扇出線結(jié)構(gòu)、顯示面板及其制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種扇出線結(jié)構(gòu)、包括該扇出線結(jié)構(gòu)的顯示面板及其制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]顯示面板包括TFT陣列以及用于驅(qū)動(dòng)TFT陣列的驅(qū)動(dòng)電路模塊(例如設(shè)置驅(qū)動(dòng)IC的驅(qū)動(dòng)電路板)，為實(shí)現(xiàn)將驅(qū)動(dòng)電路模塊的信號(hào)輸出對(duì)應(yīng)施加在TF T陣列中的相應(yīng)信號(hào)線(例如數(shù)據(jù)線或柵線)上，需要使用連接導(dǎo)線從驅(qū)動(dòng)電路模塊的某一輸出引腳對(duì)應(yīng)連接至TFT陣列的某一信號(hào)線上。按照常規(guī)的驅(qū)動(dòng)電路模塊和TFT陣列設(shè)置，驅(qū)動(dòng)電路模塊的多個(gè)輸出引腳是相對(duì)集中排列而TFT陣列的多條信號(hào)線相對(duì)分散排列，采用以上多條連接導(dǎo)線時(shí)會(huì)在驅(qū)動(dòng)電路模塊與TFT陣列之間形成類似“扇形”結(jié)構(gòu)，因此，通常稱該連接導(dǎo)線為“扇出線”，扇出線的設(shè)置區(qū)域則稱為“扇出區(qū)(Fan-out Area)”。
[0003]然而，從驅(qū)動(dòng)電路模塊的輸出引腳到TFT陣列的信號(hào)線距離是不一致的，必然會(huì)導(dǎo)致扇出線的長(zhǎng)度相差較大，因此容易導(dǎo)致扇出區(qū)的多條扇出線之間的阻抗不均勻，這種阻抗不均勻會(huì)影響顯示面板的顯示效果，是需要盡量避免的。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)中，為實(shí)現(xiàn)不同扇出線之間的阻抗盡量均一化，采用對(duì)長(zhǎng)度較短的扇出線采用繞線設(shè)計(jì)的方式來增加其阻抗，但是，這種方法需要增加用于繞線的區(qū)域，容易導(dǎo)致扇出區(qū)的整體寬度的增加，這種扇出區(qū)的整體寬度是會(huì)體現(xiàn)在使用該顯示面板的顯示器的邊框尺寸上，因此，扇出區(qū)的整體寬度的增加是非常不利于窄邊框顯示器的開發(fā)和設(shè)計(jì)的。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于，實(shí)現(xiàn)扇出線結(jié)構(gòu)的扇出線之間的阻抗均勻化。
[0006]為實(shí)現(xiàn)以上目的或者其他目的，本發(fā)明提供以下技術(shù)方案。
[0007]按照本發(fā)明的一方面，提供一種扇出線結(jié)構(gòu)，其包括多條長(zhǎng)度不一的扇出線；
每條所述扇出線均包括布線層；
至少部分所述扇出線的所述布線層之上設(shè)置有與布線層電連接的附加導(dǎo)電膜；
多條所述扇出線的阻抗相同。
[0008]根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的扇出線結(jié)構(gòu)，其中，不同長(zhǎng)度的所述布線層的阻抗不同。
[0009]根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的扇出線結(jié)構(gòu)，其中，多條所述扇出線中，除長(zhǎng)度最短的布線層外，其余多條所述扇出線中的布線層均設(shè)置有與布線層電連接的附加導(dǎo)電膜。
[0010]根據(jù)本發(fā)明又一實(shí)施例的扇出線結(jié)構(gòu)，其中，多條所述扇出線中，每條所述布線層均設(shè)置有與布線層電連接的附加導(dǎo)電膜。
[0011]在之前所述實(shí)施例的扇出線結(jié)構(gòu)中，所述附加導(dǎo)電膜厚度及寬度一致。
[0012]根據(jù)本發(fā)明還一實(shí)施例的扇出線結(jié)構(gòu)，其中，設(shè)置有所述附加導(dǎo)電膜的多條扇出線中，設(shè)置在不同長(zhǎng)度的所述布線層之上的附加導(dǎo)電膜的長(zhǎng)度不同。
[0013]可選地，所述附加導(dǎo)電膜連續(xù)地或分段地設(shè)置在所述布線層之上。
[0014]可選地，所述附加導(dǎo)電膜材料與所述布線層材料相同。
[0015]可選地，所述附加導(dǎo)電膜材料與所述布線層材料不同，且附加導(dǎo)電膜材料電阻率小于所述布線層材料的電阻率。
[0016]按照本發(fā)明的又一方面，提供一種顯示面板，其包括驅(qū)動(dòng)電路模塊和TFT陣列，以及以上所述及的任一種扇出線結(jié)構(gòu)，所述扇出線結(jié)構(gòu)用于連接驅(qū)動(dòng)電路模塊與TFT陣列。
