo)入機(jī)構(gòu)。4.根據(jù)權(quán)利要求1?3的任意一項(xiàng)所述的帶電粒子束裝置和帶電粒子束裝置用樣本保持裝置，其特征在于， 上述可裝卸的逆?zhèn)容斎肟诓烤哂袊颖颈３植糠值闹車軌蛘跀鄻颖臼液蜆颖局g的氣氛，且能夠進(jìn)行真空排氣的樣本氣氛遮斷功能。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的帶電粒子束裝置和帶電粒子束裝置用樣本保持裝置，其特征在于， 在上述可裝卸的逆?zhèn)热肟诓烤哂休p元素薄膜的隔膜，在與樣本保持單元組合時(shí)將隔膜配置在帶電粒子束軸上，由此在帶電粒子束裝置內(nèi)形成與真空不同的氣體壓力空間，能夠現(xiàn)場(chǎng)觀察/分析該氣體壓力下的樣本變化的過程。6.根據(jù)權(quán)利要求1?5的任意一項(xiàng)所述的帶電粒子束裝置和帶電粒子束裝置用樣本保持裝置，其特征在于， 在上述可裝卸的逆?zhèn)热肟诓吭O(shè)置小型真空計(jì)。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的帶電粒子束裝置和帶電粒子束裝置用樣本保持裝置，其特征在于， 在可裝卸的逆?zhèn)热肟诓吭O(shè)置溫濕度傳感器。8.根據(jù)權(quán)利要求1?6的任意一項(xiàng)所述的帶電粒子束裝置和帶電粒子束裝置用樣本保持裝置，其特征在于， 在上述可裝卸的逆?zhèn)热肟诓康膬?nèi)側(cè)設(shè)置相對(duì)的電極板，電極的一方經(jīng)由高頻產(chǎn)生裝置與控制部連接，設(shè)置另一方的電極，將樣本保持裝置的樣本部分配置在電極之間，由此能夠在電極間產(chǎn)生等離子體，清洗樣本和樣本保持裝置前端部分。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶電粒子束裝置和帶電粒子束裝置用樣本保持裝置，其特征在于， 上述可裝卸的逆?zhèn)热肟诓烤邆溆糜谑┘討?yīng)力的應(yīng)力施加功能。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶電粒子束裝置和帶電粒子束裝置用樣本保持裝置，其特征在于， 在可裝卸的逆?zhèn)热肟诓烤邆湟耘c安裝在樣本保持裝置的樣本臺(tái)上的微小齒輪咬合的方式配置的齒輪，能夠使樣本臺(tái)旋轉(zhuǎn)。11.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的帶電粒子束裝置和帶電粒子束裝置用樣本保持裝置，其特征在于， 在帶電粒子束裝置樣本室內(nèi)，能夠?qū)⒛鎮(zhèn)热肟诓縿澐譃?部分，將逆?zhèn)热肟诓壳岸瞬恳钥裳b卸的方式安裝在樣本保持裝置側(cè)，由此能夠在遮斷氣氛的狀態(tài)下在帶電粒子束裝置之間輸送。12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶電粒子束裝置和帶電粒子束裝置用樣本保持裝置，其特征在于， 在上述可裝卸的逆?zhèn)热肟诓烤邆溆糜诶鋮s樣本保持裝置前端部的機(jī)構(gòu)，通過對(duì)樣本保持裝置和樣本裝載部進(jìn)行熱絕緣，能夠高效地冷卻樣本部分，縮短樣本冷卻時(shí)間。
【專利摘要】本發(fā)明的目的在于：提供不從帶電粒子束裝置(1)取出樣本，就能夠形成各種環(huán)境以及進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)觀察和分析的帶電粒子束裝置以及帶電粒子束裝置用樣本保持裝置。在本發(fā)明中，從與樣本保持單元(6)相對(duì)的一側(cè)插入具備使安裝在樣本保持單元的樣本(10)的狀態(tài)變化的功能的可裝卸的逆?zhèn)热肟诓?17)，由此通過具有不同功能的逆?zhèn)热肟诓亢蜆颖颈３謫卧慕M合，能夠不從帶電粒子束裝置取出樣本地觀察/分析不同過程中的樣本的變化。逆?zhèn)热肟诓坑?部分構(gòu)成，前端的一部分能夠卸下，在安裝到樣本保持單元后，能夠在維持氣氛的狀態(tài)下直接輸送，能夠使樣本不暴露到大氣中地在不同的裝置之間輸送。
【IPC分類】H01J37/16, H01J37/20
【公開號(hào)】CN105612597
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201480052535
【發(fā)明人】矢口紀(jì)惠, 長久保康平, 巖堀敏行
【申請(qǐng)人】株式會(huì)社日立高新技術(shù)
【公開日】2016年5月25日
【申請(qǐng)日】2014年9月5日
【公告號(hào)】DE112014003891T5, WO2015053020A1