[0017]按照本發(fā)明的還一方面，提供一種顯示面板的制造方法，其特征在于，包括:
提供預(yù)設(shè)有扇出區(qū)的襯底；
在預(yù)設(shè)的所述扇出區(qū)通過沉積形成第一導(dǎo)電層；
在所述第一導(dǎo)電膜表面形成第二導(dǎo)電層；以及
通過刻蝕第一導(dǎo)電層和第二導(dǎo)電層分別形成所述布線層和附加導(dǎo)電膜。
[0018]根據(jù)本發(fā)明又一實(shí)施例的制造方法，其中，通過刻蝕第一導(dǎo)電層和第二導(dǎo)電層分別形成所述布線層和附加導(dǎo)電膜包括:
在所述第二導(dǎo)電層上涂覆光刻膠；
通過半色調(diào)掩膜板對(duì)所述光刻膠曝光顯影，形成光刻膠完全保留區(qū)域、光刻膠半保留區(qū)域以及光刻膠完全去除區(qū)域；
以所述光刻膠完全保留區(qū)域和光刻膠半保留區(qū)域的光刻膠為掩膜刻蝕所述第一導(dǎo)電層和第二導(dǎo)電層以形成多條布線層；
對(duì)所述光刻膠完全保留區(qū)域和光刻膠半保留區(qū)域的光刻膠同時(shí)進(jìn)行灰化處理以暴露所述光刻膠半保留區(qū)域?qū)?yīng)的部分第二導(dǎo)電層；
對(duì)暴露的所述部分第二導(dǎo)電層進(jìn)行刻蝕以形成附加導(dǎo)電膜;以及去除剩余的光刻膠。
[0019]本發(fā)明的扇出線結(jié)構(gòu)通過設(shè)置附加導(dǎo)電膜來改變長(zhǎng)度不一的扇出線的阻抗，多條扇出線的阻抗能夠相同，阻抗一致性好，制備工藝簡(jiǎn)單，使用該扇出線結(jié)構(gòu)的顯示面板的顯示效果好。
【附圖說明】
[0020]為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0021]圖1是按照本發(fā)明一實(shí)施例的扇出線結(jié)構(gòu)的示意圖。
[0022]圖2是按照本發(fā)明一實(shí)施例的扇出線結(jié)構(gòu)的扇出線的俯視圖，圖3是圖2所示實(shí)施例的扇出線的A-A截面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023]圖4至圖10示意按照本發(fā)明一實(shí)施例的制備方法來制備扇出線結(jié)構(gòu)的過程示意圖。
[0024]附圖標(biāo)記:
?ο-扇出線結(jié)構(gòu)；loo、101Uoo2Uoo3Uoo5Uoo6Uoo7 -扇出線；ι?ο’-第一導(dǎo)電層；110-布線層；130’-第二導(dǎo)電層；130、130a、130b-附加導(dǎo)電膜；131-未設(shè)置附加導(dǎo)電膜的區(qū)段；200-引腳；300-信號(hào)線；80-光刻膠；80b-光刻膠完全保留區(qū)域;80c_光刻膠半保留區(qū)域;80a-光刻膠完全去除區(qū)域;90-玻璃襯底。
【具體實(shí)施方式】
[0025]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0026]在附圖中，為了清楚起見，夸大了層和區(qū)域的厚度，并且，由于刻蝕引起的圓潤(rùn)等形狀特征未在附圖中示意出。
[0027]圖1所示為按照本發(fā)明一實(shí)施例的扇出線結(jié)構(gòu)的示意圖。在該實(shí)施例中，扇出線結(jié)構(gòu)10設(shè)置在驅(qū)動(dòng)電路模塊與TFT陣列之間的扇出區(qū)中，該扇出線結(jié)構(gòu)10用于將某一驅(qū)動(dòng)電路模塊(例如驅(qū)動(dòng)IC)的多個(gè)引腳200對(duì)應(yīng)連接至TFT陣列的多條信號(hào)線300上，從而，該驅(qū)動(dòng)電路模塊可以驅(qū)動(dòng)該TFT陣列的多條信號(hào)線對(duì)應(yīng)的區(qū)域，實(shí)現(xiàn)顯示功能。為方便說明，在圖1中示例給出了包括7條扇出線100的扇出線結(jié)構(gòu)，即扇出線100^100^100^100^100^1006和1007，扇出線100的具體條數(shù)不是限制性的，可以根據(jù)驅(qū)動(dòng)電路模塊需要驅(qū)動(dòng)的TFT陣列區(qū)域的大小來設(shè)置。
[0028]在該實(shí)施例中，多條扇出線100的長(zhǎng)度不一，例如，位于中間的扇出線1004長(zhǎng)度最短，扇出線1004的兩側(cè)的其它扇出線的長(zhǎng)度依次增加，這樣，扇出線1005、扇出線106和扇出線1007的長(zhǎng)度依次增加，扇出線1003、扇出線102和扇出線101的長(zhǎng)度也依次增加。
[0029]對(duì)應(yīng)每條扇出線100，如圖1所示，均設(shè)置有一布線層110，多條扇出線10(h、1002、